管路连接器的制作方法

1.本实用新型涉及气体输送管路领域，尤其涉及一种管路连接器。


背景技术：

2.半导体处理设备中有大量管道与管道之间进行密封连接的需求，现有技术通常采用硬连接方式(如焊接)或使用不锈钢波纹管作为管道之间的连接方式，但硬连接方式不便于管路维护和清理，而不锈钢波纹管易形变、易沾污，尤其是在高温腐蚀性尾气输送管路使用时，不锈钢波纹管存在如下缺点：(1)管壁较薄，仅一周时间就会被腐蚀穿孔，(2)可调节的长度范围有限，使用具有单一性，(3)存在很多褶皱，脏污不便清理。
3.为此，亟需一种管路连接器来解决以上问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种管路连接器，能够方便半导体设备如cvd，pvd等管路的安装，减小设备管路中的加工误差，而且耐高温、耐腐蚀，使用寿命长。
5.本实用新型提供一种管路连接器，包括第一连接管、第二连接管、第三连接管和密封组件；所述第一连接管和所述第三连接管的一端部设有法兰盘，所述第一连接管与所述第三连接管的直径相同；所述第二连接管的第一端与所述第一连接管远离所述法兰盘的一端相互套接，所述第二连接管的第二端与所述第三连接管远离所述法兰盘的一端相互套接；所述第一连接管和所述第三连接管中的至少一个可相对于所述第二连接管轴向伸缩移动；所述密封组件套设于所述第二连接管与所述第一连接管、所述第三连接管的套接处。
6.其有益效果在于：本实用新型通过所述第二连接管的第一端与所述第一连接管远离所述法兰盘的一端相互套接，所述第二连接管的第二端与所述第三连接管远离所述法兰盘的一端相互套接；所述第一连接管和所述第三连接管中的至少一个可相对于所述第二连接管轴向伸缩移动，将所述管路连接器做成可伸缩的结构，使得所述管路连接器可根据实际需求调节所需要的长度，相对于现有的不锈钢波纹管连接件而言，本实用新型所提供的管路连接器的长度调节范围更加灵活，更方便安装，其管壁由于无需如波纹管一样弯曲变形，管壁厚度可高于波纹管的厚度，提高了所述管路连接器的耐腐蚀性，延长了使用寿命，且所述管路连接器的结构不易形变，并且相对于波纹管的褶皱更易于清理；还通过所述密封组件套设于所述第二连接管与所述第一连接管、所述第三连接管的套接处，提高了所述管路连接器的密封性和耐腐蚀性。
7.优选地，所述密封组件包括至少一个外套管，所述外套管为耐腐蚀材料。其有益效果在于：所述外套管对所述第一连接管、所述第二连接管以及所述第三连接管的套接处起到密封作用，可满足上述连接管的管腔内反应室的真空需求，而且一旦上述连接管被腐蚀泄露，所述耐腐蚀外套管可起到双重保险作用，延长了所述管路连接器的使用寿命。
8.优选地，所述第二连接管的长度与所述第一连接管和所述第三连接管的长度之和一致。其有益效果在于：所述管路连接器的可伸缩量可达到原管道长度的两倍，扩大了所述
管路连接器的使用范围。
9.优选地，所述第二连接管硬连接于所述第一连接管，且所述第二连接管可拆卸连接于所述第三连接管。其有益效果在于：通过所述第二连接管硬连接于所述第一连接管，增强了所述管路连接器结构的整体稳定性。
10.优选地，所述第二连接管可拆卸连接于所述第一连接管和所述第三连接管。其有益效果在于：通过所述第二连接管可拆卸连接于所述第一连接管和所述第三连接管，实现所述第一连接管和所述第三连接管相对于所述第二连接管的移动，从而扩大所述管路连接器的调节长度范围，还可方便后续的维护清理。
11.进一步优选地，在所述外套管外部套设卡箍进行固定密封。
12.优选地，所述外套管与所述第一连接管、所述第二连接管和所述第三连接管之间的接触部分采用密封胶固定密封。其有益效果在于：密封胶可以随密封面形状而变形，不易流淌，是具有一定粘结性的密封材料，通过使用密封胶填充所述管路连接器的所述外套管与所述第一连接管、所述第二连接管和所述第三连接管之间的接触部分进行密封，可以达到防泄漏、防振动的效果。
13.优选地，所述第二连接管的外径小于所述第一连接管和所述第三连接管的内径，并与所述第一连接管和所述第三连接管的内径相适配。优选地，所述第二连接管的内径大于所述第一连接管和所述第三连接管的外径，并与所述第一连接管和所述第三连接管的外径相适配。其有益效果在于：上述各连接管之间采取内外径相适配的套接方式，使得在调节管路连接器长度时，上述连接管之间做相对运动的时候不易晃动，从而提升了所述管路连接器的稳定性。
附图说明
14.图1a为本实用新型提供的一种管路连接器的立体图；
15.图1b为本实用新型提供的一种管路连接器的剖面图；
16.图2a为本技术实施例提供的一种管路连接器的立体图；
17.图2b为本技术实施例提供的一种管路连接器的剖面图；
18.图2c为本技术实施例提供的另一种管路连接器的立体图；
19.图2d为申请实施例提供的另一种管路连接器的剖面图；
20.图3为本实用新型提供的一种管路连接器的剖面图；
21.图4为本实用新型提供的又一种管路连接器的剖面图；
22.图5为本实用新型提供的另一种管路连接器的剖面图。
23.图中标号：
24.1-第一连接管；
25.2-第二连接管；
26.3-第三连接管；
27.4-密封组件/外套管；
28.5-第一卡箍；
29.6-第二卡箍。
具体实施方式
30.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现所述词前面的元件或者物件涵盖出现在所述词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。
31.针对现有技术存在的问题，本实用新型的实施例提供了一种管路连接器，用于半导体设备如cvd、pvd等管路的安装，尤其是用于将两个高温腐蚀性尾气(如氯气、氯化氢、氧气、三氧化硫、二氧化硫、氟化氢、二氧化氮、硫化氢、氨气、臭氧等具有强氧化性或强腐蚀性的气体)输送管路连接成处于流体连通状态下的管路，如图1a和图1b所示，其中图1b为图1a所示立体结构的剖面图，包括第一连接管1、第二连接管2、第三连接管3和密封组件4。结合图1b来说，所述第一连接管1和所述第三连接管3的一端部设有法兰盘，所述第一连接管1与所述第三连接管3的直径相同；所述第二连接管2的第一端与所述第一连接管1远离所述法兰盘的一端相互套接，所述第二连接管2的第二端与所述第三连接管3远离所述法兰盘的一端相互套接；所述第一连接管1和所述第三连接管3中的至少一个可相对于所述第二连接管2轴向伸缩移动；所述密封组件4套设于所述第二连接管2与所述第一连接管1、所述第三连接管3的套接处。
32.本实用新型通过上述连接管之间的相对移动来调节所述管路连接器的长度，相对于现有的不锈钢波纹管连接件而言，其长度调节范围更加灵活，更方便安装，其管壁由于无需如波纹管一样弯曲变形，因此其厚度可高于波纹管的厚度，更耐腐蚀，而且相对于波纹管的褶皱更便于清理，提高了耐腐蚀性，延长了使用寿命，且所述管路连接器的结构不易形变，相对于波纹管的褶皱更易于清理；通过在上述连接管套接处外部套设所述密封组件4，提高了所述管路连接器的稳定性和密封性，进一步延长了使用寿命。
33.一种可能的实施方式中，所述第一连接管1和所述第三连接管3为t型结构的法兰管，其一端为法兰盘，用于与待连通管道密封连接，另一端为直管，所述法兰盘材料可为金属、聚四氟等，其材料可依据不同设备管路要求而选择，所述直管材料为金属，如不锈钢；在一些可能的实施例中，所述第一连接管1和所述第三连接管3的结构和尺寸完全相同。将所述第一连接管1与所述第三连接管3设置为直径相同的结构，并套设于所述密封组件4中，其密封效果会更佳。
34.在一些可能的实施例中，所述第二连接管2为一直管，所述第二连接管2的外径小于所述第一连接管1和所述第三连接管3的内径，并与所述第一连接管1和第三连接管3的内径相匹配，所述第二连接管2套接于所述第一连接管1和所述第三连接管3的内部，如图2a和图2b所示，其中图2b为图2a所示立体结构的剖面图。在另一种可能的实施方式中，所述第二连接管2的内径大于所述第一连接管1和第三连接管3的外径，并与第一连接管1和所述第三连接管3的外径相匹配，所述第二连接管2套接于所述第一连接管1和所述第三连接管3的外部，如图2c和图2d所示，其中图2d为图2c所示立体结构的剖面图。
35.下面以所述第二连接管2套接于所述第一连接管1和所述第三连接管3的内部来示例性地展示其连接方式，所述第二连接管2套接于所述第一连接管1和所述第三连接管3的外部的连接方式与之类似，在此不再赘述。此外，所述第一连接管1、所述第二连接管2和所述第三连接管3之间的具体连接方式，本实用新型对此并不作限定。
36.示例性地，所述第二连接管2的一端通过焊接的硬连接方式固定套接于所述第一连接管1中，所述第二连接管2的另一端采取适配性插入所述第三连接管3的内部或所述第二连接管2的另一端采用螺纹连接的方式可拆卸连接于所述第三连接管3，如此所述第二连接管2与所述第一连接管1之间固定，通过所述第三连接管3相对于所述第二连接管2伸缩移动，达到调节管路连接器长度的目的。这种管路连接器通过采用一端固定，另一端活动连接的方式，减少了所述管路连接器安装时的活动变量，增强了其结构的稳定性，而且其加工成本低。
37.示例性地，所述第二连接管2的一端通过螺纹连接的方式可拆卸连接于所述第一连接管1，所述第二连接管2的另一端采取适配性插入所述第三连接管3的内部或采用螺纹连接的方式可拆卸连接于所述第三连接管3，如此所述第一连接管1与所述第三连接管3均可相对于所述第二连接管2伸缩移动，不仅增大了所述管路连接器的长度调节范围，而且所述管路连接器可方便地拆卸维护清理。
38.作为示例，图2a、图2b展示了所述第二连接管2的两端均采用螺纹连接的方式可拆卸连接于所述第一连接管1与所述第三连接管3的内部的情况。如图2a、图2b所示，在所述第一连接管1的内壁上设置内螺纹，在所述第三连接管3的内壁上设置内螺纹，在所述第二连接管2的整个外壁上或仅两端的外壁上设置外螺纹，图2a和图2b以所述第二连接管2的整个外壁上设置外螺纹为例进行说明，所述第一连接管1与所述第二连接管2通过所述第一连接管1的内壁上设置的内螺纹与所述第二连接管2的外壁上设置的外螺纹相适配实现可拆卸连接，所述第三连接管3与所述第二连接管2通过所述第三连接管3的内壁上设置的内螺纹与所述第二连接管2的外壁上设置的外螺纹相适配实现可拆卸连接。图2c、图2d展示了所述第二连接管2的两端均采用螺纹连接的方式可拆卸连接于所述第一连接管1与所述第三连接管3的外部的情况。
39.一种可能的实施方式中，所述密封组件4可以是一个或多个外套管。本说明书中的配图均以所述密封组件为一个外套管为例进行说明。所以本文中所提到的密封组件4等价于所述外套管4，但并不因此对所述外套管的数量做限定。所述外套管4套设于所述第二连接管2与所述第一连接管1的套接处及所述第二连接管2与所述第三连接管3的套接处，以提高所述管路连接器的密封性和耐腐蚀性。当所述第二连接管2的外径小于所述第一连接管1和所述第三连接管3的内径时，所述外套管4的内径与所述第一连接管1和所述第三连接管3的外径相适配；当所述第二连接管2的内径大于所述第一连接管1和所述第三连接管3的外径时，所述外套管4的内径与所述第二连接管2的外径相适配。
40.在一些可能的实施例中，所述外套管4为耐腐蚀材料，如聚四氟乙烯。这样一旦上述连接管被腐蚀，所述外套管4可起到防止气体泄露的双重保险作用，延长了所述管路连接器的使用寿命。
41.在一些可能的实施例中，在所述外套管4外部套设卡箍进行固定密封，如图3所示。图3中，管路连接器还包括：第一卡箍5和第二卡箍6。当第三连接管3、第二连接管2和第一连
接管1之间的相对位置确定之后，在所述外套管4外部套上所述第一卡箍5和第二卡箍6，进行固定密封，确保管路连接器输送腐蚀性气体时不会发生泄露。并且，卡箍的数量可以根据实际情况进行设定，以提高整体结构的稳定性。
42.在又一些可能的实施例中，所述外套管4与所述第一连接管1、所述第二连接管2和所述第三连接管3之间的接触部分采用密封胶固定密封，以提高整体结构的稳定性。
43.下文以图1a和图1b所示的管路连接器为例，对所述管路连接器将第一待连接管路和第二待连接管路(图中未示出)进行连接的使用方式进行举例说明。
44.参照图1b，首先将所述第二连接管2的一端与所述第一连接管1固定连接。
45.参照图1a，将所述密封组件4(外套管)套设于所述第一连接管1和第二连接管2形成的固定连接体，然后将第三连接管3套设于所述第二连接管2的另一端，依据所述第一待连接管路和所述第二待连接管路之间的距离调节所述第三连接管3套设于所述第二连接管2的长度，所述密封组件4(外套管)的长度能够达到覆盖第一连接管1和第二连接管2的套接处与第三连接管3和第二连接管2的套接处之间的距离。
46.然后将所述第一连接管1的法兰盘与所述第一待连接管路的法兰盘密封连接。
47.再然后微调所述第三连接管3套设于所述第二连接管2的长度，将所述第三连接管3的法兰盘与所述第二待连接管路的法兰盘密封连接。
48.最后，在所述密封组件4(外套管)外部套设卡箍进行固定密封，卡箍的固定位置可参照图4中的(b)所示的管路连接器。
49.在一些可能的实施例中，所述第二连接管2的长度与所述第一连接管1和所述第三连接管3的长度之和一致。使得所述管路连接器的可伸缩量可达到原管道长度的两倍，扩大了所述管路连接器的使用范围。如图5所示的管路连接器。
50.虽然在上文中详细说明了本实用新型的实施方式，但是对于本领域的技术人员来说显而易见的是，能够对这些实施方式进行各种修改和变化。但是，应理解，这种修改和变化都属于权利要求书中所述的本实用新型的范围和精神之内。而且，在此说明的本实用新型可有其它的实施方式，并且可通过多种方式实施或实现。