一种真空法兰连接装置的制作方法

1.本实用新型涉及连接件领域，特别涉及一种真空法兰连接装置。


背景技术：

2.现有的真空法兰连接装置包括刀口密封结构及无氧铜平垫圈，刀刃与无氧铜平垫圈的塑性接触，无氧铜平垫圈与法兰紧密贴合，依靠螺栓的预紧力，形成密封效果良好的金属静密封，适于承受高温烘烤。
3.实际组装过程中，法兰口的朝向极可能是水平的，无氧铜平垫圈难以直接固定在法兰口处，基于该问题，常用的做法是利用胶带粘住无氧铜平垫圈的边缘，使无氧铜平垫圈依靠微弱的粘力固定在法兰口处。然而，这种方法会使法兰口处残留胶带粘过的痕迹，而痕迹通常由有机成分组成，一旦痕迹被剐蹭到法兰的真空腔体内部，则会对腔体的真空度造成严重的影响；此外，胶带所能提供的粘力极弱，难以克服无氧铜平垫圈的重力，导致无氧铜平垫圈组装时极易意外脱落，并没有有效地解决组装方便问题。
4.因此，如何在不影响腔体真空度的前提下提升真空法兰连接装置的组装便捷性是本领域技术人员需解决的技术问题。


技术实现要素：

5.有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种真空法兰连接装置，电磁线圈设于法兰上，配合线圈嵌设于平垫圈上，平垫圈依靠电磁线圈通电时对配合线圈的磁吸力固定于法兰上，固定较牢固，能够在不影响腔体真空度的前提下提升组装便捷性。
6.本实用新型所提供的真空法兰连接装置，包括法兰、平垫圈、设于法兰的电磁线圈及嵌设于平垫圈上的配合线圈，平垫圈依靠电磁线圈通电时对配合线圈的磁吸力固定于法兰上。
7.优选的，法兰的端面设有安装槽，安装槽包括用于容纳电磁线圈的环形槽和用于容纳电磁线圈的引出线的引线槽，环形槽与引线槽沿径向连通。
8.优选的，电磁线圈粘固于法兰的端面。
9.优选的，电磁线圈外套设有绝缘隔套。
10.优选的，电磁线圈与法兰同轴设置，配合线圈与平垫圈同轴设置。
11.优选的，平垫圈的内径小于刀刃的直径且其外径大于刀刃的直径。
12.优选的，配合线圈具体为铁质线圈。
13.优选的，配合线圈一体式浇注于平垫圈的中间。
14.优选的，配合线圈焊接于平垫圈上。
15.优选的，平垫圈具体为无氧铜平垫圈。
16.相对于背景技术，本实用新型所提供的真空法兰连接装置包括法兰、平垫圈、电磁线圈和配合线圈，电磁线圈设于法兰上，配合线圈嵌设于平垫圈上。当电磁线圈通电时，电磁线圈具有磁性，电磁线圈依靠磁吸力吸附配合线圈，使平垫圈依靠电磁线圈对配合线圈
的磁吸力固定于法兰上，利用磁吸力取代胶带的粘力，使平垫圈可靠地固定于法兰上，避免胶带的痕迹对腔体的真空度造成影响，还可有效避免平垫圈组装时意外脱落，组装难度较小，组装较方便。
17.因此，本实用新型所提供的真空法兰连接装置能够在不影响腔体真空度的前提下提升其组装便捷性。
附图说明
18.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
19.图1为本实用新型实施例所提供的真空法兰连接装置中法兰与电磁线圈的组装图；
20.图2为平垫圈与配合线圈的组装图。
21.附图标记如下：
22.法兰1、平垫圈2、电磁线圈3和配合线圈4。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
24.为了使本技术领域的技术人员更好地理解本实用新型方案，下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
25.请参考图1和图2，图1为本实用新型实施例所提供的真空法兰连接装置中法兰与电磁线圈的组装图；图2为平垫圈与配合线圈的组装图。
26.本实用新型实施例公开了一种真空法兰连接装置，包括法兰1、平垫圈2、电磁线圈3和配合线圈4。
27.法兰1的端面设有若干螺纹孔，与另一法兰螺栓连接。法兰1的具体结构可参考现有技术，不再详述。平垫圈2位于两个法兰1之间，其两端分别与两法兰1的端面紧密贴合，确保两法兰1之间具有良好的密封性。
28.电磁线圈3设于法兰1上，配合线圈4嵌设于平垫圈2上。配合线圈4可以是一圈或若干圈。当电磁线圈3通电时，电磁线圈3具有磁性，电磁线圈3依靠磁吸力吸附配合线圈4，使平垫圈2依靠电磁线圈3对配合线圈4的磁吸力固定于法兰1上，利用磁吸力取代胶带的粘力，使平垫圈2可靠地固定于法兰1上，避免胶带的痕迹对腔体的真空度造成影响，还可有效避免平垫圈2组装时意外脱落，组装难度较小，组装较方便。
29.另需说明的是，当完成组装时，配合线圈4可能被磁化状态，为避免影响使用，可采用常规的消磁装置对配合线圈4进行消磁。
30.配合线圈4具体为铁质线圈，确保具有磁性的电磁线圈3能够吸附配合线圈4。当
然，配合线圈4的材质可以是被磁铁吸引的任意材质，不限于铁质，但无论何种材质。
31.综上所述，本实用新型所提供的真空法兰连接装置能够在不影响腔体真空度的前提下提升其组装便捷性。
32.法兰1的端面设有安装槽，安装槽包括环形槽和两条引线槽，环形槽与引线槽沿径向连通，环形槽用于容纳电磁线圈3，引线槽用于容纳电磁线圈3的引出线。安装槽的宽度略小于电磁线圈3的外径，使电磁线圈3以卡固的方式可靠地固定在安装槽内。
33.当然，电磁线圈3的安装方式不限于此，例如，电磁线圈3依靠粘胶直接粘固于法兰1的端面，或者电磁线圈3采用卡扣或凹槽镶嵌等方式进行固定。
34.此外，电磁线圈3外套设有绝缘隔套，确保电磁线圈3通电时的电流仅在存在于电磁线圈3内，避免造成电磁干扰。绝缘隔套具体可以是包覆于电磁线圈3外周的橡胶套。
35.电磁线圈3与法兰1同轴设置，配合线圈4与平垫圈2同轴设置，使电磁线圈3同轴吸附配合线圈4，进而使平垫圈2同轴地固定于法兰1上，避免平垫圈2与法兰1径向错位，组装效果较好。
36.平垫圈2呈圆环状，其的内径小于刀刃的直径，且其外径大于刀刃的直径，使配合线圈4避开刀刃，避免干扰刀刃插入平垫圈2。
37.配合线圈4一体式浇注于平垫圈2的中间，也即配合线圈4在浇注平垫圈2时直接放入平垫圈2的浇注液内，确保配合线圈4可靠地固定在平垫圈2中。当然，配合线圈4也可焊接在平垫圈2上，配合线圈4的固定方式不限这两种，例如卡扣、蒸镀、内侧开孔等方式也可使配合线圈4固定在平垫圈2内。
38.平垫圈2具体为无氧铜平垫圈，但平垫圈2的材质不限于此。
39.对所公开的实施例的上述说明，使本领域技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。