一种料片溢胶及粉尘吸取装置的制作方法

1.本实用新型属于半导体技术领域，具体涉及一种料片溢胶及粉尘吸取装置。


背景技术：

2.在半导体生产过程中，吸取框架及塑封体上可能会有灰尘、料片溢胶等杂质，这些料片溢胶或粉尘等异物会影响半导体的质量，为此，是否去除料片溢胶及粉尘是关系半导体芯片生产的关键因素。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是提供一种料片溢胶及粉尘吸取装置，以解决背景技术中所提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型的实施例提供一种料片溢胶及粉尘吸取装置，包括框架，所述框架用于放置料片，其特征在于，所述框架的上、下方分别设置有一吸取机构，每一所述吸取机构包括一安装在机架上方或下方的歧管座连接板，所述歧管座连接板设置有吸尘口，所述歧管座连接板的上方设置有一个或多个连接管座，一个或多个所述连接管座上分别设置有一粉尘回收器，所述连接管座上设置有与粉尘回收器连通的进尘通道；所述粉尘回收器的另一端设置有一回收连接管，所述回收连接管连接粉尘收集箱，所述粉尘回收器上连接有第一气管接头，所述第一气管接头连接外部气源。
5.进一步的，所述歧管座连接板的一侧还设置有一吹气歧管块，所述吹气歧管块上设置有出气口，所述吹气歧管块通过第二气管接头连接外部气源；所述吹气歧管块上设置有一气体通道，所述气体通道连接出气口和第二气管接头。
6.优选的，所述吹气歧管块通过螺栓固定在歧管座连接板的一侧且所述出气口朝向框架方向。
7.进一步的，上、下方的两所述歧管座连接板之间通过支柱支撑，两所述歧管座连接板分别设置在框架的上、下方并通过螺栓锁定。
8.进一步的，若干所述出气口处设置有一出气气嘴，所述出气气嘴的口径小于出气口的口径。
9.进一步的，所述回收连接管设置有第一气阀；所述出气口处设置有第二气阀。
10.本实用新型的上述技术方案的有益效果如下：本实用新型通过吸取机构，能够对框架及放置在框架上的粉尘或溢胶进行吸取，在外部气源从第一气管接头进入粉尘回收器，粉尘回收器在外部气源的作用下，将粉尘从歧管座连接板的吸尘口及进尘通道进入粉尘回收器，粉尘回收器中粉尘经回收连接管进入粉尘收集箱，框架上、下方分别设置有粉尘回收器，实现对设置在框架上的料片进行上、下方同时去除溢胶或粉尘，从而起到减少料片溢胶及粉尘造成的残次品。
附图说明
11.图1为本实用新型的结构示意图。
12.图2为本实用新型的吸取装置的部分工作图。
13.附图标记说明：1、框架；2、歧管座连接板；3、吸尘口；4、连接管座；5、粉尘回收器；6、回收连接管；7、第一气管接头；8、吹气歧管块；9、出气口；10、第二气管接头；11、支柱；12、料片。
具体实施方式
14.为使本实用新型要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
15.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
16.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应作为广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
17.如图1和图2所示，一种料片溢胶及粉尘吸取装置，包括框架1，所述框架1用于放置料片12，所述框架1的上、下方分别设置有一吸取机构，每一所述吸取机构包括一安装在机架上方或下方的歧管座连接板2，所述歧管座连接板2设置有吸尘口3，所述歧管座连接板的上方设置有一个或多个连接管座4，一个或多个所述连接管座4上分别设置有一粉尘回收器5，所述连接管座4上设置有与粉尘回收器5连通的进尘通道；所述粉尘回收器5的另一端设置有一回收连接管6，所述回收连接管6连接粉尘收集箱，所述粉尘回收器5上连接有第一气管接头7，所述第一气管接头7连接外部气源。在本实施例中，所述粉尘回收器5采用文丘里除尘器，该外部气源进入文丘里除尘器，产生负压，进行粉尘吸附，本实用新型通过吸取机构，能够对框架1及放置在框架1上的粉尘或溢胶进行吸取，在外部气源从第一气管接头7进入粉尘回收器5，粉尘回收器5在外部气源的作用下，将粉尘从歧管座连接板2的吸尘口3及进尘通道进入粉尘回收器5，粉尘回收器5中粉尘经回收连接管6进入粉尘收集箱，框架1上、下方分别设置有粉尘回收器5，实现对设置在框架1上的料片进行上、下方同时去除溢胶或粉尘，从而起到减少料片溢胶及粉尘造成的残次品。
18.在本实用新型进一步的实施例中，为了进一步去除料片溢胶及灰尘，所述歧管座连接板的一侧还设置有一吹气歧管块8，所述吹气歧管块8上设置有出气口9，所述吹气歧管块8通过第二气管接头10连接外部气源；所述吹气歧管块8上设置有一气体通道，所述气体通道连接出气口9和第二气管接头10。实现从吹气歧管块8的出气口9出气，对框架1或塑封体上的灰尘或溢胶出气，从而起到将吹除灰尘的作用。
19.优选的，所述吹气歧管块8通过螺栓固定在歧管座连接板2的一侧且所述出气口9
朝向框架1方向。
20.在本实用新型进一步的实施例中，上、下方的两所述歧管座连接板2之间通过支柱11支撑，两所述歧管座连接板2分别设置在框架1的上、下方并通过螺栓锁定。
21.在本实用新型进一步的实施例中，若干所述出气口9处设置有一出气气嘴，所述出气气嘴的口径小于出气口9的口径，实现高压出气，吹气效果更好。
22.在本实用新型进一步的实施例中，所述回收连接管6设置有第一气阀；所述出气口处上设置有第二气阀。
23.本实用新型的具体实施例的工作过程：本实用新型的第二气管接头10连接外部气源通过吹气歧管块8的出气口9吹向框架1，同时第一气管接头7也接外部气源，外部气源进气后，粉尘回收器5通过第一气管接头7进气产生负压，粉尘回收器5工作，将料片上的溢胶或粉尘从歧管座连接板2的吸尘口3及进尘通道进入粉尘回收器5，粉尘回收器5中粉尘经回收连接管6进入粉尘收集箱。
24.以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。


技术特征：
1.一种料片溢胶及粉尘吸取装置，包括框架，所述框架用于放置料片，其特征在于，所述框架的上、下方分别设置有一吸取机构，每一所述吸取机构包括一安装在机架上方或下方的歧管座连接板，所述歧管座连接板设置有吸尘口，所述歧管座连接板的上方设置有一个或多个连接管座，一个或多个所述连接管座上分别设置有一粉尘回收器，所述连接管座上设置有与粉尘回收器连通的进尘通道；所述粉尘回收器的另一端设置有一回收连接管，所述回收连接管连接粉尘收集箱，所述粉尘回收器上连接有第一气管接头，所述第一气管接头连接外部气源。2.根据权利要求1所述的一种料片溢胶及粉尘吸取装置，其特征在于，所述歧管座连接板的一侧还设置有一吹气歧管块，所述吹气歧管块上设置有出气口，所述吹气歧管块通过第二气管接头连接外部气源；所述吹气歧管块上设置有一气体通道，所述气体通道连接出气口和第二气管接头。3.根据权利要求2所述的一种料片溢胶及粉尘吸取装置，其特征在于，所述吹气歧管块通过螺栓固定在歧管座连接板的一侧且所述出气口朝向框架方向。4.根据权利要求1所述的一种料片溢胶及粉尘吸取装置，其特征在于，上、下方的两所述歧管座连接板之间通过支柱支撑，两所述歧管座连接板分别设置在框架的上、下方并通过螺栓锁定。5.根据权利要求2所述的一种料片溢胶及粉尘吸取装置，其特征在于，若干所述出气口处设置有一出气气嘴，所述出气气嘴的口径小于出气口的口径。6.根据权利要求2所述的一种料片溢胶及粉尘吸取装置，其特征在于，所述回收连接管设置有第一气阀；所述出气口处设置有第二气阀。

技术总结
本实用新型公开了一种料片溢胶及粉尘吸取装置，包括框架，框架用于放置料片，框架的上、下方分别设置有一吸取机构，每一吸取机构包括一安装在机架上方或下方的歧管座连接板，歧管座连接板设置有吸尘口，歧管座连接板的上方设置有一个或多个连接管座，一个或多个连接管座上分别设置有一粉尘回收器，连接管座上设置有与粉尘回收器连通的进尘通道；粉尘回收器的另一端设置有一回收连接管，回收连接管连接粉尘收集箱，粉尘回收器上连接有第一气管接头，第一气管接头连接外部气源。本实用新型在框架上下方分别设置有粉尘回收器对设置在框架上的料片进行上、下方同时去除溢胶或粉尘，从而起到减少料片溢胶及粉尘造成的残次品。从而起到减少料片溢胶及粉尘造成的残次品。从而起到减少料片溢胶及粉尘造成的残次品。


技术研发人员：许红健
受保护的技术使用者：富金森（南通）科技有限公司
技术研发日：2021.10.09
技术公布日：2022/3/8