一种模具式电子芯片生产晶圆涂膜设备的制作方法

1.本实用新型涉及电子芯片技术领域，具体地说，涉及一种模具式电子芯片生产晶圆涂膜设备。


背景技术：

2.对于电子芯片来说，它的原材料就是晶圆。其中，当晶圆需要成型为芯片来说，需要经过多道工艺的流程，例如：晶圆清洗、晶圆涂膜、晶圆光刻显影和搀加杂质等步骤，对于晶圆进行涂膜使，目前多通用人力对晶圆的表面填涂一种光刻胶膜层，此过程的光刻胶填涂较为耗费人力，进而少部分的技术人员会采用机械转动填涂，通过光刻胶位于转动器具上，对下方的晶圆进行转动填涂，此过程随具有节约人力的效果，但是需要较长时间的机械转动填涂，达不到一次性的均填涂效果，无法对于后续的曝光与烘烤节约时间；同时在转动填涂时，晶圆表面填涂的光刻胶的量度可能较多，做不到整体均匀的效果，综上所述，目前晶圆的涂膜的效率得不到提高，也达不到优异的填涂效果，即电子芯片的制造生产效率缓慢。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种模具式电子芯片生产晶圆涂膜设备，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供一种模具式电子芯片生产晶圆涂膜设备，包括涂膜体，所述涂膜体包括对称设置的支撑柱，所述支撑柱之间连通有固定杆，所述固定杆一端安装有涂膜盘，所述涂膜盘呈开口向上的圆形结构，所述固定杆的表面套接有连接板，所述连接板的一端内安装有固定轴，所述固定轴的顶部安装有转盘，所述固定轴的底部设有涂料板，所述涂料板的一端与所述涂膜盘的中心轴处于同一水平线，所述涂料板得到尺寸与所述涂膜盘的半径相同。
5.作为本技术方案的进一步改进，所述涂膜盘的表面侧端安装有贯穿内部的堵塞。
6.作为本技术方案的进一步改进，所述涂膜盘的内部螺纹连接有底螺杆，所述底螺杆的底部安装有转动把手。
7.作为本技术方案的进一步改进，所述固定杆的表面安装定位块，所述定位块的表面内螺纹连接有顶升螺杆，所述顶升螺杆的顶部与所述连接板适配接触。
8.作为本技术方案的进一步改进，其中一个所述支撑柱的一端部安装有固定块，所述固定块的一端表面设有擦板，所述擦板的侧面设有移动杆，所述固定块的侧壁开设有移动腔，所述移动杆与所述移动腔滑动连接。
9.作为本技术方案的进一步改进，所述擦板的表面内设有与之适配的贴块。
10.作为本技术方案的进一步改进，所述固定杆的表面开设有内凹的环腔，所述定位块的圆口内设有与所述环腔适配贴合的内块，所述定位块与所述固定杆活动套接。与现有技术相比，本实用新型的有益效果：
11.该模具式电子芯片生产晶圆涂膜设备中，通过涂料板可对于晶圆表面的光刻胶涂料进行圆周运动的刮取，使得涂料可一次性平铺于晶圆的表面，相对于目前机械转动填涂的效果更佳，且整个秸秆简单，节约成本；同时本装置还可适用于在机械转动填涂后，对晶圆表面进行二次的精细处理。
附图说明
12.图1为本实用新型实施例1的整体结构示意图；
13.图2为本实用新型实施例1的涂膜体结构分解图；
14.图3为本实用新型实施例1的定位块结构剖切图；
15.图4为本实用新型实施例1的固定块结构分解图。
16.图中各个标号意义为：
17.100、涂膜体；
18.110、支撑柱；111、固定杆；1110、环腔；112、涂膜盘；113、连接板；114、固定轴；115、涂料板；116、底螺杆；1160、转动把手；117、定位块；1171、顶升螺杆；1172、内块；118、固定块；1181、擦板；1182、移动杆；1183、移动腔。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
21.实施例1
22.请参阅图1-图4所示，本实施例提供一种模具式电子芯片生产晶圆涂膜设备，包括涂膜体100，涂膜体100包括对称设置的支撑柱110，支撑柱110之间连通有固定杆111，固定杆111一端安装有涂膜盘112，涂膜盘112呈开口向上的圆形结构，固定杆111的表面套接有连接板113，连接板113的一端内安装有固定轴114，固定轴114的顶部安装有转盘，固定轴114的底部设有涂料板115，涂料板115的一端与涂膜盘112的中心轴处于同一水平线，涂料板115得到尺寸与涂膜盘112的半径相同。
23.本实施例中，涂料板115的底部呈锥形结构，即通过人力手动转动转盘，即固定轴114被带动，进而涂料板115会沿着固定轴114的表面圆周运动，因连接板113的一端轴心与涂膜盘112的轴心处于同一水平线，即通过将晶圆首先置于涂膜盘112的内部，再将适配的光刻胶涂料置于晶圆的表面，即光刻胶涂料呈直线，即一端位于晶圆的边缘，另一端处于晶圆的中心轴处即可，此时经固定轴114的转动使得涂料板115会对涂料进行圆周性的均匀刮动，对光刻胶平铺于晶圆的表面，即一定时间后光刻胶形成一层膜料，其中涂膜盘112呈圆
形结构，相对与目前的晶圆的尺寸刚好呈贴合适配，进而可达到一次性的均与均匀涂膜，同时经连接板113沿着固定杆111的表面上滑动与下滑动时，可使得涂料板115逐渐远离或靠近涂膜盘112的表面，当涂料板115远离时，一方面可针对于晶圆的尺寸厚度较大时，即位于涂膜盘112内的高度较高，经涂料板115上调适配调节作出修整，便于适配刮料平铺，另一方面可在涂料板115远离涂膜盘112后，即涂膜完毕，便于将晶圆移出，当涂料板115靠近时，即当晶圆的尺寸厚度较小时，即位于涂膜盘112内的高度较底，经涂料板115下调适配调节作出修整，同样便于适配刮料平铺，即通过上下的调节达到双重适配修整，更加的对晶圆填涂形成精细的过程；其次，此装置还适配于目前采用机械转动涂料的晶圆，在转动涂料完毕后可将晶圆置于涂膜盘112的内部，此时无需置入涂料，即通过涂料板115的转动接触涂料，使得光刻胶涂料于晶圆的表面得到进一步的精细处理，膜料填涂的更加均匀，同步加强目前的机械转动填涂的效果；本装置，通过涂料板115可对于晶圆表面的光刻胶涂料进行圆周运动的刮取，使得涂料可一次性平铺于晶圆的表面，相对于目前机械转动填涂的效果更佳，同时本装置还可适用于在机械转动填涂后，对晶圆表面进行二次的精细处理。
24.为了提高的整个装置的实用效果，本实用新型对涂膜盘112的内部结构进行合理设计，涂膜盘112的表面侧端安装有贯穿内部的堵塞，其中，在晶圆的涂膜步骤前，还需要进行清洗，当晶圆未清洗时，或清洗的不够洁净时，首先将水流置于涂膜盘112内部，晶圆放置内部，调节连接板113的适配高度，即涂料板115与晶圆适配接触即可，转动转盘，涂料板115对晶圆表面排动水流进行刮取清洁，达到便捷的清洁，以节约人力手动清洁，完毕后，经堵塞移出，水流会沿着堵塞密封的出水口流至外界，即清洗完成，可开始下一步骤涂膜，进而，整个装置的实用性增加。
25.为了提高警员在清洗或者涂膜好的便捷移出，本实用新型对涂膜盘112的内部结构进行合理设计，涂膜盘112的内部螺纹连接有底螺杆116，底螺杆116的底部安装有转动把手1160，在清洗或晶圆的填涂完毕后，经底螺杆116的转动把手1160转动，即底螺杆116推出晶圆向外，因晶圆呈圆形当与涂膜盘112适配贴合后，经过此操作便于移出，同时在清洗后的晶圆底部含有水分，即经过底螺杆116的推出更加便捷的取出擦干；其次，底螺杆116再回位时时与涂膜盘112呈密封适配接触，且处于底螺杆116的顶部与涂膜盘112的内壁处于水平。
26.为了提高的连接板113调节后的稳定，固定杆111的表面安装定位块117，定位块117的表面内螺纹连接有顶升螺杆1171，顶升螺杆1171的顶部与连接板113适配接触，通过顶升螺杆1171的向上转动，一方面的达到连接板113可节约人力向上推动，另一方面可对于调节后连接板113的位置更加稳定支撑，防止沿着固定杆111滑落。
27.为了解决涂料板115在涂料后表面粘附胶料，其中一个支撑柱110的一端部安装有固定块118，固定块118的一端表面设有擦板1181，擦板1181的侧面设有移动杆1182，固定块118的侧壁开设有移动腔1183，移动杆1182与移动腔1183滑动连接。其中，擦板1181呈与涂料板115结构适配，即在涂膜完毕后，通过将连接板113转动至另一侧端，即涂料板115位于擦板1181的表面即可，此时，经人力推动移动杆1182沿着移动腔1183的内部滑动，即擦板1181可对于锥形结构的涂料板115进行擦拭去料，因涂料板115刮取涂料后，表面可能粘附一定的涂料，经此过程可对于涂料板115表面的涂料清除。
28.进一步的，擦板1181的表面内设有与之适配的贴块。其中，贴块采用棉性材料制
成，当擦板1181移动时，贴块可更加贴合于涂料板115的表面侧端进行摩擦去料。
29.为了提高定位块117与顶升螺杆1171的实用效果，本实用新型对内部结构进行合理设计，固定杆111的表面开设有内凹的环腔1110，定位块117的圆口内设有与环腔1110适配贴合的内块1172，定位块117与固定杆111活动套接。即经环腔1110与内块1172的连接，使得定位块117可沿着固定杆111的表面转动，但高度位置不变，即当连接板113的位置偏移至固定块118的一侧时，定位块117及顶升螺杆1171随之调节，即使得顶升螺杆1171可实时的对于连接板113造成支撑，便于涂料板115的位置定位稳定。
30.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。