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一种过滤装置及切割液供应设备的制作方法

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1.本实用新型涉及过滤技术领域,尤其涉及一种过滤装置及切割液供应设备。


背景技术:

2.在硅棒切割以获得硅片时,需要采用切割液供应设备向硅棒提供切割液。现有切割液供应设备一般包括依次连通的供液罐、过滤装置、热交换器和喷射管路。
3.其中,利用过滤装置过滤切割液中的杂质,以有效的避免具有杂质的切割液进入热交换器后污染热交换器。基于此,可以有效的解决具有杂质的切割液造成的硅片碎片的问题。
4.过滤装置在使用一段时间后,需要对过滤装置进行清洗,而现有技术提供的过滤装置的清洗方式为人工清洗,此时存在费时费力且自动化程度低的问题。


技术实现要素:

5.本实用新型的目的在于提供一种过滤装置及切割液供应设备,在实现自动清洗的情况下,提高自动化程度。
6.第一方面,本实用新型提供了一种过滤装置,用于切割液的过滤。上述过滤装置包括桶体、过滤件和冲洗件。桶体具有入口和出口,过滤件设置在桶体内,切割液流经过滤件后流向出口。冲洗件具有冲洗头,冲洗头至少位于由入口围合而成的区域内,冲洗头具有喷射区域,喷射区域覆盖过滤件。
7.与现有技术相比,本实用新型提供的过滤装置中,由于过滤件设置在桶体内,并且冲洗头至少位于由桶体具有的入口围合而成的区域内,冲洗头具有的喷射区域覆盖过滤件。基于此,当清洗过滤件时,可以直接利用冲洗头对过滤件进行清洗处理,进而减少或者避免了人工将过滤件从桶体内拆除之后在对过滤件进行清洗。当过滤件清洗完成之后,废液可以通过桶体具有的出口排出,不需要人工过多参与。综上所述,在本实用新型中,利用过滤装置自带的冲洗件便可实现对过滤件的清洗,不仅简单方便,易操作,同时还减少或避免了人工的参与,省时省力,提高了自动化程度。
8.在一种实现方式中,上述过滤件为面状过滤网,面状过滤网所具有的外边沿与桶体所具有的内壁紧固连接在一起。
9.采用上述技术方案的情况下,由于面状过滤网结构简单,易于制作,此时,可以节约过滤装置的制作成本。接着,当采用面状过滤网过滤切割液中的杂质时,切割液中的杂质可以大部分或全部存留在面状过滤网的过滤面上。又由于面状过滤网仅具有一个过滤面,基于此,当利用冲洗件清洗面状过滤网时,冲洗件可以集中清洗液,以用于清洗面状过滤网的一个过滤面,减少或消除杂质在面状过滤网上的残留,确保面状过滤网的清洁,进而确保过滤装置的清洁。进一步地,由于面状过滤网所具有的外边沿与桶体所具有的内壁紧固连接在一起,此时,可以确保所有待过滤的切割液均通过面状过滤网进入桶体内部,避免切割液从面状过滤网与桶体之间的缝隙中进入桶体内部,进而避免由于切割液过滤不完全污染
热交换器。
10.在一种实现方式中,上述过滤件可以包括桶状过滤网和法兰沿,桶状过滤网的一端具有开口,开口与桶体所具有的入口的朝向一致。法兰沿设置在桶状过滤网靠近开口处,法兰沿与桶体紧固连接在一起。
11.采用上述技术方案的情况下,由于桶状过滤网具有至少两个过滤面,此时,可以加快桶状过滤网过滤切割液的速度,节省过滤时间。接着,由于法兰沿设置在桶状过滤网靠近开口处,法兰沿与桶体紧固连接在一起。此时,可以确保所有待过滤的切割液均通过桶状过滤网进入桶体内部,避免切割液从法兰沿与桶体之间的缝隙中进入桶体内部,进而避免由于切割液过滤不完全污染热交换器。
12.在一种实现方式中,在桶体和桶状过滤网均具有中心轴线的情况下,桶体和桶状过滤网所具有的中心轴线共线。
13.采用上述技术方案的情况下,由于桶体和桶状过滤网所具有的中心轴线共线,此时,可以确保桶状过滤网位于桶体内的中心位置。基于此,当切割液通过桶体的入口进入桶体,之后由桶体进入桶状过滤网时,可以确保桶状过滤网被充分利用,提高桶状过滤网的利用率,以及切割液的过滤速度。即,可以避免由于桶状过滤网相对于桶体倾斜设置,导致部分桶状过滤网无法与切割液接触,进而导致桶状过滤网的利用率降低,切割液的过滤速度降低。
14.在一种实现方式中,桶体所具有的入口处的桶壁上设置有至少一个定位销,定位销凸出于入口。定位销向背离入口的方向延伸,法兰沿上开设与定位销配合的定位孔。
15.采用上述技术方案的情况下,上述定位销不仅可以使法兰沿和桶体紧固连接,进而使桶体和过滤件紧固连接,避免在实际使用过程中过滤件与桶体分离,确保过滤装置的安全性和稳定性。同时,当确保法兰沿与桶体紧固连接后,可以避免切割液从法兰沿与桶体之间的缝隙进入桶体内部,进而避免由于切割液过滤不完全污染热交换器。
16.在一种实现方式中,上述桶体内壁靠近入口的位置开设内螺纹,法兰沿的外壁开设外螺纹,过滤件通过外螺纹与桶体内的内螺纹旋接。
17.采用上述技术方案的情况下,可以使法兰沿和桶体紧固连接,进而使过滤件与桶体紧固连接,确保组装后的过滤装置的安全性和稳定性。进一步地,由于采用的是内外螺纹旋接的方式,此时,可以快速的组装或者拆卸过滤件和桶体,提高了工作效率。
18.在一种实现方式中,过滤装置还可以包括盖体,盖体盖和在桶体所具有的入口端。冲洗件设置在盖体上,且冲洗件所具有的冲洗头容置在桶体内。
19.过滤装置还可以包括设置在法兰沿上的至少一个弹性件,弹性件向背离桶状过滤网所具有的开口的方向延伸。弹性件在初始状态下,弹性件凸出于桶体所具有的入口。弹性件在压缩状态下,弹性件抵靠在盖体上。
20.采用上述技术方案的情况下,由于盖体盖和在桶体所具有的入口端,此时,可以使过滤装置处于密封状态,防止空气中的杂质进入过滤装置中对过滤装置造成污染,进而确保过滤后的切割液的质量符合要求。接着,由于冲洗件设置在盖体上,且冲洗件所具有的冲洗头容置在桶体内。此时,可以利用上述容置在桶体内的冲洗头清洗过滤件。基于此,不仅可以确保过滤装置的密封性,同时还可以清洗过滤件,提高自动化程度。此外,由于在法兰沿上设置有至少一个弹性件,当盖体盖和在桶体所具有的入口端时,盖体压缩弹性件。由于
弹性件设置在法兰沿上,法兰沿属于过滤件。此时,盖体通过压缩弹性件将过滤件进一步紧固在桶体内,防止过滤件从桶体内脱离,确保组装后的过滤装置的安全性和稳定性。
21.在一种实现方式中,冲洗件还可以包括冲洗管,冲洗头设置在冲洗管所具有的出口处。冲洗管紧固连接在桶体靠近入口的桶壁上,冲洗管所具有的出口位于桶体所具有的入口处,或,冲洗管所具有的出口位于桶体内部。
22.采用上述技术方案的情况下,由于冲洗管紧固连接在桶体靠近入口的桶壁上,此时,冲洗管相对于桶体位置固定。基于此,当冲洗管清洗桶体内部的过滤件时,冲洗管和冲洗头不会相对于桶体晃动,可以确保冲洗件和过滤装置的稳定性,进而确保冲洗件对过滤件的清洗效果。进一步地,由于冲洗管所具有的出口位于桶体所具有的入口处,或,冲洗管所具有的出口位于桶体内部。同时,又由于冲洗头设置在冲洗管所具有的出口处。此时,可以确保冲洗头位于桶体所具有的入口处,或,冲洗头位于桶体内部。基于此,有利于清洗液通过冲洗头完全进入过滤件,对过滤件进行有效的清洗,提高自动化程度。
23.在一种实现方式中,冲洗件还可以包括清洗管,清洗管靠近其出口的管壁上开设有多个冲洗孔,清洗管开设有冲洗孔的部分位于桶体内部,由多个冲洗孔构成冲洗头。
24.采用上述技术方案的情况下,上述冲洗件的结构简单,易于制作,节省了过滤装置的制作时间和制作成本。接着,由于清洗管开设有冲洗孔的部分位于桶体内部,并且上述多个冲洗孔构成冲洗头。基于此,有利于清洗液通过清洗管上的冲洗孔喷洒在位于桶体内部的过滤件上,以实现对过滤件的清洗,减少人工的参与,提高自动化程度。
25.第二方面,本实用新型还提供了一种切割液供应设备。该切割液供应设备包括供液罐、过滤装置、热交换器以及喷射管路。供液罐,用于灌装切割液。过滤装置,与供液罐连通,用于过滤切割液。过滤装置为上述技术方案所述的过滤装置。热交换器,与过滤装置连通,用于切割液热循环,以及喷射管路,与热交换器连通,用于喷射切割液。
26.与现有技术相比,本实用新型提供的切割液供应设备的有益效果与上述技术方案所述过滤装置的有益效果相同,此处不做赘述。
附图说明
27.此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解,构成本实用新型的一部分,本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
28.图1为本实用新型实施例中过滤装置的结构示意图;
29.图2为本实用新型实施例中桶体的结构示意图;
30.图3为本实用新型实施例中过滤件的俯视图;
31.图4为本实用新型实施例中过滤件的正视图;
32.图5为本实用新型实施例中过滤件与弹性件连接的结构示意图。
33.附图标记:
34.1-桶体;
35.2-过滤件,
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20-桶状过滤网,
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21-法兰沿,
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22-定位孔;
36.3-冲洗件,
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30-冲洗头,
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300-冲洗孔,
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31-清洗管;
37.4-定位销;
38.5-盖体;
39.6-弹性件。
具体实施方式
40.为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
41.需要说明的是,当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
42.此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上,除非另有明确具体的限定。
43.在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
44.在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
45.在硅棒切割以获得硅片时,需要采用切割液供应设备向硅棒提供切割液。现有切割液供应设备一般包括依次连通的供液罐、过滤装置、热交换器和喷射管路。在实际使用过程中,切割液从供液罐(例如砂浆罐)进入过滤装置(例如过滤器)中,切割液经过过滤装置过滤后,从过滤装置进入热交换器中,过滤后的切割液经过热交换器的处理后进入喷射管路(例如砂浆管)中,以用于硅棒切割。
46.其中,利用过滤装置过滤切割液中的杂质,可以有效的避免具有杂质的切割液进入热交换器后污染热交换器。基于此,可以有效的解决具有杂质的切割液造成的硅片碎片的问题。
47.此外,在实际工作过程中,上述切割液循环使用,并且每切割一刀需要更换一罐切割液,在更换切割液时需要将过滤器进行冲洗。即,过滤装置在使用一段时间后,需要对过滤装置进行清洗,而现有技术提供的过滤装置的清洗方式为人工清洗。此时,存在费时费力且自动化程度低的问题。
48.为了解决上述技术问题,第一方面,本实用新型实施例提供了一种过滤装置,用于切割液的过滤。
49.参见图1,上述过滤装置包括桶体1、过滤件2和冲洗件3。桶体1具有入口和出口,过
滤件2设置在桶体1内,切割液流经过滤件2后流向出口。冲洗件3具有冲洗头30,冲洗头30至少位于由入口围合而成的区域内,冲洗头30具有喷射区域,喷射区域覆盖过滤件2。
50.参见图1和图2,上述桶体1、过滤件2、冲洗件3和冲洗头30的形状、规格等可以根据实际情况进行设置,在此不做具体限定。例如,上述桶体1可以是圆柱形桶体。上述过滤件2整体也可以呈圆柱形。
51.参见图1和图2,上述冲洗件3与桶体1、过滤件2的位置关系、连接关系可以根据实际情况进行设置,在此不做具体限定,只要确保冲洗头30至少位于由入口围合而成的区域内,冲洗头30具有的喷射区域覆盖过滤件2即可。例如,上述冲洗件3可以与桶体1紧固连接。上述冲洗件3也可以与桶体1间隔设置,此时,冲洗件3可以由机械手夹持。
52.参见图1和图2,本实用新型实施例提供的过滤装置中,由于过滤件2设置在桶体1内,并且冲洗头30至少位于由桶体1具有的入口围合而成的区域内,冲洗头30具有的喷射区域覆盖过滤件2。基于此,当清洗过滤件2时,可以直接利用冲洗头30对过滤件2进行清洗处理,进而减少或者避免了人工将过滤件2从桶体1内拆除之后在对过滤件2进行清洗。当过滤件2清洗完成之后,废液可以通过桶体1具有的出口排出,不需要人工过多参与。综上所述,在本实用新型实施例中,利用过滤装置自带的冲洗件3便可实现对过滤件2的清洗,不仅简单方便,易操作,同时还减少或避免了人工的参与,省时省力,提高了自动化程度。进一步地,由于过滤装置对切割液的过滤作用,使得热交换器的拆卸周期延长,硅片碎片率降低。
53.作为一种可能的实现方式,上述过滤件可以为面状过滤网,由于面状过滤网结构简单,易于制作,此时,可以节约过滤装置的制作成本。应理解,上述面状过滤网的过滤面的形状根据桶体的形状设置。例如,当桶体呈圆柱体时,面状过滤网的过滤面的形状为圆形。上述圆形过滤面的半径可以与圆柱形桶体的半径一样,也可以不一样。
54.接着,当采用面状过滤网过滤切割液中的杂质时,切割液中的杂质可以大部分或全部存留在面状过滤网的过滤面上。又由于面状过滤网仅具有一个过滤面,基于此,当利用冲洗件清洗面状过滤网时,冲洗件可以集中清洗液,以用于清洗面状过滤网的一个过滤面,减少或消除杂质在面状过滤网上的残留,确保面状过滤网的清洁,进而确保过滤装置的清洁。
55.进一步地,上述面状过滤网所具有的外边沿与桶体所具有的内壁紧固连接在一起。此时,可以确保所有待过滤的切割液均通过面状过滤网进入桶体内部,避免切割液从面状过滤网与桶体之间的缝隙中进入桶体内部,进而避免由于切割液过滤不完全污染热交换器。
56.作为一种可能的实现方式,参见图1至图4,上述过滤件2可以包括桶状过滤网20和法兰沿21,桶状过滤网20的一端具有开口,开口与桶体1所具有的入口的朝向一致。法兰沿21设置在桶状过滤网20靠近开口处,法兰沿21与桶体1紧固连接在一起。
57.参见图1至图4,具体的,上述桶状过滤网20、法兰沿21的形状可以是圆柱体,长方体或正方体。在本实用新型实施例中,上述桶状过滤网20的形状为圆柱体,上述法兰沿21的形状也是圆柱体。并且,上述法兰沿21的半径大于桶状过滤网20的半径。由上述描述可知,圆柱体形状的桶状过滤网20具有两个过滤面,此时,可以加快桶状过滤网20过滤切割液的速度,节省过滤时间。应理解,上述桶状过滤网20和法兰沿21的连接方式多种多样,例如,可以是焊接,也可以是一体成型。
58.参见图1至图4,进一步地,由于法兰沿21设置在桶状过滤网20靠近开口处,法兰沿21与桶体1紧固连接在一起。此时,可以确保所有待过滤的切割液均通过桶状过滤网20进入桶体1内部,避免切割液从法兰沿21与桶体1之间的缝隙进入桶体1内部,进而避免由于切割液过滤不完全污染热交换器。应理解,上述法兰沿21与桶体1紧固连接的方式多种多样,例如,可以是焊接、螺纹连接、螺栓连接、定位销4连接等。
59.下面以法兰沿和桶体的三种可能的连接方式为例进行描述,应理解,以下描述仅用于理解,不用于具体限定。
60.在一种示例中,参见图1至图4,桶体1所具有的入口处的桶壁上设置有至少一个定位销4,定位销4凸出于入口。定位销4向背离入口的方向延伸,法兰沿21上开设与定位销4配合的定位孔22。
61.参见图1至图4,上述定位销4的数量可以根据实际情况进行设置,在本实用新型实施例中,上述桶体1所具有的入口处的桶壁上设置有一个定位销4。应理解,上述定位销4设置的位置也可以根据实际情况进行选择。相对应的,在法兰沿21上开设与定位销4配合的定位孔22。此时,上述定位销4和定位孔22配合之后,不仅可以使法兰沿21和桶体1紧固连接,进而使桶体1和过滤件2紧固连接,避免在实际使用过程中过滤件2与桶体1分离,确保过滤装置的安全性和稳定性。同时,当确保法兰沿21与桶体1紧固连接后,可以避免切割液从法兰沿21与桶体1之间的缝隙进入桶体1内部,进而避免由于切割液过滤不完全而污染热交换器。
62.在另一种示例中,上述桶体内壁靠近入口的位置开设内螺纹,法兰沿的外壁开设外螺纹,过滤件通过外螺纹与桶体内的内螺纹旋接。此时,可以使法兰沿和桶体紧固连接,进而使过滤件与桶体紧固连接,确保组装后的过滤装置的安全性和稳定性。进一步地,由于采用的是内外螺纹旋接的方式,此时,可以快速的组装或者拆卸过滤件和桶体,以提高工作效率。
63.在又一种示例中,在桶体所具有的入口处的桶壁上设置有至少一个定位销,定位销凸出于入口。定位销向背离入口的方向延伸,法兰沿上开设与定位销配合的定位孔。同时,在桶体内壁靠近入口的位置开设内螺纹,法兰沿的外壁开设外螺纹,过滤件通过外螺纹与桶体内的内螺纹旋接。此时,通过定位销和定位孔,内外螺纹旋接双重紧固的方式,可以使法兰沿和桶体连接的更加紧密,进而使过滤件与桶体紧固连接,确保组装后的过滤装置的安全性和稳定性。
64.在一种示例中,参见图1,在桶体1和桶状过滤网20均具有中心轴线的情况下,桶体1和桶状过滤网20所具有的中心轴线共线。
65.参见图1,由前文描述可知,上述桶体1和桶状过滤网20的形状均为圆柱体,此时,桶体1和桶状过滤网20均具有中轴线。在本实用新型实施例中,上述桶体1和桶状过滤网20所具有的中心轴线共线。此时,可以确保桶状过滤网20位于桶体1内的中心位置。基于此,当切割液通过桶体1的入口进入桶体1,之后由桶体1进入桶状过滤网20时,可以确保桶状过滤网20被充分利用,提高桶状过滤网20的利用率,以及切割液的过滤速度。即,可以避免由于桶状过滤网20相对于桶体1倾斜设置,导致部分桶状过滤网20无法与切割液接触,进而导致桶状过滤网20的利用率降低,切割液的过滤速度降低。进一步地,在本实用新型实施例中,上述桶体1、过滤件2和冲洗件3均具有中心轴线,并且上述桶体1、过滤件2和冲洗件3所具有
的中心轴线共线。
66.在一种示例中,参见图1,上述过滤装置还可以包括盖体5,盖体5盖和在桶体1所具有的入口端。此时,可以使过滤装置处于密封状态,防止空气中的杂质进入过滤装置中,对过滤装置造成污染,进而确保过滤后的切割液的质量符合要求。应理解,上述盖体5的形状、大小与桶体1的形状、大小均相等。
67.参见图1,上述冲洗件3设置在盖体5上,且冲洗件3所具有的冲洗头30容置在桶体1内。此时,可以利用上述容置在桶体1内的冲洗头30清洗过滤件2。基于此,不仅可以确保过滤装置的密封性,同时还可以清洗过滤件2,提高自动化程度。
68.上述冲洗件的组成结构多种多样,下面以两种可能的实现方式为例进行描述,应理解,以下描述仅用于理解,不用于具体限定。
69.在一种示例中,上述冲洗件还可以包括冲洗管,冲洗头设置在冲洗管所具有的出口处。冲洗管紧固连接在桶体靠近入口的桶壁上,冲洗管所具有的出口位于桶体所具有的入口处,或,冲洗管所具有的出口位于桶体内部。
70.具体的,上述冲洗管紧固连接在桶体靠近入口的桶壁上的方式多种多样,例如可以是焊接、卡接等。示例性的,上述冲洗管可以卡接在盖体上,并通过密封圈密封。或者,上述冲洗管可以卡接在桶体的桶壁上,并且冲洗管所具有的出口位于桶体所具有的入口处,或,冲洗管所具有的出口位于桶体内部。至于设置方式可以根据实际情况进行设置,不限于以上描述。由于冲洗管紧固连接在桶体靠近入口的桶壁上,此时,冲洗管相对于桶体位置固定。基于此,当冲洗管清洗桶体内部的过滤件时,冲洗管和冲洗头不会相对于桶体晃动,可以确保冲洗件和过滤装置的稳定性,进而确保冲洗件对过滤件的清洗效果。
71.进一步地,由于冲洗管所具有的出口位于桶体所具有的入口处,或,冲洗管所具有的出口位于桶体内部。同时,又由于冲洗头设置在冲洗管所具有的出口处。此时,可以确保冲洗头位于桶体所具有的入口处,或,冲洗头位于桶体内部。基于此,有利于清洗液通过冲洗头完全进入过滤件,对过滤件进行有效的清洗,提高自动化程度。
72.在另一种示例中,参见图1,冲洗件3还可以包括清洗管31,清洗管31靠近其出口的管壁上开设有多个冲洗孔300,清洗管31开设有冲洗孔300的部分位于桶体1内部,由多个冲洗孔300构成冲洗头30。
73.具体的,参见图1,在清洗管31靠近其出口的管壁上等间隔的开设多个冲洗孔300,并且,在实际使用过程中,上述清洗管31开设有冲洗孔300的部分位于桶体1内部,由多个冲洗孔300构成冲洗头30。采用上述方式形成的冲洗件3结构简单,易于制作,节省了过滤装置的制作时间和制作成本。此外,由于清洗管31开设有冲洗孔300的部分位于桶体1内部,并且上述多个冲洗孔300构成冲洗头30。基于此,有利于清洗液通过清洗管31上的冲洗孔300喷洒在位于桶体1内部的过滤件2上,以实现对过滤件2的清洗,减少人工的参与,提高自动化程度。应理解,上述清洗管31可以卡接在盖体5上,并通过密封圈密封。或者,上述清洗管31可以卡接在桶体1的桶壁上,并且清洗管31所具有的出口位于桶体1所具有的入口处,或,清洗管31所具有的出口位于桶体1内部。
74.参见图1至图5,上述过滤装置还可以包括设置在法兰沿21上的至少一个弹性件6,弹性件6向背离桶状过滤网20所具有的开口的方向延伸。弹性件6在初始状态下,弹性件6凸出于桶体1所具有的入口。弹性件6在压缩状态下,弹性件6抵靠在盖体5上。
75.具体的,参见图1至图5,当盖体5盖和在桶体1所具有的入口端时,盖体5压缩弹性件6。由于弹性件6设置在法兰沿21上,法兰沿21属于过滤件2。此时,盖体5通过压缩弹性件6将过滤件2进一步紧固在桶体1内,防止过滤件2从桶体1内脱离,确保组装后的过滤装置的安全性和稳定性。在本实用新型实施例中,上述法兰沿21上设置有四个弹性件6,上述弹性件6可以是弹簧。上述四个弹簧均匀的分布在截面呈圆形的法兰沿21上,此时,四个弹簧受到的来源于盖体5的压力的大小、方向均相等。基于此,可以确保与弹簧连接的法兰沿21的受力平衡,进而确保过滤件2的受力平衡,确保过滤件2正常稳定的工作。
76.第二方面,本实用新型实施例还提供了一种切割液供应设备。该切割液供应设备包括供液罐、过滤装置、热交换器以及喷射管路。上述供液罐,用于灌装切割液。过滤装置,与供液罐连通,用于过滤切割液。过滤装置为上述技术方案所述的过滤装置。热交换器,与过滤装置连通,用于切割液热循环,以及喷射管路,与热交换器连通,用于喷射切割液。
77.本实用新型实施例提供的切割液供应设备的有益效果与上述技术方案所述过滤装置的有益效果相同,此处不做赘述。
78.在上述实施方式的描述中,具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
79.以上所述,仅为本实用新型的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此,本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

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