一种刷头组件和抛光垫刷洗装置的制作方法

1.本技术涉及刷洗机构领域，尤其是涉及一种刷头组件。


背景技术：

2.硅片研磨抛光，主要是利用抛光头下方的硅片与抛光盘上的抛光垫间的摩擦实现硅片表面去除材质的目的；硅片研磨抛光中，抛光盘上的抛光垫长期接触抛光液，抛光液易结晶而留在抛光垫上，同时硅片加工后，抛光盘上的抛光垫会有少量的磨损，盘面抛光垫会高低不平，因此需要对抛光垫进行刷洗清洁。
3.现有技术中，利用通过刷头对抛光垫进行刷洗，刷头一般是通过机械臂等数控机构进行控制方向和力度，但由于在刷洗过程中缠身的震动造成刷头对抛光垫的作用力不稳定，或由于机械臂控制精度不高，在控制刷头移动过程中存在偏差也会造成刷头对抛光垫作用力不稳定的问题，从而导致抛光垫刷洗效果不佳。
4.因此，现有技术的技术问题在于：刷头对抛光垫的清洁效果不佳。


技术实现要素：

5.本技术提供一种刷头组件，解决了现有技术中刷头对抛光垫的清洁效果不佳的技术问题；达到提高刷头对抛光垫的清洁效果的技术效果。
6.本技术提供的一种刷头组件，采用如下的技术方案：
7.一种刷头组件，包括：固定座；刷头本体，所述刷头本体活动连接于固定座，所述刷头本体可在第一方向上活动；以及调节组件，所述调节组件包括：第一弹性件，所述第一弹性件可形变，所述第一弹性件设置于所述固定座上，所述第一弹性件的一端与所述刷头本体相抵触，以减弱所述刷头本体在第一方向上的活动；限位件，所述限位件可调式连接于所述固定座上，所述限位件与所述第一弹性件的另一端相抵触。
8.作为优选，所述固定座与所述刷头本体之间设置有限位组件，所述限位组件包括：第一限位板，所述第一限位板固定于所述固定座上；第二限位板，所述第二限位板固定于所述刷头本体上，所述第二限位板可与所述第一限位板相抵触，使得所述固定座的活动范围被限定。
9.作为优选，所述固定座上开设有第一通道，所述第一通道贯穿至所述固定座靠近所述刷头本体的一端，所述第一弹性件设置于所述第一通道内。
10.作为优选，所述第一通道内滑移连接有推板，所述推板的两个端面分别与所述限位件、所述第一弹性件相抵触。
11.作为优选，所述固定座与所述刷头本体之间设置有支撑板，所述支撑板的两个端面分别与所述固定座、所述刷头本体相抵触。
12.作为优选，所述固定座包括：第一座，所述第一座与所述刷头本体活动连接，第一座中开设所述第一通道；第二座，所述第二座转动连接于所述第一座远离所述刷头本体的一端，使得第二座可绕轴自转，所述第二座上可调式连接所述限位件。
13.作为优选，所述第二座上连接有同步轮，所述同步轮与所述第一座定位固定连接。
14.作为优选，所述第一座上设置有：第二通道，所述第二通道贯穿至靠近所述刷头本体的一端；第二弹性件，所述第二弹性件设置于所述第二通道内，所述第二弹性件与支撑板相抵触。
15.作为优选，所述第一弹性件和第二弹性件具体为弹簧；所述限位件具体为螺钉，所述螺钉通过螺纹连接于所述第二座上。
16.一种抛光垫刷洗装置，包括所述刷头组件。
17.综上所述，本技术包括以下至少一种有益技术效果：
18.1、本技术中刷头本体可在固定座的第一方向上活动，在刷头本体和固定座之间设置了第一弹性件，第一弹性件通过限位件进行限位，在刷头本体与抛光垫接触后，刷头本体受到第一方向反向的作用力，通过弹性件削弱刷头本体的运动，使得刷头本体对抛光垫的作用力保持稳定，解决了现有技术中刷头对抛光垫的清洁效果不佳的技术问题；达到提高刷头对抛光垫的清洁效果的技术效果。
19.2、限位件可调式的连接在固定座上，通过调节限位件以改变第一弹性件的形变程度，使得刷头本体受弹性件的作用力可调节，适应于不同工作环境，提高刷头本体对抛光垫的作用力的稳定性。
20.3、在第一座上固定同步轮，通过驱动同步轮从而带动固定座以刷头本体转动，进一步提高刷头本体对抛光垫的清洁效果。
附图说明
21.图1是本技术所述一种刷头组件的立体示意图。
22.图2是本技术所述一种刷头组件的爆炸图。
23.图3是本技术所述一种刷头组件的正向剖视图。
24.图4是图3中a的局部放大图。
25.附图标记：100、固定座；101、第一座；102、第二座；103、第一通道；104、第二通道；105、第三通道；106、第一孔；107、第二孔；108、同步轮；109、轴承；200、刷头本体；201、刷头座；202、刷毛；300、调节组件；301、推板；302、限位件；303、第一弹性件；304、支撑板；305、第二弹性件；400、限位组件；401、第一限位板；402、第二限位板。
具体实施方式
26.本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本技术所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
27.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在
第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
28.本技术实施例提供了一种刷头组件，通过在刷头本体200和固定座100之间设置了第一弹性件303，弹性件削弱刷头本体200的运动，解决了现有技术中刷头对抛光垫的清洁效果不佳的技术问题；达到提高刷头对抛光垫的清洁效果的技术效果。
29.为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
30.一种刷头组件，如图1、2所示，包括固定座100、刷头本体200以及调节组件300，刷头本体200活动连接在固定座100上，可在第一方向上滑移活动，具体的，刷头本体200位于固定座100下方，使得刷头本体200可在竖直方向上移动一段距离。
31.如图1、2所示，刷头本体200包括刷头座201和刷毛202，刷头座201为一圆形板，刷毛202固定在刷头座201远离固定座100的一面上，刷毛202用于与抛光垫接触并对抛光垫刷洗清洁，在刷头座201上设置有圆形的台阶，刷头本体200通过台阶与固定座100连接，如图3、4所示，在刷头座201与固定座100之间设置有限位组件400，限位组件400包括第一限位板401和第二限位板402，第一限位板401和第二限位板402均为圆环状，第一限位板401固定在固定座100侧边底部，第一限位板401位于台阶内部空间，第二限位板402固定在台阶上，第一限位板401可与第二限位板402抵触或脱离，使得刷头本体200可相对于固定座100在竖直方向上移动，移动距离为台阶的高度；刷头本体200向上移动时，第二限位板402向上移动并与第一限位板401脱离，刷头本体200向下移动时，第二限位板402向下移动并与第一限位板401向抵触。
32.如图2、3所示，固定座100包括第一座101和第二座102，第一座101与第二座102上下设置，第一座101位于第二座102的下方，第一座101通过上述的限位组件400与刷头本体200连接，在第一座101内开设有第一通道103，具体的，第一通道103开设方向与刷头本体200的移动方向相同，且第一通道103位于第一座101的中心轴上，第一通道103贯穿至第一座101靠近刷头本体200的一端，在一个实施例中，第一通道103还贯穿至第一座101远离刷头本体200的一端，当然，第一通道103也可不贯穿至第一座101远离刷头本体200的一端。
33.如图2、3所示，调节组件300包括第一弹性件303和限位件302，第一弹性件303设置于第一通道103内，第一弹性件303在受力作用下可形变，形变越大反作用力越大，例如可以采用弹簧，第一弹性件303保持压缩状态；限位件302可调式的固定在固定座100上，第一弹性件303的顶部与限位件302相抵触，第一弹性件303的底部与刷头本体200相抵触，具体的，限位件302采用螺钉，螺钉方向与第一通道103方向相同，螺钉通过螺纹连接在第二座102上，在第一通道103顶部滑移设置有推板301，推板301为一圆形板，推板301可在第一通道103内上下移动；推板301位于限位件302与第一弹性件303之间，通过调节限位件302上下位置以调节第一弹性件303的压缩程度；第一弹性件303的底部与刷头座201之间设置支撑板304，支撑板304一面与第一弹性件303的底部相抵触，另一面与刷头座201上端面相抵触。
34.如图2、3所示，在固定座100上设置有同步轮108，具体的，同步轮108套设于第二座102上，同步轮108与第二座102之间通过两轴承109连接，同步轮108底部边缘与第一座101
的顶部通过螺丝或法兰固定连接，使得同步轮108带动第一座101、刷头本体200转动，而第二座102不被带动转动。第一座101上固定传动杆，刷头座201上开设纵向的槽体，传动杆与槽体插接配合，使得第一座101转动时能够带动刷头本体200转动，而不影响刷头本体200上下运动；当然，也可以利用第一限位板和第二限位板之间的摩擦力来带动刷头本体转动。
35.如图3所示，在第一座101内还设置有第二通道104和第二弹性件305，第二通道104开设在第一座101内部，第二通道104与第一通道103相互平行，在一个实施例中，第二通道104数量为3个，均匀分布于第一通道103周向，与第一通道103相同，第二通道104贯穿至第一座101靠近刷头座201的一端，而不贯穿至第一座101的另一端；第二弹性件305设置于第二通道104内部且第二弹性件305为压缩状态，使得第二弹性件305的顶部与第二通道104的顶面相抵触，第二弹性件305的底部通过支撑板304与刷头座201相抵触，第二弹性件305具体可以采用弹簧。
36.如图3所示，本技术实施例中的刷头组件还包括有通水组件，通水组件包括第三通道105、第一孔106以及第二孔107；第三通道105开设在第一座101上，第三通道105纵向贯通第一座101；第一孔106开设于支撑板304上，第一孔106的位置位于第三通道105的正下方；第二孔107开设于刷头座201上，第二孔107位于第一孔106的正下方，使得水可分别经过第三通道105、第一孔106以及第二孔107达到抛光垫上；当然，第一孔106、第二孔107以及第三通道105的位置也可交错设置。
37.工作原理/步骤：
38.刷头本体200与第一座101活动连接，刷头本体200可在竖直方向上移动一段距离；限位件302可调式连接在第二座102上，限位件302与第一弹性件303相抵触，第一弹性件303被压缩产生形变，对刷头本体200形成向下的作用力，由于外界控制或震动的原因造成刷头本体200向上运动或具有向上运动趋势时，第一弹性体对刷头本体200的运动作出抵抗以削弱刷头本体200向上运动，使得刷头本体200对抛光垫输出的压力保持稳定；通过调节限位件302的位置以改变第一弹性件303的形变程度，从而调节第一弹性体对刷头本体200向上运动的削弱效果。
39.技术效果：
40.1、本技术中刷头本体200可在固定座100的第一方向上活动，在刷头本体200和固定座100之间设置了第一弹性件303，第一弹性件303通过限位件302进行限位，在刷头本体200与抛光垫接触后，刷头本体200受到第一方向反向的作用力，通过弹性件削弱刷头本体200的运动，使得刷头本体200对抛光垫的作用力保持稳定，解决了现有技术中刷头对抛光垫的清洁效果不佳的技术问题；达到提高刷头对抛光垫的清洁效果的技术效果。
41.2、限位件302可调式的连接在固定座100上，通过调节限位件302以改变第一弹性件303的形变程度，使得刷头本体200受弹性件的作用力可调节，适应于不同工作环境，提高刷头本体200对抛光垫的作用力的稳定性。
42.3、在第一座101上固定同步轮108，通过驱动同步轮108从而带动固定座100以刷头本体200转动，进一步提高刷头本体200对抛光垫的清洁效果。
43.本实施例还公开一种抛光垫刷洗装置，包括刷头组件和驱动组件；刷头组件结构与上述的刷头组件结构相同；驱动组件连接第一座101并作用于第一座101上，用于驱动刷头组件在空间中移动。驱动组件实质上为一种动力机构，能够实现驱动刷头组件移动即可，
不对驱动组件结构做特定要求，例如可以采用丝杠驱动、气缸驱动或两者配合驱动，从而实现驱动刷头组件在空间中移动。
44.尽管已描述了本实用新型的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本实用新型范围的所有变更和修改。
45.显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。