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一种节能型的电子枪蒸发镀膜机的制作方法

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1.本实用新型涉及蒸发镀膜技术领域,具体是一种节能型的电子枪蒸发镀膜机。


背景技术:

2.电子枪蒸发镀膜机是化合物半导体器件制作中的一种重要工艺技术。它由电子束高温加热坩埚中的金属,使其熔融后蒸发到所需基片上形成金属膜。可蒸发很多难熔金属或者蒸汽压低的金属材料。
3.传统的电子枪蒸发镀膜机,在取出镀膜件时,坩埚中的温度,和金属的温度会迅速降低,导致在电子枪重新加热时耗能增多的问题。为此,我们提供了一种节能型的电子枪蒸发镀膜机解决以上问题。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于提供一种节能型的电子枪蒸发镀膜机,以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
6.一种节能型的电子枪蒸发镀膜机,包括隔离筒,隔离筒的内侧壁固定连接有圆形固定块,所述圆形固定块的上表面固定连接有电机,所述电机通过输出轴固定连接有锥齿轮一,所述锥齿轮一啮合有锥齿轮二,所述锥齿轮二的底面固定连接有传动长筒,且所述传动长筒的外表面转动连接圆形固定块的内部,所述传动长筒远离锥齿轮二一端的外表面固定连接有三个支撑转块,每个所述支撑转块远离传动长筒一端的底面转动连接有齿轮,所述圆形固定块的底面固定连接有齿牙环,齿牙环的内壁啮合有齿轮,所述齿轮的底面开设有卡槽,且所述卡槽卡接有放置架,所述圆形固定块的上表面固定连接有u型支撑块,所述u型支撑块的上表面镶嵌有液压缸筒,所述液压缸筒的内部滑动连接有活塞推拉杆,所述活塞推拉杆依次贯穿锥齿轮二和传动长筒并延伸至传动长筒的外部,所述活塞推拉杆与传动长筒滑动连接,所述活塞推拉杆的底端固定连接有元件柱,所述元件柱的底端固定连接有电子枪,所述元件柱的侧面固定连接有下推块,所述下推块的底端开设有斜面,且所述斜面滑动连接有传动短块,所述传动短块的左端固定连接有套杆,所述套杆通过凸出的长条块固定连接有保温隔层一,所述套杆套接有固定支撑杆,且所述固定支撑杆的底端固定连接在隔离筒的内底壁,所述套杆的底端固定连接有复位弹簧,所述复位弹簧的底端固定连接在隔离筒的内底壁,所述隔离筒内底壁的中心开设有贯穿圆孔,且所述贯穿圆孔固定连接有支撑管,所述支撑管的顶端连通有坩埚,且所述支撑管的外表面固定连接有保温隔层二的内部,所述支撑管的底端连通有材料导管。
7.作为本实用新型进一步的方案:所述隔离筒的外表面开设有支撑短块,所述支撑短块转动连接有直角转块。能够使开启门具有快速开启的效果。
8.作为本实用新型再进一步的方案:所述直角转块的一端固定连接有开启门,且所述开启门的正侧面开设有观望孔。便于观望隔离筒内部的镀膜情况。
9.作为本实用新型再进一步的方案:所述隔离筒的右侧固定连接有两个固定卡块,每个所述固定卡块开设有弧形卡槽,且所述弧形卡槽卡接有弧形卡块,所述弧形卡块开设有伸缩卡杆对应的卡孔,所述弧形卡块靠近开启门的一端固定连接于开启门的外表面。便于快速封闭开启门。
10.作为本实用新型再进一步的方案:所述固定卡块的右侧面开设有圆孔槽,且所述圆孔槽卡接有伸缩卡杆,所述伸缩卡杆的外表面开设有伸缩弹簧。便于伸缩卡杆伸缩卡接弧形卡块一端的卡孔内。
11.作为本实用新型再进一步的方案:所述保温隔层一的顶部固定连接有半圆形遮盖,所述与半圆形遮盖对应的保温隔层二开设有对应的半圆型卡槽。便于遮盖封闭坩埚内的温度。
12.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
13.1、本实用新型中,通过液压缸筒推动活塞推拉杆下移,活塞推拉杆通过推动元件柱带动下推块下移,下推块推动传动短块,传动短块沿下推块的斜面转动,下推块转动带动套杆转动,套杆带动保温隔层一,保温隔层一带动半圆形遮盖脱离保温隔层二的半圆形卡槽,下推块上移时,套杆在复位弹簧的转动下回转,达到了套杆通过保温隔层一带动半圆形遮盖卡接进保温隔层二的半圆形卡槽,解决了传统的传统的电子枪蒸发镀膜机,在取出镀膜件时,坩埚中的温度和金属的温度会迅速降低,导致在电子枪重新加热时耗能增多的问题。
14.2、本实用新型中,通过电机输出轴带动锥齿轮一转动,锥齿轮一通过锥齿轮二带动传动长筒,传动长筒通过支撑转块带动齿轮沿齿牙环转动,齿轮带动放置架转动,达到了放置架在被支撑转块带动的同时自身也在自转的效果,使镀层更加均匀。
附图说明
15.图1为本实用新型三维结构剖视图;
16.图2为本实用新型图1的a处结构放大示意图;
17.图3为本实用新型三维正侧剖视图;
18.图4为本实用新型整体三维结构示意图。
19.图中:1、隔离筒;2、圆形固定块;3、电机;4、锥齿轮一;5、锥齿轮二; 6、传动长筒;7、支撑转块;8、齿轮;9、放置架;10、活塞推拉杆;11、液压缸筒;12、u型支撑块;13、支撑短块;14、直角转块;15、元件柱;16、下推块;17、齿牙环;18、固定卡块;19、弧形卡块;20、伸缩卡杆;21、伸缩弹簧;22、支撑管;23、坩埚;24、材料导管;25、保温隔层二;26、保温隔层一;27、套杆;28、固定支撑杆;29、传动短块;30、复位弹簧;31、开启门;32、电子枪;33、半圆形遮盖。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
21.请参阅图1~4,本实用新型实施例中,一种节能型的电子枪蒸发镀膜机,包括隔离筒1,隔离筒1的内侧壁固定连接有圆形固定块2,圆形固定块2的上表面固定连接有电机3,电机3通过输出轴固定连接有锥齿轮一4,锥齿轮一4 啮合有锥齿轮二5,锥齿轮二5的底面固定连接有传动长筒6,且传动长筒6的外表面转动连接圆形固定块2的内部,传动长筒6远离锥齿轮二5一端的外表面固定连接有三个支撑转块7,每个支撑转块7远离传动长筒6一端的底面转动连接有齿轮8,圆形固定块2的底面固定连接有齿牙环17,齿牙环17的内壁啮合有齿轮8,齿轮8的底面开设有卡槽,且卡槽卡接有放置架9,圆形固定块2 的上表面固定连接有u型支撑块12,u型支撑块12的上表面镶嵌有液压缸筒11,液压缸筒11的内部滑动连接有活塞推拉杆10,活塞推拉杆10依次贯穿锥齿轮二5和传动长筒6并延伸至传动长筒6的外部,活塞推拉杆10与传动长筒6滑动连接,活塞推拉杆10的底端固定连接有元件柱15,元件柱15的底端固定连接有电子枪32,元件柱15的侧面固定连接有下推块16,下推块16的底端开设有斜面,且斜面滑动连接有传动短块29,传动短块29的左端固定连接有套杆 27,套杆27通过凸出的长条块固定连接有保温隔层一26,套杆27套接有固定支撑杆28,且固定支撑杆28的底端固定连接在隔离筒1的内底壁,套杆27的底端固定连接有复位弹簧30,复位弹簧30的底端固定连接在隔离筒1的内底壁,隔离筒1内底壁的中心开设有贯穿圆孔,且贯穿圆孔固定连接有支撑管22,支撑管22的顶端连通有坩埚23,且支撑管22的外表面固定连接有保温隔层二25 的内部,支撑管22的底端连通有材料导管24。
22.其中,隔离筒1的外表面开设有支撑短块13,支撑短块13转动连接有直角转块14,能够使开启门31具有快速开启的效果。
23.其中,直角转块14的一端固定连接有开启门31,且开启门31的正侧面开设有观望孔,便于观望隔离筒1内部的镀膜情况。
24.其中,隔离筒1的右侧固定连接有两个固定卡块18,每个固定卡块18开设有弧形卡槽,且弧形卡槽卡接有弧形卡块19,弧形卡块19开设有伸缩卡杆20 对应的卡孔,与弧形卡块19靠近开启门31的一端固定连接于开启门31的外表面,便于快速封闭开启门31。
25.其中,固定卡块18的右侧面开设有圆孔槽,且圆孔槽卡接有伸缩卡杆20,伸缩卡杆20的外表面开设有伸缩弹簧21,便于伸缩卡杆20伸缩卡接弧形卡块 19一端的卡孔内。
26.其中,保温隔层一26的顶部固定连接有半圆形遮盖33,与半圆形遮盖33 对应的保温隔层二25开设有对应的半圆型卡槽,便于遮盖封闭坩埚23内的温度
27.工作原理:通过液压缸筒11推动活塞推拉杆10下移,活塞推拉杆10通过推动元件柱15带动下推块16下移,下推块16推动传动短块29,传动短块29 沿下推块16的斜面转动,下推块16转动带动套杆27转动,套杆27带动保温隔层一26,保温隔层一26带动半圆形遮盖33脱离保温隔层二25的半圆形卡槽,下推块16上移时,套杆27在复位弹簧30的转动下回转,达到了套杆27通过保温隔层一26带动半圆形遮盖33卡接进保温隔层二25的半圆形卡槽,解决了传统的传统的电子枪蒸发镀膜机,在取出镀膜件时,坩埚中的温度和金属的温度会迅速降低,导致在电子枪重新加热时耗能增多的问题,通过电机3输出轴带动锥齿轮一4转动,锥齿轮一4通过锥齿轮二5带动传动长筒6,传动长筒6 通过支撑转块7带动齿轮8沿齿牙环17转动,齿轮8带动放置架9转动,达到了放置架9在被支撑转块7带动的同时自身也在自转的效果,使镀层更加均匀,推动开启门31关闭,开启门31带动弧形卡块19卡接进固定卡块18弧形卡槽内,使伸缩卡杆20伸缩卡接弧形卡块19一端的卡孔内,完成固定。

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