小型高低温执行器的制作方法

1.本实用新型涉及执行器技术领域，尤其是一种小型高低温执行器。


背景技术：

2.半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。
3.目前通常采用半导体加工设备来加工，加工后需要对其进行检验，在半导体检验设备中通常需要使用执行器，现有技术中的执行器通常采用普通气缸类的结构，内置密封圈，在工作过程中，不耐高、低温，易发生腐蚀的现象，使用寿命短，并会影响检验的效果。


技术实现要素：

4.本申请人针对上述现有生产技术中的缺点，提供一种结构合理的小型高低温执行器，从而采用不锈钢材质，具有较好的耐腐蚀性，耐超高低温性，使用寿命长，工作可靠性好。
5.本实用新型所采用的技术方案如下：
6.一种小型高低温执行器，包括前缸筒和后缸筒，前缸筒的前部配合安装有前盖，后缸筒的后部配合安装有后盖，所述前缸筒和后缸筒之间安装有中部端盖，所述中部端盖将前缸筒和后缸筒连接在一起，中部端盖的中间设置有穿通孔，所述穿通孔内穿过有活塞杆，位于前缸筒内的活塞杆头部穿出前盖，并与执行部件连接，位于前缸筒内的活塞杆上套有波纹管，所述活塞杆的中部设置有凸起，所述波纹管位于凸起与前盖之间；位于后缸筒内的活塞杆上通过卡簧安装有弹簧座，所述弹簧座与中部端盖之间安装弹簧；所述后盖的中部开有圆孔，所述圆孔内安装有气管，所述气管与活塞杆对应。
7.作为上述技术方案的进一步改进：
8.所述前缸筒、后缸筒和中部端盖的外径相同。
9.所述前缸筒和后缸筒均呈薄壁空心圆柱体结构。
10.所述气管中部设置有通孔，所述气管与气源连接。
11.所述弹簧座的外径小于后缸筒的内径。
12.所述弹簧座和中部端盖的截面均呈“t”字型结构。
13.所述活塞杆的头部设置有十字槽。
14.本实用新型的有益效果如下：
15.本实用新型结构紧凑、合理，操作方便，通过后缸筒、中部端盖和前缸筒以及中部活塞杆的互相配合工作，可以在气管通气的情况下方便的完成活塞杆的动作，动作灵敏可靠。
16.本实用新型采用焊接加工，密封效果好。
17.本实用新型无需采用密封件，并具有较好的密封性能。
18.本实用新型所有零部件采用不锈钢材质，耐腐蚀效果好，耐高低温，使用寿命长。
附图说明
19.图1为本实用新型的结构示意图。
20.图2为本实用新型的爆炸图。
21.图3为本实用新型的主视图。
22.图4为本实用新型的内部结构示意图。
23.其中：1、气管；2、后盖；3、后缸筒；4、中部端盖；5、前缸筒；6、前盖；7、活塞杆；8、卡簧；9、弹簧座；10、弹簧；11、波纹管。
具体实施方式
24.下面结合附图，说明本实用新型的具体实施方式。
25.如图1、图2、图3和图4所示，本实施例的小型高低温执行器，包括前缸筒5和后缸筒3，前缸筒5的前部配合安装有前盖6，后缸筒3的后部配合安装有后盖2，前缸筒5和后缸筒3之间安装有中部端盖4，中部端盖4将前缸筒5和后缸筒3连接在一起，中部端盖4的中间设置有穿通孔，穿通孔内穿过有活塞杆7，位于前缸筒5内的活塞杆7头部穿出前盖6，并与执行部件连接，位于前缸筒5内的活塞杆7上套有波纹管11，活塞杆7的中部设置有凸起，波纹管11位于凸起与前盖6之间；位于后缸筒3内的活塞杆7上通过卡簧8安装有弹簧座9，弹簧座9与中部端盖4之间安装弹簧10；后盖2的中部开有圆孔，圆孔内安装有气管1，气管1与活塞杆7对应。
26.前缸筒5、后缸筒3和中部端盖4的外径相同。
27.前缸筒5和后缸筒3均呈薄壁空心圆柱体结构。
28.气管1中部设置有通孔，气管1与气源连接。
29.弹簧座9的外径小于后缸筒3的内径。
30.弹簧座9和中部端盖4的截面均呈“t”字型结构。
31.活塞杆7的头部设置有十字槽。
32.本实用新型将波纹管11与活塞杆7和前盖6采用激光焊接的方式连接成一体，前盖6、前缸筒5、后缸筒3、中部端盖4、后盖2和气管1通过激光焊接的方式进行焊接组装。
33.本实用新型所述的弹簧10具有复位的功能。
34.本实用新型所述的执行器所有的零部件采用不锈钢材质制作，具有较好的耐高、低温和耐腐蚀的作用。
35.本实用新型所述的执行器采用无橡胶密封，就有极佳的密封效果和极佳的的寿命性能。
36.本实用新型所述的执行器无需密封件，结构简化，密封性能好。
37.实际使用过程中，给气管1中部通气，气体的作用，推送活塞杆7在图示位置向右移动，并且压缩波纹管11，达到活塞杆7头部安装的执行部件执行的动作，当检验的动过完毕后，停止通气，在弹簧10的作用下，活塞杆7复位。需要下一次再操作时，重复上述动作即可。
38.以上描述是对本实用新型的解释，不是对实用新型的限定，本实用新型所限定的范围参见权利要求，在本实用新型的保护范围之内，可以作任何形式的修改。


技术特征：
1.一种小型高低温执行器，其特征在于：包括前缸筒(5)和后缸筒(3)，前缸筒(5)的前部配合安装有前盖(6)，后缸筒(3)的后部配合安装有后盖(2)，所述前缸筒(5)和后缸筒(3)之间安装有中部端盖(4)，所述中部端盖(4)将前缸筒(5)和后缸筒(3)连接在一起，中部端盖(4)的中间设置有穿通孔，所述穿通孔内穿过有活塞杆(7)，位于前缸筒(5)内的活塞杆(7)头部穿出前盖(6)，并与执行部件连接，位于前缸筒(5)内的活塞杆(7)上套有波纹管(11)，所述活塞杆(7)的中部设置有凸起，所述波纹管(11)位于凸起与前盖(6)之间；位于后缸筒(3)内的活塞杆(7)上通过卡簧(8)安装有弹簧座(9)，所述弹簧座(9)与中部端盖(4)之间安装弹簧(10)；所述后盖(2)的中部开有圆孔，所述圆孔内安装有气管(1)，所述气管(1)与活塞杆(7)对应。2.如权利要求1所述的小型高低温执行器，其特征在于：所述前缸筒(5)、后缸筒(3)和中部端盖(4)的外径相同。3.如权利要求1所述的小型高低温执行器，其特征在于：所述前缸筒(5)和后缸筒(3)均呈薄壁空心圆柱体结构。4.如权利要求1所述的小型高低温执行器，其特征在于：所述气管(1)中部设置有通孔，所述气管(1)与气源连接。5.如权利要求1所述的小型高低温执行器，其特征在于：所述弹簧座(9)的外径小于后缸筒(3)的内径。6.如权利要求1所述的小型高低温执行器，其特征在于：所述弹簧座(9)和中部端盖(4)的截面均呈“t”字型结构。7.如权利要求1所述的小型高低温执行器，其特征在于：所述活塞杆(7)的头部设置有十字槽。

技术总结
本实用新型涉及一种小型高低温执行器，包括前缸筒和后缸筒，前缸筒的前部配合安装有前盖，后缸筒的后部配合安装有后盖，所述前缸筒和后缸筒之间安装有中部端盖，所述中部端盖将前缸筒和后缸筒连接在一起，中部端盖的中间设置有穿通孔，所述穿通孔内穿过有活塞杆，位于前缸筒内的活塞杆头部穿出前盖，并与执行部件连接，位于前缸筒内的活塞杆上套有波纹管，所述活塞杆的中部设置有凸起，所述波纹管位于凸起与前盖之间；位于后缸筒内的活塞杆上通过卡簧安装有弹簧座，所述弹簧座与中部端盖之间安装弹簧；所述后盖的中部开有圆孔，所述圆孔内安装有气管，所述气管与活塞杆对应；工作可靠，使用寿命长，耐腐蚀效果好。耐腐蚀效果好。耐腐蚀效果好。


技术研发人员：刘海冰 龚耀峰
受保护的技术使用者：无锡能手工控科技有限公司
技术研发日：2021.09.16
技术公布日：2022/3/8