一种用于喷砂设备的TFT平面溅射靶材保护结构的制作方法

一种用于喷砂设备的tft平面溅射靶材保护结构
技术领域
1.本实用新型涉及靶材喷砂处理技术领域，具体的涉及一种用于喷砂设备的tft平面溅射靶材保护结构。


背景技术：

2.在平面靶材的制备过程中，需要对靶材基板表面的进行高精度的溅射镀膜。为了避免机加工产生的毛刺、飞边、刀痕等微小突出物所引起的电弧影响镀膜质量，需要对靶材的非溅射区进行喷砂处理。平面靶的溅射区一般其两端为弧形边，中间为平行的直边，溅射区外侧的不规则区域，经常会有反溅射颗粒沉积，喷砂有利于异物吸附沉积；
3.传统的保护装置都是直接通过压力压在靶材的溅射区进行防护，但是在喷砂的过程中需要保护装置带动靶材进行转动，在转动时传统的保护装置就有可能会将靶材溅射面刮花，这样就会造成靶材不合格，并且由于传统的保护装置需要上下双向夹持，所以在调节高度时需要通过两个升降系统进行控制，增加了保护装置整体的成本，实用型较低。


技术实现要素：

4.本实用新型提出一种用于喷砂设备的tft平面溅射靶材保护结构，解决了相关技术中的一种用于喷砂设备的tft平面溅射靶材保护结构问题。
5.本实用新型的技术方案如下：
6.一种用于喷砂设备的tft平面溅射靶材保护结构，包括工作台、靶材和防护组件，其特征在于：所述靶材放置在工作台的上端面，所述防护组件包括升降台、防护板、连接组件和负压组件，所述升降台包括升降杆和第一连接台，所述第一连接台固定安装在升降杆的下端面，所述第一连接台的下端转动安装有连接杆，所述连接杆的下端固定安装有第二连接台，所述防护板通过连接组件与第二连接台卡合连接；
7.所述连接组件包括滑杆、连接块、滑孔和卡合组件，所述防护板的上端面固定安装有滑杆，所述滑杆的上端面固定安装有连接块，所述第二连接台的下端面开设有滑孔，所述连接块与滑孔滑动配合，所述连接块通过卡合组件固定在滑孔内，所述卡合组件包括卡块、弹簧和解锁组件，所述滑孔的前端面以及后端面均开设有矩形槽，所述矩形槽内滑动安装有卡块，所述卡块朝向矩形槽内端的一侧固定安装有弹簧，所述弹簧远离卡块的一端与矩形槽内端固定连接；
8.所述解锁组件包括动作杆、滑板和推板，所述第二连接台的右端面固定安装有圆杆，所述滑板滑动安装在圆杆上，所述滑板的前端面以及后端面均固定安装有推板，所述矩形槽远离开口的一端开设有圆孔，所述卡块朝向圆孔的一端固定安装有动作杆，所述动作杆从圆孔内伸出，所述推板开设有前后连通的滑槽，所述动作杆滑动安装在滑槽内；
9.所述负压组件包括滑筒、活塞块、拉杆和螺纹筒，所述连接杆的前端面固定安装有滑筒，所述滑筒内滑动安装有活塞块，所述活塞块的前端面转动安装有拉杆，所述滑筒的前端面固定安装有螺纹筒，所述拉杆与螺纹筒螺纹连接，所述连接杆中间为空腔，所述滑筒连
通连接杆内腔，所述滑孔上端面开设有第一矩形孔，所述第一矩形孔连通连接杆内腔，所述连接块的上端面开设有第二矩形孔，所述第二矩形孔连通防护板的下端面，所述防护板下端面边缘固定安装有第一密封垫圈；
10.所述滑孔内腔上端面固定安装有第二密封垫圈，所述卡块上端面距离第二密封垫圈下端面的距离不大于连接块的高度；
11.所述卡块伸出矩形槽的部分为三角形。
12.本实用新型的工作原理及有益效果为：
13.通过在防护板的下端面固定安装第一密封垫圈，然后将防护板的下端面与连接块的上端面开设第二矩形孔，然后通过负压组为第二矩形孔内提供负压，这时靶材就会被牢牢的吸附在防护板的下端面，接下来工作人员就可以对靶材进行喷砂处理，通过负压吸附靶材可以使防护板与靶材之间不进行接触，这样防护板就不可能对靶材进行刮花，并且不再需要靶材下方进行支撑，只需要通过升降杆就可以控制整体装置的升降，整体的成本更加低，实用型更强。
附图说明
14.下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
15.图1为本实用新型总体结构正视示意图；
16.图2为本实用新型中防护板的仰视结构示意图；
17.图3为本实用新型的左视剖面结构示意图；
18.图4为图3的a部分放大结构示意图；
19.图5为本实用新型中解锁组件的剖面结构示意图。
20.图中：1-工作台、2-靶材、3-升降杆、4-第一连接台、5-连接杆、6-第二连接台、7-防护板、8-滑杆、9-连接块、10-滑孔、11-卡块、12-弹簧、13-矩形槽、14-动作杆、15-滑板、16-推板、17-圆杆、18-滑槽、19-滑筒、20-活塞块、21-拉杆、22-螺纹筒、23-第一矩形孔、24-第二矩形孔、25-第一密封垫圈、26-第二密封垫圈。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都涉及本实用新型保护的范围。
22.实施例1
23.如图1～图5所示，本实施例提出了一种用于喷砂设备的tft平面溅射靶材保护结构，包括工作台1、靶材2和防护组件，靶材2放置在工作台1的上端面，防护组件包括升降台、防护板7、连接组件和负压组件，升降台包括升降杆3和第一连接台4，第一连接台4固定安装在升降杆3的下端面，第一连接台4的下端转动安装有连接杆5，连接杆5的下端固定安装有第二连接台6，防护板7通过连接组件与第二连接台6卡合连接；
24.本实施例中，通过防护板7对靶材2的上端面进行防护，然后通过负压组件将靶材2吸附在防护板7的下端面，这样我们就可以直接将靶材2升起后对靶材2进行喷砂，并且还可
以轻松的对靶材2进行转动。
25.实施例2
26.如图3～图4所示，基于与上述实施例1相同的构思，本实施例还提出了连接组件包括滑杆8、连接块9、滑孔10和卡合组件，防护板7的上端面固定安装有滑杆8，滑杆8的上端面固定安装有连接块9，第二连接台6的下端面开设有滑孔10，连接块9与滑孔10滑动配合，连接块9通过卡合组件固定在滑孔10内，卡合组件包括卡块11、弹簧12和解锁组件，滑孔10的前端面以及后端面均开设有矩形槽13，矩形槽13内滑动安装有卡块11，卡块11朝向矩形槽13内端的一侧固定安装有弹簧12，弹簧12远离卡块11的一端与矩形槽13内端固定连接；
27.本实施例中，在将防护板7与第二连接台6进行安装时，我们可以将防护板7上端面的滑杆8和连接块9朝上插入第二连接台6下端面开设的滑孔10内，当连接块9与卡槽接触时会将卡块11挤压进矩形槽13内，接下来当连接块9在滑孔10内移动至矩形槽13的上端时弹簧12就会推动卡块11伸出矩形槽13，这时卡块11就会拖住连接块9的下端，防护板7与第二连接台6的连接就完成了。
28.实施例3
29.如图5所示，基于与上述实施例1相同的构思，本实施例还提出了解锁组件包括动作杆14、滑板15和推板16，第二连接台6的右端面固定安装有圆杆17，滑板15滑动安装在圆杆17上，滑板15的前端面以及后端面均固定安装有推板16，矩形槽13远离开口的一端开设有圆孔，卡块11朝向圆孔的一端固定安装有动作杆14，动作杆14从圆孔内伸出，推板16开设有前后连通的滑槽18，动作杆14滑动安装在滑槽18内；
30.本实施例中，当我们需要拆卸第二连接台6下方的防护板7时，我们只需要向右滑动滑板15，滑板15就会带动推板16一起向右滑动，随着推板16向右滑动时动作杆14就会在滑槽18内向左移动，这时推板16就会将前后两个动作杆14分别朝着远离第二连接台6的方向推动，这样动作杆14就会带动卡块11一起动作，卡块11就会在动作杆14的带动下收入矩形槽13内，弹簧12将会被压缩，当卡块11与连接块9的下端面脱离接触时我们就可以将连接块9从滑孔10内拿出来。
31.实施例4
32.如图2～图4所示，基于与上述实施例1相同的构思，本实施例还提出了负压组件包括滑筒19、活塞块20、拉杆21和螺纹筒22，连接杆5的前端面固定安装有滑筒19，滑筒19内滑动安装有活塞块20，活塞块20的前端面转动安装有拉杆21，滑筒19的前端面固定安装有螺纹筒22，拉杆21与螺纹筒22螺纹连接，连接杆5中间为空腔，滑筒19连通连接杆5内腔，滑孔10上端面开设有第一矩形孔23，第一矩形孔23连通连接杆5内腔，连接块9的上端面开设有第二矩形孔24，第二矩形孔24连通防护板7的下端面，防护板7下端面边缘固定安装有第一密封垫圈25；
33.本实施例中，首先我们将靶材2放置在工作台1的上端面，然后通过升降台下降将防护板7向下放，直到防护板7下方的第一密封垫圈25与靶材2的上端面紧密贴合，这时防护板7下端到靶材2上端面、第二矩形孔24、第一矩形孔23、连接杆5内腔和滑筒19内腔会形成一个密封的区域，这时我们转动活塞块20前端面的拉杆21，通过拉杆21与螺纹筒22螺纹连接使拉杆21向前滑动，拉杆21就会带动活塞块20一起先前滑动，当活塞块20在滑筒19内向前滑动时就会使防护板7下端到靶材2上端面、第二矩形孔24、第一矩形孔23、连接杆5内腔
和滑筒19内腔形成的密封区域内气压降低，这样就可以靶材2可以被牢牢吸附在防护板7的下方，然后我们就可以通过升降台带动整体装置和靶材2进行上升，并且靶材2可以自由的进行转动。
34.实施例5
35.如图3～图4所示，基于与上述实施例1相同的构思，本实施例还提出了滑孔10内腔上端面固定安装有第二密封垫圈26，卡块11上端面距离第二密封垫圈26下端面的距离不大于连接块9的高度；
36.本实施例中，当卡块11卡在连接块9的下方时，连接块9肯定会对第二密封垫圈26进行挤压，这样可以保证连接块9与滑孔10之间的密封性。
37.实施例6
38.如图3～图4所示，基于与上述实施例1相同的构思，本实施例还提出了卡块11伸出矩形槽13的部分为三角形；
39.本实施例中，连接块9在滑孔10内向上滑动时可以直接将卡块11挤压进矩形槽13内。
40.以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。