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安装方便加热均匀的坩埚的制作方法

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1.本实用新型涉及坩埚技术领域,具体为安装方便加热均匀的坩埚。


背景技术:

2.市场上的坩埚为线源坩埚,通过在加热罩的外侧安装有电热丝,对坩埚进行加热,安装的时候较为不便,坩埚的喷嘴长时间的使用,易造成堵塞,影响正常的操作,使得生产的成本增加。
3.现在市场上的坩埚与蒸镀机之间安装不便,使得坩埚的适用范围太局限,坩埚的加热效果不佳,不够均匀,安装与拆卸不便,增强了安装的时间,喷嘴易堵塞造成设备无法正常运行,针对上述情况,在现有的坩埚基础上进行技术创新,为此我们提出具有两侧安装有连接件,可以安装在蒸镀机的内部,使得适用范围广泛,安装便捷,坩埚内部加热更加均匀,多组的加热装置可以使得内部的加热效果更佳,使得上坩埚与下坩埚之间安装与拆卸十分便捷,省时省力,安装的结构简单,提高了实用性,可以预防喷嘴因材料造成堵塞,可以防止上坩埚内部镀率不均匀,提高成膜的质量,增加了装置的多样性的安装方便加热均匀的坩埚。
4.针对上述问题,急需在原有坩埚的基础上进行创新设计。


技术实现要素:

5.本实用新型的目的在于提供安装方便加热均匀的坩埚,以解决上述背景技术中提出一般的坩埚与蒸镀机之间安装不便,使得坩埚的适用范围太局限,坩埚的加热效果不佳,不够均匀,安装与拆卸不便,增强了安装的时间,喷嘴易堵塞造成设备无法正常运行的问题。
6.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:安装方便加热均匀的坩埚,包括架体和支撑块,其特征在于:所述架体的外侧设置有连接件,且连接件的中间位置安装有下坩埚,所述下坩埚的底部设置有转动轴,且转动轴的上方安装有转动杆,并且转动杆的外侧设置有加热装置,所述下坩埚的上方设置有上坩埚,且上坩埚的外侧设置有固定杆,并且上坩埚的内壁预留有滑槽,所述滑槽的上方安装有滑块,且滑块的外侧设置有支撑杆。
7.优选的,所述支撑杆的顶部安装有埚盖,且埚盖的外侧设置有加热板,并且加热板的内壁设置有喷嘴,所述支撑块安装于埚盖的上方,且支撑块的内部设置有螺纹杆,并且螺纹杆的顶部设置有转动拉手,所述下坩埚的外侧设置有连接壳,且连接壳的中间位置设置有可视窗,并且可视窗的上方安装有固定钉。
8.优选的,所述连接件关于架体的中轴线对称设置,且架体与下坩埚之间为焊接连接。
9.优选的,所述加热装置等间距分布于转动杆的外侧,且转动杆通过转动轴与下坩埚构成转动结构。
10.优选的,所述上坩埚通过连接扣与下坩埚构成可拆卸结构,且上坩埚与固定杆之
间为螺纹连接。
11.优选的,所述支撑杆通过滑块与滑槽构成滑动结构,且支撑杆与埚盖之间为紧密贴合。
12.优选的,所述喷嘴等间距分布于加热板的内部,且加热板与埚盖之间为一体化设置。
13.优选的,所述转动拉手通过螺纹杆与支撑块构成转动结构,且支撑块与埚盖之间为紧密贴合。
14.与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:
15.1.本实用新型通过连接件、下坩埚和加热装置的设置,在架体的两侧都安装有连接件,使得架体可以安装在蒸镀机的内部,使得适用范围广泛,安装便捷,下坩埚焊接在架体的中间位置,更加稳定,加热装置通过转动的结构可以使得下坩埚内部加热更加均匀,多组的加热装置可以使得内部的加热效果更佳;
16.2.本实用新型通过连接扣、上坩埚、固定杆、支撑杆和埚盖的设置,通过连接扣使得上坩埚与下坩埚之间安装与拆卸十分便捷,省时省力,安装的结构简单,上坩埚可以通过固定杆进行拿取,支撑杆一端连接着埚盖,支撑着埚盖,可以通过支撑杆滑动的结构,将埚盖进行打开,使用更加便捷,提高了实用性;
17.3.本实用新型通过加热板、喷嘴、螺纹杆和转动拉手的设置,提高加热板的稳固性,在喷嘴的外侧安装有加热板,可以预防喷嘴因材料造成堵塞,可以防止上坩埚内部镀率不均匀,提高成膜的质量,通过转动的结构,在需要手动进行开启埚盖,利用螺纹杆转动的结构,将埚盖可以进行打开,增加了装置的多样性。
附图说明
18.图1为本实用新型正视剖面结构示意图;
19.图2为本实用新型架体正视结构示意图;
20.图3为本实用新型加热装置俯视结构示意图。
21.图中:1、架体;2、连接件;3、下坩埚;4、转动轴;5、转动杆;6、加热装置;7、连接扣;8、上坩埚;9、固定杆;10、滑槽;11、滑块;12、支撑杆;13、埚盖;14、加热板;15、喷嘴;16、支撑块;17、螺纹杆;18、转动拉手;19、连接壳;20、可视窗;21、固定钉。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
23.请参阅图1-3,本实用新型提供技术方案:安装方便加热均匀的坩埚,包括架体1、连接件2、下坩埚3、转动轴4、转动杆5、加热装置6、连接扣7、上坩埚8、固定杆9、滑槽10、滑块11、支撑杆12、埚盖13、加热板14、喷嘴15、支撑块16、螺纹杆17、转动拉手18、连接壳19、可视窗20和固定钉21,架体1的外侧设置有连接件2,且连接件2的中间位置安装有下坩埚3,下坩埚3的底部设置有转动轴4,且转动轴4的上方安装有转动杆5,并且转动杆5的外侧设置有加
热装置6,下坩埚3的上方设置有上坩埚8,且上坩埚8的外侧设置有固定杆9,并且上坩埚8的内壁预留有滑槽10,滑槽10的上方安装有滑块11,且滑块11的外侧设置有支撑杆12。
24.进一步的,支撑杆12的顶部安装有埚盖13,且埚盖13的外侧设置有加热板14,并且加热板14的内壁设置有喷嘴15,支撑块16安装于埚盖13的上方,且支撑块16的内部设置有螺纹杆17,并且螺纹杆17的顶部设置有转动拉手18,下坩埚3的外侧设置有连接壳19,且连接壳19的中间位置设置有可视窗20,并且可视窗20的上方安装有固定钉21,这样的设置,使得装置的连接更加稳定,有利于装置的生产使用。
25.进一步的,连接件2关于架体1的中轴线对称设置,且架体1与下坩埚3之间为焊接连接,这样的设置,在架体1的两侧都安装有连接件2,使得架体1可以安装在蒸镀机的内部,使得适用范围广泛,安装便捷,下坩埚3焊接在架体1的中间位置,更加稳定;
26.进一步的,加热装置6等间距分布于转动杆5的外侧,且转动杆5通过转动轴4与下坩埚3构成转动结构,这样的设置,加热装置6通过转动的结构可以使得下坩埚3内部加热更加均匀,多组的加热装置6可以使得内部的加热效果更佳;
27.进一步的,上坩埚8通过连接扣7与下坩埚3构成可拆卸结构,且上坩埚8与固定杆9之间为螺纹连接,这样的设置,通过连接扣7使得上坩埚8与下坩埚3之间安装与拆卸十分便捷,省时省力,安装的结构简单,上坩埚8可以通过固定杆9进行拿取;
28.进一步的,支撑杆12通过滑块11与滑槽10构成滑动结构,且支撑杆12与埚盖13之间为紧密贴合,这样的设置,支撑杆12一端连接着埚盖13,支撑着埚盖13,可以通过支撑杆12滑动的结构,将埚盖13进行打开,使用更加便捷,提高了实用性;
29.进一步的,喷嘴15等间距分布于加热板14的内部,且加热板14与埚盖13之间为一体化设置,这样的设置,提高加热板14的稳固性,在喷嘴15的外侧安装有加热板14,可以预防喷嘴15因材料造成堵塞,可以防止上坩埚8内部镀率不均匀,提高成膜的质量;
30.进一步的,转动拉手18通过螺纹杆17与支撑块16构成转动结构,且支撑块16与埚盖13之间为紧密贴合,这样的设置,通过转动的结构,在需要手动进行开启埚盖13,利用螺纹杆17转动的结构,将埚盖13可以进行打开,增加了装置的多样性。
31.工作原理:在使用该安装方便加热均匀的坩埚时,首先,在架体1的两侧都安装有连接件2,工作人员将架体1可以安装在蒸镀机的内部,随后,将上坩埚8与下坩埚3之间用连接扣7进行连接安装,随后,在上坩埚8的外侧安装有固定杆9,可以利用固定杆9进行拿取上坩埚8,然后,在下坩埚3的底部,将加热装置6等间距分布于转动杆5的外侧,随后,加热装置6可以通过转动的结构可以使得下坩埚3内部加热更加均匀,在转动杆5外侧的设置多组加热装置6,可以提高加热效果,然后,在上坩埚8的内部,支撑杆12通过滑块11与滑槽10构成滑动结构,且支撑杆12与埚盖13之间为紧密贴合,支撑杆12一端连接着埚盖13,支撑着埚盖13,可以通过支撑杆12滑动的结构,将埚盖13进行打开,其次,在埚盖13的上方安装有喷嘴15等间距分布于加热板14的内部,可以预防喷嘴15因材料造成堵塞,可以防止上坩埚8内部镀率不均匀,提高成膜的质量,在遇到突发情况时,可以通过转动拉手18转动的结构,在需要手动进行开启埚盖13,利用螺纹杆17转动的结构,将埚盖13可以进行打开,增加了装置的多样性,这就是该安装方便加热均匀的坩埚的工作原理。
32.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修
改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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