一种SIC衬底加工装置的制作方法

一种sic衬底加工装置
技术领域
1.本实用新型涉及sic衬底加工技术领域，具体为一种sic衬底加工装置。


背景技术：

2.sic作为第三代半导体材料，其具有禁带宽度大，击穿场强，热导率大，电子饱和漂移速度高，抗辐射能力强和良好化学稳定性等特性，成为新一代的电子器件关键材料，工作人员通常在sic衬底外延生长前对衬底表面进行化学机械研磨加工，然而，现有的衬底加工装置存在以下缺陷：sic衬底精密加工时树脂锡盘长期使用后需要定期修盘，以保证其正常打磨，这样增加sic衬底加工成本，降低sic衬底的生产效率。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种sic衬底加工装置，以解决上述背景技术中提出的sic衬底精密加工时树脂锡盘长期使用后需要定期修盘，以保证其正常打磨，这样增加sic衬底加工成本，降低sic衬底的生产效率的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种sic衬底加工装置，包括机架和抛光垫，所述机架底端的中部固定安装有第一电机箱，所述第一电机箱的内部固定安装有第一驱动电机，所述第一驱动电机的输出端穿过机架固定安装有连接轴，所述连接轴的一端固定安装有机台大盘，所述机台大盘的顶部铺设有抛光垫，所述机架顶端的一侧固定安装有喷淋架，所述喷淋架的一侧固定安装有喷淋台，所述喷淋台顶部的两端分别固定安装有抽取泵和药液罐，所述喷淋架的底部固定安装有位于抛光垫上方的液压缸，所述液压缸的活动端固定安装有喷淋板，所述机架顶端远离喷淋架的一侧固定安装有高度板，所述机架的一侧从左到右依次固定安装有第一调节开关、第二调节开关、精磨开关和喷淋开关。
5.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述高度板相对于喷淋架的一侧开设有平移槽，所述平移槽的内部转动连接有螺纹柱，所述螺纹柱的中部螺纹连接有平移块，所述平移块的一端固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的活动端固定安装有机台pp头，所述机台pp头的顶部固定安装有第二电机箱，所述第二电机箱的内部固定安装有第二驱动电机，所述第二驱动电机的输出端依次穿过第二电机箱和机台pp头固定安装有粘附板，所述第一驱动电机和第二驱动电机均与精磨开关电性连接。
6.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述平移槽的底部固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端与螺纹柱的相邻端固定连接，所述平移块与平移槽滑动连接，所述伺服电机与第一调节开关电性连接，所述电动伸缩杆与第二调节开关电性连接。
7.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述抽取泵的进水口固定连通有抽取软管，所述抽取软管远离抽取泵的一端与药液罐的一侧固定连通，所述抽取泵的出水口固定连通有输送软管，所述输送软管远离抽取泵的一端穿过喷淋架与喷淋板的一侧固定连通，所述抽取泵和液压缸均与喷淋开关电性连接。
8.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述喷淋板的底部固定连通有若干个喷淋头，所述药液罐顶部的两端分别固定连通有第一注液管和第二注液管。
9.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述抛光垫由聚氨酯材料制成。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过设置抛光垫、喷淋板、抽取泵和药液罐，三者搭配使用，金刚石钻石液以及附有润滑性的ro水均匀附着在抛光垫上，以该种方式进行往复循环的机械游离加工，取消定期修盘工序，简化流程，提高生产效率，以达到降低成本的目的。
附图说明
11.图1为本实用新型的立体图；
12.图2为本实用新型的主视图；
13.图3为本实用新型的结构示意图；
14.图4为本实用新型喷淋板与抽取泵的连接图；
15.图5为本实用新型机台pp头与高度板的连接图。
16.图中：1、机架；2、高度板；3、螺纹柱；4、喷淋架；5、喷淋台；6、喷淋开关；7、精磨开关；8、第一调节开关；9、第一电机箱；10、连接轴；11、机台大盘；12、抛光垫；13、液压缸；14、第一驱动电机；15、抽取泵；16、药液罐；17、喷淋板；18、第二驱动电机；19、电动伸缩杆；20、喷淋头；21、输送软管；22、抽取软管；23、第一注液管；24、第二注液管；25、伺服电机；26、平移槽；27、平移块；28、粘附板；29、机台pp头；30、第二电机箱；31、第二调节开关。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
18.请参阅图1-5，本实用新型提供了一种sic衬底加工装置，包括机架1和抛光垫12，机架1底端的中部固定安装有第一电机箱9，第一电机箱9的内部固定安装有第一驱动电机14，第一驱动电机14的输出端穿过机架1固定安装有连接轴10，连接轴10的一端固定安装有机台大盘11，机台大盘11的顶部铺设有抛光垫12，机架1顶端的一侧固定安装有喷淋架4，喷淋架4的一侧固定安装有喷淋台5，喷淋台5顶部的两端分别固定安装有抽取泵15和药液罐16，喷淋架4的底部固定安装有位于抛光垫12上方的液压缸13，液压缸13的活动端固定安装有喷淋板17，机架1顶端远离喷淋架4的一侧固定安装有高度板2，机架1的一侧从左到右依次固定安装有第一调节开关8、第二调节开关31、精磨开关7和喷淋开关6，第一驱动电机14带动机台大盘11转动，转速为50rpm，第二驱动电机18带动粘附板28转动，转速为55rpm，使得sic衬底达到0.025um/min的移除速率，抛光垫12搭配金刚石钻石液以及附有润滑性的ro水溶液，三者搭配使用取消定期修盘工序，简化流程。
19.优选的，高度板2相对于喷淋架4的一侧开设有平移槽26，平移槽26的内部转动连接有螺纹柱3，螺纹柱3的中部螺纹连接有平移块27，平移块27的一端固定安装有电动伸缩杆19，电动伸缩杆19的活动端固定安装有机台pp头29，机台pp头29的顶部固定安装有第二电机箱30，第二电机箱30的内部固定安装有第二驱动电机18，第二驱动电机18的输出端依次穿过第二电机箱30和机台pp头29固定安装有粘附板28，第一驱动电机14和第二驱动电机
18均与精磨开关7电性连接，工作人员按下精磨开关7，第一驱动电机14和第二驱动电机18启动。
20.优选的，平移槽26的底部固定安装有伺服电机25，伺服电机25的输出端与螺纹柱3的相邻端固定连接，平移块27与平移槽26滑动连接，伺服电机25与第一调节开关8电性连接，电动伸缩杆19与第二调节开关31电性连接，工作人员按下第一调节开关8，伺服电机25启动，工作人员打开第二调节开关31，电动伸缩杆19启动，伺服电机25带动螺纹柱3转动，螺纹柱3带动平移块27移动，平移块27受到平移槽26的限位后只能上下移动，带动机台pp头29上下移动，机台pp头29给粘贴在粘附板28上的sic衬底提供一个向下的压力，使得sic衬底与抛光垫12充分接触。
21.优选的，抽取泵15的进水口固定连通有抽取软管22，抽取软管22远离抽取泵15的一端与药液罐16的一侧固定连通，抽取泵15的出水口固定连通有输送软管21，输送软管21远离抽取泵15的一端穿过喷淋架4与喷淋板17的一侧固定连通，抽取泵15和液压缸13均与喷淋开关6电性连接，工作人员按下喷淋开关6，液压缸13和抽取泵15启动，液压缸13带动喷淋板17上下移动，调节喷淋高度，避免喷淋的金刚石钻石液或者附有润滑性的ro水溶液与抛光垫12之间的距离过大，金刚石钻石液或者附有润滑性的ro水溶液发生迸溅现象，抽取泵15通过抽取软管22抽取药液罐16内的金刚石钻石液或者附有润滑性的ro水溶液，通过输送软管21输送至喷淋板17内。
22.优选的，喷淋板17的底部固定连通有若干个喷淋头20，药液罐16顶部的两端分别固定连通有第一注液管23和第二注液管24，喷淋板17内的金刚石钻石液或者附有润滑性的ro水溶液通过喷淋头20均匀喷洒在抛光垫12上，工作人员可以通过第一注液管23注入金刚石钻石液，工作人员通过第二注液管24注入附有润滑性的ro水溶液，其润滑剂组分含有矿物性润滑剂、植物性润滑剂和动物性润滑剂，此外，还有合成润滑剂，如硅油、脂肪酸酰胺、油酸、聚酯、合成酯、羧酸等。
23.优选的，抛光垫12由聚氨酯材料制成，抛光垫12具有硬度高、压缩率低的特性。
24.具体使用时，本实用新型一种sic衬底加工装置，工作人员打开第二调节开关31，电动伸缩杆19启动，电动伸缩杆19带动机台pp头29左右移动，使得机台pp头29处于抛光垫12正上方，工作人员关闭第二调节开关31，电动伸缩杆19关闭，工作人员按下第一调节开关8，伺服电机25启动，伺服电机25带动螺纹柱3转动，螺纹柱3带动平移块27移动，平移块27受到平移槽26的限位后只能上下移动，带动机台pp头29上下移动，机台pp头29给粘贴在粘附板28上的sic衬底提供一个向下的压力，使得sic衬底与抛光垫12充分接触，工作人员按下精磨开关7，第一驱动电机14和第二驱动电机18启动，第一驱动电机14带动机台大盘11转动，转速为50rpm，第二驱动电机18带动粘附板28转动，转速为55rpm，使得sic衬底达到0.025um/min的移除速率，打磨的同时，工作人员按下喷淋开关6，液压缸13和抽取泵15启动，液压缸13带动喷淋板17上下移动，调节喷淋高度，避免喷淋的金刚石钻石液或者附有润滑性的ro水溶液与抛光垫12之间的距离过大，金刚石钻石液或者附有润滑性的ro水溶液发生迸溅现象，抽取泵15通过抽取软管22抽取药液罐16内的金刚石钻石液或者附有润滑性的ro水溶液，通过输送软管21输送至喷淋板17内，喷淋板17内的金刚石钻石液或者附有润滑性的ro水溶液通过喷淋头20均匀喷洒在抛光垫12上，工作人员可以通过第一注液管23注入金刚石钻石液，工作人员通过第二注液管24注入附有润滑性的ro水溶液，其润滑剂组分含
有矿物性润滑剂、植物性润滑剂和动物性润滑剂，此外，还有合成润滑剂，如硅油、脂肪酸酰胺、油酸、聚酯、合成酯、羧酸等。