取棒车的制作方法

1.本实用新型涉及工装技术领域，具体而言，涉及一种取棒车。


背景技术：

2.现有的取棒工装或小车，只能取一种规格的晶棒，如果需要取多种规格的晶棒，则需要配备多辆取棒工装或小车，设备投资成本较高。


技术实现要素：

3.本实用新型的主要目的在于提供一种取棒车，能够取多种规格的晶棒，降低设备投资成本。
4.为了实现上述目的，本实用新型提供了一种取棒车，包括：底座；以及夹紧结构，夹紧结构设在底座上，且夹紧结构在竖直平面内可转动地设置；其中，夹紧结构包括固定夹和活动夹，固定夹和活动夹限定出用于放置晶棒的夹持腔，活动夹相对于固定夹可移动地设置，以调节夹持腔的大小。
5.进一步地，取棒车还包括：驱动组件，驱动组件固定在固定夹上，驱动组件的输出端与活动夹连接，以驱动活动夹相对于固定夹移动。
6.进一步地，驱动组件包括第一驱动机构和第一传动机构，第一传动机构的输入端与第一驱动机构的输出端连接，第一传动机构的输出端与活动夹连接。
7.进一步地，第一驱动机构为驱动电机，第一传动机构为滚珠丝杠，滚珠丝杠包括螺杆和滑块，螺杆可转动地设置在固定夹上，滑块固定在活动夹上，滑块设置在螺杆的外周并与螺杆螺纹配合，驱动电机与螺杆驱动连接，以将螺杆和滑块之间的旋转运动转化为滑块的直线运动。
8.进一步地，夹紧结构还包括第一卡块，第一卡块设置在活动夹上，滑块上设有卡槽，第一卡块卡设在卡槽内；或者，夹紧结构还包括第一卡块，第一卡块设置在活动夹上，滑块限定出卡槽和螺纹孔，螺纹孔与卡槽连通，至少部分第一卡块位于卡槽内，取棒车还包括压紧件，压紧件穿设在螺纹孔内并与螺纹孔螺纹配合，压紧件的一端伸入卡槽内并与第一卡块的外壁面抵接。
9.进一步地，取棒车还包括第一导向结构，第一导向结构用于对活动夹相对于固定夹的移动进行导向。
10.进一步地，第一导向结构包括固定部和活动部，固定部设置在固定夹上，活动部设置在活动夹上，且固定部与活动部滑动配合。
11.进一步地，固定夹包括：限位部，沿竖直方向延伸；支撑部，可拆卸地安装在限位部的底部，支撑部上设有用于避让晶棒的端部的长条孔。
12.进一步地，取棒车还包括设置在活动夹上的第一衬板，第一衬板位于活动夹的朝向夹持腔的一侧，在第一衬板的宽度方向上，第一衬板的至少一侧凸出于活动夹。
13.进一步地，取棒车还包括第二驱动机构和第二传动机构，第二驱动机构和第二传
动机构均固定在底座上，第二驱动机构的输出端与第二传动机构的输入端连接，第二传动机构的输出端与夹紧结构驱动连接，以驱动夹紧结构相对于底座上下移动。
14.应用本实用新型的技术方案，固定夹和活动夹共同作用将晶棒夹持在夹持腔中，由于在垂直于夹持腔的轴线的方向上，活动夹相对于固定夹可移动，因此，可以通过移动活动夹对夹持腔的大小进行调节，从而使固定夹和活动夹可以将不同规格的晶棒夹持在夹持腔中，进而使取棒车能够取多种规格的晶棒，通过本技术的技术方案，仅需配备一辆取棒车，即可实现取多种规格的晶棒的目的，能够降低设备投资成本。
附图说明
15.构成本技术的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
16.图1示出了根据本实用新型的取棒车的实施例的一个角度的立体结构示意图；
17.图2示出了图1的取棒车的另一个角度的立体结构示意图；
18.图3示出了图2的取棒车的俯视图；
19.图4示出了图3的取棒车的部分结构示意图；
20.图5示出了图1的取棒车的侧视图；
21.图6示出了图5的a处的局部放大图；以及
22.图7示出了图1的取棒车的夹紧结构的部分结构和第一衬板的结构示意图。
23.其中，上述附图包括以下附图标记：
24.10、底座；
25.11、板体；12、架体；13、避让空间；
26.20、夹紧结构；
27.21、固定夹；22、活动夹；221、夹持段；23、夹持腔；24、活动主体；25、第一卡块；27、限位部；271、卡槽；28、支撑部；281、长条孔；282、第二卡块；29、转辊；
28.30、第一驱动机构；
29.40、第一传动机构；
30.41、螺杆；42、滑块；
31.50、第一导向结构；
32.51、固定部；52、活动部；
33.60、压紧件；
34.70、第一衬板；
35.71、衬板段；
36.80、第二驱动机构；
37.90、第二导向结构；
38.91、导向凹槽；92、滑动件；
39.110、第三传动机构；
40.120、行走部；
41.130、第一安装支架；
42.140、第二安装支架；
43.150、第三安装支架；
44.160、第四安装支架；
45.170、把手；
46.180、罩体；
47.190、链轮；
48.200、驱动组件。
具体实施方式
49.需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
50.需要指出的是，除非另有指明，本技术使用的所有技术和科学术语具有与本技术所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。
51.在本实用新型中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下、顶、底”通常是针对附图所示的方向而言的，或者是针对部件本身在竖直、垂直或重力方向上而言的；同样地，为便于理解和描述，“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内、外，但上述方位词并不用于限制本实用新型。
52.单晶炉在完成拉制晶棒的任务后，需要把晶棒从单晶炉的副室内取出。首先要旋转副室到取棒位置，然后将晶棒下降到其上部的籽晶露出副室的下法兰，再剪断晶棒的籽晶部分，在下面放置合适的工装接住晶棒，工装带着晶棒移走，即完成取棒工作。
53.现有的晶棒规格基本有两种即8吋和12吋。相应的取棒工装或小车也有两种，即取8吋或12吋晶棒，很少有能取两种规格晶棒的取棒工装或小车。
54.也就是说，现有的取棒工装或小车，只能取一种规格的晶棒，即尺寸为8吋或12吋的晶棒。如果需要取多种规格的晶棒，则需要配备多辆取棒工装或小车，设备投资成本较高，并且难以适应拉晶工厂实际的生产需求。
55.为了解决上述问题，本实用新型及本实用新型的技术方案提供了一种取棒车。
56.如图1至图4所示，本实用新型的实施例中，取棒车包括：底座10以及夹紧结构20，夹紧结构20设在底座10上，且夹紧结构20在竖直平面内可转动地设置；其中，夹紧结构20包括固定夹21和活动夹22，固定夹21和活动夹22限定出用于放置晶棒的夹持腔23，活动夹22相对于固定夹21可移动地设置，以调节夹持腔23的大小。
57.上述设置中，固定夹21和活动夹22共同作用将晶棒夹持在夹持腔23中，由于活动夹22相对于固定夹21可移动，因此，可以通过移动活动夹22来调节夹持腔23的大小，从而使固定夹21和活动夹22可以将不同规格的晶棒夹持在夹持腔23中，进而使取棒车能够取多种规格的晶棒，相较于需要配备多辆取棒工装或小车来实现取多种规格的晶棒的目的的技术而言，通过本技术的技术方案，仅需配备一辆取棒车，即可实现取多种规格的晶棒的目的，能够降低设备投资成本。
58.本实用新型的实施例中，通过调节夹持腔23的大小，可以实现使取棒车能够取多种规格的晶棒的目的，一机多用，解决了现有技术中一种取棒车仅能够取一种规格尺寸的晶棒的问题，降低了设备投资成本，能够适应拉晶工厂多种规格晶棒的生产需求。
59.本实用新型的实施例中，取棒车通过调节夹持腔23的大小，以适用于多种规格晶棒的取放，一机多用，使拉晶工厂减少了设备的投资成本。
60.本实用新型的实施例中，底座10对夹紧结构20具有安装和支撑的作用。
61.本实用新型的实施例中，夹紧结构20相对于底座10在竖直平面内可转动，这样，可以将竖直布置的夹紧结构20转动至水平布置，由于晶棒沿竖直方向进入夹持腔23，因此，通过上述设置，当晶棒被夹持在夹持腔23内后，通过控制夹紧结构20相对于底座10的转动，可以将夹紧结构20和晶棒一起转动到合适的位置，方便取出晶棒。
62.需要说明的是，本实用新型的实施例中，夹持腔23的大小指的是夹持腔23的尺寸大小。通过调节夹持腔23的大小，可以将不同规格尺寸的晶棒放置在夹持腔23内。
63.如图1所示，本实用新型的实施例中，取棒车还包括：驱动组件200，驱动组件200固定在固定夹21上，驱动组件200的输出端与活动夹22连接，以驱动活动夹22相对于固定夹21移动。
64.固定夹21对驱动组件200具有支撑作用。驱动组件200驱动活动夹22相对于固定夹21移动，从而调节夹持腔23的大小。
65.如图1所示，本实用新型的实施例中，驱动组件200包括第一驱动机构30和第一传动机构40，第一传动机构40的输入端与第一驱动机构30的输出端连接，第一传动机构40的输出端与活动夹22连接。
66.第一驱动机构30的输出端将动力传递给第一传动机构40，第一传动机构40的输出端将动力传递给活动夹22，带动活动夹22移动，从而实现驱动组件200驱动活动夹22相对于固定夹21移动的目的。第一传动机构40实现传动作用。
67.如图1至图5所示，本实用新型的实施例中，第一驱动机构30为驱动电机，第一传动机构40为滚珠丝杠，滚珠丝杠包括螺杆41和滑块42，螺杆41可转动地设置在固定夹21上，滑块42固定在活动夹22上，滑块42设置在螺杆41的外周并与螺杆41螺纹配合，驱动电机与螺杆41驱动连接，以将螺杆41和滑块42之间的旋转运动转化为滑块42的直线运动。
68.驱动电机驱动螺杆41转动，由于螺杆41可转动地设置在固定夹21上，且滑块42与螺杆41螺纹配合，因此在驱动电机的驱动下，螺杆41和滑块42之间的旋转运动转化为滑块42的直线运动，从而使滑块42移动，滑块42与活动夹22连接，滑块42可以带动活动夹22一起移动，从而实现驱动组件200驱动活动夹22相对于固定夹21的移动。
69.通过驱动电机驱动，能够提高取棒车的机械化和自动化程度，提高工作效率。
70.具体地，如图1至图5所示，本实用新型的实施例中，第一驱动机构30设置在固定夹21上。固定夹21用于安装和支撑第一驱动机构30。
71.本实用新型的实施例中，利用驱动电机驱动活动夹22，调节夹持腔23的尺寸大小，以便夹持多种规格(如8吋、12吋、18吋)的晶棒，实现一车能取多种规格晶棒的目的。
72.如图5所示，本实用新型的实施例中，取棒车还包括第一安装支架130，第一安装支架130与固定夹21连接，第一驱动机构30设置在第一安装支架130上，第一安装支架130对第一驱动机构30具有安装和支撑的作用。
73.本实用新型的实施例中，第一传动机构40设置在第一安装支架130上，螺杆41与第一安装支架130可转动地连接。优选地，螺杆41通过轴承与第一安装支架130连接。
74.当然，在本技术的附图未示出的替代实施例中，还可以根据实际需要，使第一传动
机构40为同步带轮结构，同步带轮结构包括可转动地设置在第一安装支架130上的主动轮和从动轮以及设置在主动轮和从动轮的外周的同步带，第一驱动机构30与主动轮驱动连接，主动轮带动从动轮转动并带动同步带移动，活动夹22与同步带连接。
75.本实用新型的实施例中，活动夹22与滑块42可拆卸地连接。这样设置，便于装拆、维修和更换。
76.本实用新型的实施例中，活动夹22与滑块42卡接连接。这样设置，结构简单，便于装拆、维修和更换。
77.如图1、图3、图4和图7所示，本实用新型的实施例中，夹紧结构20还包括第一卡块25，第一卡块25设置在活动夹22上，滑块42限定出卡槽和螺纹孔，螺纹孔与卡槽连通，至少部分第一卡块25位于卡槽内，取棒车还包括压紧件60，压紧件60穿设在螺纹孔内并与螺纹孔螺纹配合，压紧件60的一端伸入卡槽内并与第一卡块25的外壁面抵接。
78.一些实施中，至少部分第一卡块25位于卡槽内，压紧件60穿设在螺纹孔内并与螺纹孔螺纹配合，螺纹孔与卡槽连通，这样，压紧件60的一端可以伸入卡槽内，通过旋拧压紧件60可以使压紧件60的一端与第一卡块25抵接，并将第一卡块25抵紧在卡槽内，从而使活动夹22与滑块42相连。
79.一些实施例中，至少部分第一卡块25位于卡槽内，然后用压紧件60将第一卡块25锁紧在卡槽内，这种结构方便快速取下活动夹22进行更换。
80.当然，在本技术的附图未示出的替代实施例中，还可以根据实际需要，这样设置，夹紧结构20还包括第一卡块25，第一卡块25设置在活动夹22上，滑块42上设有卡槽，第一卡块25卡设在卡槽内。
81.如图1至图4以及图7所示，本实用新型的实施例中，夹紧结构20还包括活动主体24，活动主体24与活动夹22连接，活动主体24上设置有第一卡块25。优选地，活动主体24为板状结构，减轻重量，方便使用。
82.如图2至图4所示，本实用新型的实施例中，取棒车还包括第一导向结构50，第一导向结构50用于对活动夹22相对于固定夹21的移动进行导向。
83.第一导向结构50用于对活动夹22相对于固定夹21的移动进行导向，保证活动夹22沿预订路径移动，避免活动夹22在移动过程中发生偏移。第一导向结构50还具有用于防止滑块42随螺杆41一起转动的作用。
84.如图2至图4所示，本实用新型的实施例中，第一导向结构50包括固定部51和活动部52，固定部51设置在固定夹21上，活动部52设置在活动夹22上，且固定部51与活动部52滑动配合。
85.优选地，活动夹22和活动部52的连接方式可以与活动夹22和滑块42的连接方式相同，此处不再赘述。
86.优选地，固定部51包括导轨，活动部52包括滑动件；或者，固定部51包括滑动件，活动部52包括导轨，只要二者相对滑动可实现导向的作用。
87.如图1和图5所示，本实用新型的实施例中，活动夹22的数量为多个，沿夹持腔23的轴线方向，多个活动夹22间隔设置。
88.多个活动夹22和固定夹21共同围成夹持腔23，通过设置多个活动夹22，可以更稳定和牢固的将晶棒夹持在夹持腔23内。
89.需要说明的是，本实用新型的实施例中，夹持腔23的轴线的延伸方向为图1纸面的上下方向。
90.需要说明的是，上述“垂直于夹持腔23的轴线的方向”不仅限于与夹持腔23的轴线呈90度夹角的方向，还包括在一定角度范围内波动的方向，比如，该方向在
±
15度范围内波动，也就是该方向与夹持腔23的轴线之间的夹角在75度和90度之间。
91.如图2所示，本实用新型的实施例中，取棒车还包括第二安装支架140，第二安装支架140与固定夹21连接，第一导向结构50设置在第二安装支架140上，第二安装支架140对第一导向结构50具有安装和支撑的作用。
92.优选地，如图3和图4所示，本实用新型的实施例中，驱动组件200和第一导向结构50分别位于活动夹22的相对两侧。这样设置，布置合理，便于组装。
93.如图1和图5所示，本实用新型的实施例中，取棒车包括与多个活动夹22对应设置的多个驱动组件200和多个第一导向结构50。这样设置，可以使多个活动夹22分别独立运动，更加灵活。
94.如图1和图5所示，本实用新型的实施例中，活动夹22、驱动组件200以及第一导向结构50的个数均为三个。
95.如图3、图4和图7所示，本实用新型的实施例中，取棒车还包括设置在活动夹22上的第一衬板70，第一衬板70位于活动夹22的朝向夹持腔23的一侧，在第一衬板70的宽度方向上，第一衬板70的至少一侧凸出于活动夹22。
96.活动夹22和固定夹21将晶棒夹持在夹持腔23中，第一衬板70用于保护晶棒，避免晶棒受污染或发生磕碰损伤等问题。同时，由于在第一衬板70的宽度方向上，第一衬板70的至少一侧凸出于活动夹22，因此，在取棒时可以避免划伤棒的表面。
97.第一衬板70的至少一侧凸出于活动夹22包括第一衬板70的相对两侧均凸出于活动夹22，也包括第一衬板70的一侧凸出于活动夹22。
98.优选地，第一衬板70一般采用碳碳材料制成，耐用且能够防止高温变形。
99.如图3、图4和图7所示，本实用新型的实施例中，活动夹22的内壁面呈多边形。这样设置，便于活动夹22从不同侧面夹持晶棒，施力更加集中，夹持效果较好。
100.如图3、图4和图7所示，本实用新型的实施例中，活动夹22的内壁面呈五边形。当然，还可以将活动夹22的内壁面设置为呈三边形或六边形等。
101.当然，在本技术的附图未示出的替代实施例中，还可以根据实际需要，使活动夹22的内壁面呈与棒的外壁面形状相适配的弧形。
102.如图7所示，本实用新型的实施例中，活动夹22包括多个夹持段221，多个夹持段221依次连接形成半卡箍结构，第一衬板70包括多个衬板段71，多个衬板段71与多个夹持段221对应设置，多个衬板段71依次连接形成半箍结构。
103.如图1至图4所示，本实用新型的实施例中，固定夹21包括限位部27和支撑部28，限位部27沿竖直方向延伸；支撑部28可拆卸地安装在限位部27的底部，支撑部28上设有用于避让晶棒的端部的长条孔281。
104.限位部27沿竖直方向延伸，活动夹22和限位部27夹持晶棒，这样设置便于取晶棒。支撑部28用于托住晶棒，活动夹22、限位部27和支撑部28共同作用将晶棒夹持在夹持腔23内。
105.支撑部28可拆卸地安装在限位部27上，便于装拆和更换。
106.如图3和图4所示，本实用新型的实施例中，限位部27包括呈夹角设置的沿竖直方向延伸的两个第一侧架，各第一侧架均包括至少两个沿竖直方向延伸的纵梁和用于连接上述纵梁的一个或多个横梁，多个横梁沿竖直方向间隔布置。
107.本实用新型的实施例中，第一安装支架130与两个第一侧架中的一个连接；第二安装支架140与两个第一侧架中的另一个连接。
108.当然，在本技术的附图未示出的替代实施例中，还可以根据实际需要，使第一侧架包括平板。
109.如图1、图2和图5所示，本实用新型的实施例中，限位部27上设有多个用于与晶棒接触的转辊29，多个转辊29沿竖直方向间隔设置。
110.转辊29用于与晶棒接触，转辊29与活动夹22配合将晶棒夹持在夹持腔23内。
111.优选地，转辊29的外壁面上设有第二衬板，第二衬板用于保护晶棒，避免晶棒受污染或发生磕碰损伤等问题。
112.具体地，本实用新型的实施例中，各第一侧架均包括多个横梁，相邻两个横梁之间设有一个或多个转辊29。
113.如图1至图4所示，本实用新型的实施例中，支撑部28上设有长条孔281。
114.晶棒的底部为锥形，晶棒的锥形底部可以穿设在长条孔281内，便于对晶棒进行定位，能够提高夹紧结构20对晶棒的夹取效果。
115.不同规格的晶棒径向尺寸不同，当晶棒被夹持在夹持腔23内时，不同规格的晶棒的锥形底部相对于支撑部28的位置不同，设置长条孔281能适应不同规格晶棒的锥形底部。
116.本实用新型的实施例中，长条孔281沿活动夹22相对于固定夹21移动的方向延伸。
117.优选地，支撑部28上设有第三衬板，第三衬板用于保护晶棒，避免晶棒受污染或发生磕碰损伤等问题。第三衬板位于支撑部28的朝向夹持腔23的一侧，第三衬板上设有与长条孔281对应的避让孔。
118.如图5和图6所示，本实用新型的实施例中，支撑部28与限位部27卡接连接，结构简单，便于组装。
119.如图6所示，本实用新型的实施例中，限位部27上设有卡槽271，支撑部28上设有第二卡块282，支撑部28和限位部27通过第二卡块282和卡槽271卡接连接。
120.具体地，支撑部28卡在限位部27的两侧第一侧架上，支撑部28上的第二卡块设有多个，能适应不同长度的晶棒。
121.如图1和图2所示，本实用新型的实施例中，取棒车还包括第二驱动机构80和第二传动机构，第二驱动机构80和第二传动机构均固定在底座10上，第二驱动机构80的输出端与第二传动机构的输入端连接，第二传动机构的输出端与夹紧结构20驱动连接，以驱动夹紧结构20相对于底座10上下移动。
122.底座10对第二驱动机构80和第二传动机构均具有安装和支撑作用。第二驱动机构80通过第二传动机构驱动夹紧结构20，使夹紧结构20相对于底座10上下移动，从而调节夹紧结构20在竖直方向上的高度。
123.优选地，第二驱动机构80包括液压缸或其他液压升降结构(如液压机等)。
124.如图1至图3所示，本实用新型的实施例中，取棒车还包括用于对夹紧结构20相对
于底座10的移动进行导向的第二导向结构90，第二导向结构90设置在底座10上，至少部分第二导向结构90与夹紧结构20连接。
125.底座10用于安装和支撑第二导向结构90。至少部分第二导向结构90与夹紧结构20连接，第二导向结构90用于对夹紧结构20相对于底座10的移动进行导向。
126.具体地，如图2和图3所示，本实用新型的实施例中，第二导向结构90包括设置在底座10上的导向凹槽91以及可滑动地设置在导向凹槽91内的滑动件92，导向凹槽91沿竖直方向延伸，滑动件92与夹紧结构20连接，在第二驱动机构80的驱动下，夹紧结构20带动滑动件92沿导向凹槽91滑动，实现第二导向结构90的导向作用。
127.本实用新型的实施例中，第二驱动机构80通过滑动件92与夹紧结构20连接，也就是说，第二驱动机构80驱动滑动件92移动，从而带动夹紧结构20移动。
128.本实用新型的实施例中，第二驱动机构80通过第二传动机构与滑动件92连接。
129.第二传动机构包括可转动地设置在第二驱动机构80的输出端上的链轮190以及与链轮190啮合的传动链，传动链的一端与底座10或罩体180固定连接，传动链的另一端与滑动件92连接，第二驱动机构80的输出端带动链轮190沿竖直方向移动，链轮190转动，使与滑动件92连接的传动链的一端沿竖直方向移动，从而带动滑动件92沿竖直方向移动。
130.优选地，滑动件92包括滚轮。
131.当然，在本技术的替代实施例中，还可以根据实际需要，使第二导向结构90包括设置在底座10上的滑动件以及与滑动件滑动配合的导轨，滑动件沿竖直方向延伸，导轨与夹紧结构20连接。
132.如图1至图3以及图5所示，本实用新型的实施例中，取棒车还包括设置在底座10上的第三传动机构110，第三传动机构110与夹紧结构20驱动连接，以使夹紧结构20相对于底座10在竖直平面内转动。
133.底座10对第三传动机构110具有安装和支撑的作用。第三传动机构110驱动夹紧结构20，使夹紧结构20相对于底座10在竖直平面内转动。夹紧结构20可以旋转到水平位置，使晶棒能被可靠定位，方便晶棒的转运。
134.优选地，第三传动机构110包括电机。
135.具体地，如图3所示，本实用新型的实施例中，取棒车还包括与滑动件92连接的第三安装支架150，第三传动机构110设置在第三安装支架150上，第三安装支架150用于安装和支撑第三传动机构110。取棒车还包括设置在第三安装支架150上的减速机，第三传动机构110通过减速机与夹紧结构20连接，带动夹紧结构20转动。
136.优选地，本实用新型的实施例中，取棒车包括两个并列设置的第二导向结构90，两个第二导向结构90的两个滑动件92均与第三安装支架150连接，能够起到更好的导向效果。
137.优选地，本实用新型的实施例中，第三传动机构110的输出轴与减速机的输出轴之间具有夹角，可以通过锥齿轮传动实现转向，比如，第三传动机构110的输出轴通过锥齿轮组与减速机的输入轴连接，实现动力转向传动。
138.需要说明的是，通过锥齿轮连接实现动力传输及转向功能是本领域的常规技术，此处不再赘述。
139.如图1至图3以及图5所示，本实用新型的实施例中，取棒车还包括与减速机的输出轴连接的第四安装支架160，夹紧结构20设置在第四安装支架160上，减速机带动第四安装
支架160和夹紧结构20一起转动。
140.优选地，本实用新型的实施例中，第四安装支架160包括与减速机的输出轴连接的板段以及与板段连接的架段，架段用于安装夹紧结构20，架段与限位部27连接，架段包括呈夹角设置的两侧第二侧架，使架段适应限位部27的结构，能够使架段更稳固地安装和支撑夹紧结构20。
141.如图1至图3以及图5所示，本实用新型的实施例中，取棒车还包括行走部120，行走部120设置在底座10的下方，且至少部分行走部120相对于底座10可转动。
142.至少部分行走部120转动，带动底座10以及设置在底座10上的各部件(比如夹紧结构20等)一起移动，从而实现取棒车的行走功能，便于移动取棒车。
143.优选地，行走部120包括行走轮。
144.优选地，本实用新型的实施例中，行走部120的数量为四个，使取棒车更稳定地行走。
145.优选地，如图1和图2所示，本实用新型的实施例中，取棒车还包括设置在底座10上的把手170，操作人员可以通过把手170推动取棒车。
146.优选地，如图1至图3所示，本实用新型的实施例中，取棒车还包括设置在底座10上的罩体180，罩体180罩设在第二驱动机构80的至少部分外周，用于保护第二驱动机构80。把手170设置在罩体180上。
147.优选地，取棒车还包括设置在底座10上的控制部，第一驱动机构30、第二驱动机构80和第三传动机构110均与控制部连接，控制部分别控制第一驱动机构30、第二驱动机构80和第三传动机构110的启闭。
148.优选地，如图1至图3所示，本实用新型的实施例中，底座10包括板体11和与板体11连接的架体12，第二驱动机构80设置在板体11上，第二导向结构90设置在架体12上，架体12上设有避让空间13，当夹紧结构20沿竖直方向布置时，一部分夹紧结构20位于避让空间13内，这样可以降低取棒车的重心，使取棒操作更稳定。
149.本实用新型的实施例中，取棒车是一台液压升降车，带有一个旋转机构(包括第三传动机构110、减速机以及锥齿轮组等)，夹紧结构20安装在旋转机构上，夹紧结构20用于夹持晶棒。
150.具体地，取棒车包括底座10、第二驱动机构80、第二导向结构90、第三安装支架150、第三传动机构110、第四安装支架160、夹紧结构20、第一驱动机构30、第一传动机构40及第一导向结构50等。
151.第二驱动机构80安装在底座10上，链轮190可转动地安装在第二驱动机构80的输出端上，第二驱动机构80通过液压驱动使第二驱动机构80的输出端可上下移动，从而带动链轮190上下移动，传动链的一端固定在罩体180上，传动链的另一端与第二导向结构90的滑动件92连接，传动链与链轮190啮合，当链轮190上下移动时可以带动传动链的与滑动件92连接的一端上下移动，从而带动滑动件92上下移动。
152.第三安装支架150与滑动件92连接，在滑动件92的带动下，第三安装支架150能够上下移动。
153.第三传动机构110安装在第三安装支架150上，第三传动机构110可以随第三安装支架150一起上下移动，第三传动机构110驱动第四安装支架160转动，夹紧结构20安装在第
四安装支架160上，第四安装支架160能够带动夹紧结构20一起转动，从而旋转晶棒。
154.夹紧结构20的限位部27的整体结构呈三角形，在限位部27的开口一面安装有活动夹22，活动夹22在第一驱动机构30的驱动下能够移动，从而改变活动夹22到限位部27之间的距离，进而调节夹持腔23的尺寸大小，使夹持腔23的尺寸适应不同规格尺寸的晶棒(如8吋、12吋、14吋)，使夹紧结构20能够更稳定地夹持晶棒。
155.在活动夹22的两侧，一边是第一驱动机构30和第一传动机构40，另一边是第一导向结构50，能方便控制活动夹22的位置。
156.晶棒从单晶炉副室取下后，旋转机构把夹紧结构20从垂直位置旋转到水平位置，通过限位部27的三角形的开口以及上部和底部的v形结构(由两个呈夹角设置的第一侧架形成)能够稳定处于水平位置的晶棒再松开或取下活动夹22，可方便地取出晶棒。
157.从以上的描述中，可以看出，本实用新型上述的实施例实现了如下技术效果：固定夹和活动夹共同作用将晶棒夹持在夹持腔中，活动夹相对于固定夹可移动，因此，可以通过移动活动夹对夹持腔的大小进行调节，从而使固定夹和活动夹可以将不同规格的晶棒夹持在夹持腔中，进而使取棒车能够取多种规格的晶棒，通过本技术的技术方案，仅需配备一辆取棒车，即可实现取多种规格的晶棒的目的，能够降低设备投资成本。
158.显然，上述所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。
159.需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本技术的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、工作、器件、组件和/或它们的组合。
160.需要说明的是，本技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本技术的实施方式能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。
161.以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。