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间歇式吸水分片装置和具有其的吸水分片传输系统的制作方法

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1.本实用新型涉及一种分片装置,尤其涉及一种间歇式吸水分片装置和具有其的吸水分片传输系统。


背景技术:

2.硅片脱胶后需要将堆叠在一起的硅片逐个分开插入花蓝清洗,目前主要采用的分片技术是通过将竖直放置的硅片由吸盘在水中将其吸出并移送到传输带上,由于硅片竖直放置且堆叠在一起,吸盘吸附过程中易导致硅片相互倾斜挤压碰撞,碎片率高。


技术实现要素:

3.本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本实用新型提出一种间歇式吸水分片装置和具有其的吸水分片传输系统,避免了如硅片之类的目标物在清洗运输的过程中出现碰撞,提高了目标物的合格率。
4.根据本实用新型实施例的间歇式吸水分片装置,包括:
5.传动带,所述传动带上具有穿透区和遮挡区,所述穿透区在所述传动带的厚度方向上贯通,所述穿透区、所述遮挡区在所述传动带的长度方向上交替设置,所述传动带回转时,所述穿透区、所述遮挡区交替地经过所述传动带一侧的目标位置;传动轮,所述传动轮与所述传动带配合以支撑所述传动带回转,至少一个所述传动轮为主动轮;吸水件,所述吸水件至少部分位于所述传动带的另一侧,所述吸水件上设有正对所述目标位置的吸水孔,所述传动带回转时,所述穿透区、所述遮挡区交替地经过所述吸水孔。
6.根据本实用新型实施例的间歇式吸水分片装置,通过电机等驱动装置带动传动轮转动,传动轮带动传动带进行转动,由于传动带上设置有穿透区和遮挡区,且吸水件上设置正对目标位置的吸水孔,当传动带的穿透区经过吸水孔时,吸水孔会产生吸力,当传动带的遮挡区经过吸水孔时,吸水孔不产生吸力。以交替产生吸力的方式去吸附目标位置,目标位置也就是目标物放置位置,避免吸水孔一直产生吸力,从而导致上一片目标物还未运输到指定位置下一片目标物就被吸附,使目标物之间发生碰撞。
7.具体的,所述穿透区为形成在所述传动带上的长孔,所述长孔沿所述传动带的长度方向延伸;由于目标物是通过传动带上的穿透区进行吸附运输的,当穿透区也就是长孔沿着传动带的长度方向延伸时,能够使目标物在传动带的运转方向运输。当所述长孔为至少两个时,相邻两个所述长孔沿所述传动带的长度方向间隔开分布。通过将长孔数量设置为多个时,通过间隔分布能够使传动带在一个回转过程中吸附多个目标物,从而提高目标物运输速率。
8.具体的,所述长孔为至少两个,所有所述长孔为尺寸一致的矩形孔,所有所述长孔在所述传动带的长度方向上的孔距相等,相邻所述长孔的孔距大于等于被吸目标物在所述长度方向上的尺寸。通过将孔距长度尺寸设置为大于目标物在长度方向的尺寸,可以使目标物在未传送到指定位置时,下一个穿透区不会到达吸水孔的位置,因此也就不会去吸附
下一片目标物,避免了目标物与目标物之间发生碰撞。
9.在一些实施例中,至少一个所述传动轮上设有第一定位部,所述传动带上设有第二定位部,所述第二定位部在所述传动带的长度方向上分布多个,所述传动带回转时所述第二定位部与所述第一定位部相配合。通过传动轮上第一定位部和传动带上第二定位部的配合,可以将传动轮与传动带卡合连接,增大传动轮与传动带之间的摩擦,避免传动带出现在传动轮上出现滑动,增大了传动带在运输过程的稳定性。
10.具体的,所述第一定位部为设在所述传动轮上的定位凸起,所述第二定位部为形成在所述传动带的内侧的定位凹槽。通过定位凸起和定位凹槽的配合,传动轮和传动带之间卡合更为紧密,进而能够使传动轮与传动带之间实现同步传动。
11.在一些实施例中,所述传动带为平行且间隔的至少两条,所述传动轮为对应设置的至少两组;所述吸水件穿设在所有所述传动带的内侧,且对应每个所述传动带均设置有所述吸水孔。通过设置两组以上的传动轮和吸水孔能够增大对目标物的吸附力,使装置在运输目标物的过程中更加稳定。
12.根据本实用新型实施例吸水分片传输系统,包括上述实施例中所述的间歇式吸水分片装置,所述间歇式吸水分片装置包含至少一组主动轮、两组被动轮,所述吸水分片传输系统还包括:传输带,所述传输带设置在所述两组被动轮的延伸处;所述传输带包含至少两组传送轮。
13.根据本实用新型实施例的吸水分片传输系统,当间歇式吸水分片装置将目标物吸附出水箱时,间歇式吸水分片装置上吸水孔产生的吸力会减弱,此时刚好可以通过传输带接收间歇式吸水分片装置上的目标物,通过传输带上的两组传送轮将目标物传输至指定位置,避免了吸水孔吸力不足而导致目标物损坏。
14.在一些实施例中,所述吸水分片传输系统还包括:用于向所述目标位置喷水的喷水装置。通过喷水装置可以向目标物进行喷水,便于目标物之间分离。
15.进一步的,所述喷水装置包括:所述第一喷水板位于所述传输带和相邻的所述被动轮之间,所述第一喷水板朝向所述目标位置的一侧开设有第一喷水孔,通过第一喷水孔向目标位置上的目标物喷水,喷水孔喷出的水压作用在目标物上,可以减小目标物之间的吸附力,使目标物之间分开,便于传动带吸附距离传动带最近的目标物。
16.进一步的,所述第一喷水板包含单排或至少两排所述第一喷水孔,每排所述第一喷水孔包含多个。通过至少单排或者两排竖向分布的喷水孔作用在目标物上,可以使目标物受力均匀,避免目标物出现受力不均而出现歪倒。
17.在一些实施例中,所述喷水装置还包括:成对设置的第二喷水板,成对的两个所述第二喷水板位于所述间歇式吸水分片装置的两侧,每个所述第二喷水板朝向所述目标位置开设有第二喷水孔,两侧所述第二喷水孔的喷射方向夹角小于180度。通过成对的第二喷水版可以将在传动带上运输的目标物限制在传动带传动带上,同时通过左右第二喷水板上产生的水压,可以使目标物稳定的在传动带的中间位置,避免了目标物在运输过程中出现左右倾倒导致目标物出现损伤。
18.在一些实施例中,所述传动带的下表面相对水平面倾斜,所述传输带的上表面相对水平面倾斜,在二者邻近彼此的一端,所述传输带的上表面低于所述传动带的下表面;通过将传输带的上表面设置在传动带的下表面的下方,可以将目标物从传动带上转移到运输
带上使目标物运输到指定位置。所述吸水分片传输系统还包括:料托架,所述料托架具有承台和挡板,所述承台上方构成所述目标位置以放置堆叠的所述目标物,所述承台的上表面相对水平面倾斜,且所述承台的上表面在靠近所述传输带的一端上倾,所述挡板位于所述承台的远离所述传输带的一侧。通过将承台设置为倾斜状从而使放置在承台上的目标物也呈为倾斜状,从而使第一喷水孔喷出的水压更好的作用在目标物上使目标物之间分开。同时通过设置在承台上的挡板,挡板作用在放置在承台上的目标物上,避免了第一喷水孔作用在目标物上时使目标物被水压冲跑。
附图说明
19.本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解,其中:
20.图1是包含间歇式吸水分片装置的一实施例中的立体图;
21.图2是一实施例的间歇式吸水分片传输系统的侧视图;
22.图3是图1所示实施例的吸水件立体图;
23.图4是图1所示实施例的传动带立体图;
24.图5是图1所示实施例的传动轮立体图;
25.图6是图2所示实施例中的料托架立体图;
26.图7是图1所示实施例的主视图。
27.附图标记:
28.传动带1,穿透区11,长孔111,矩形孔1111,遮挡区12,第二定位部13,定位凹槽131,
29.传动轮2,主动轮21,第一定位部22,定位凸起221,环槽23,被动轮24,
30.吸水件3,吸水孔31,平行孔32,延伸杆33,
31.目标物4,
32.连接轴5,导轮51,
33.传输带6,传送轮61,
34.第一喷水板7,第一喷水孔71,
35.第二喷水板8,第二喷水孔81,
36.料托架9,承台91,挡板92。
具体实施方式
37.下面详细描述本实用新型的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本实用新型,而不能理解为对本实用新型的限制。
38.在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“长度”、“厚度”、“上”、“下”、“水平”、“底”“内”、“外”、等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
39.在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
40.下面参考图1-图7描述根据本实用新型实施例的间歇式吸水分片装置。
41.如图1和图2所示,根据本实用新型实施例的间歇式吸水分片装置,包括:传动带1、传动轮2和吸水件3,传动带1上具有穿透区11和遮挡区12,穿透区11在传动带1的厚度方向上贯通,穿透区11、遮挡区12在传动带1的长度方向上交替设置。传动带1回转时,穿透区11、遮挡区12交替地经过传动带1一侧的目标位置。这里对穿透区11和遮挡区12的数量不做限定,可以是一个遮挡区12和一个穿透区11,也可以是多个遮挡区12和多个穿透区11,其主要目的就是使传动带1上的穿透区11、遮挡区12在目标位置交替经过。
42.传动轮2与传动带1配合以支撑传动带1回转,至少一个传动轮2为主动轮21。通过主动轮21提供动力驱动带动传动带1进行运动,同时传动带1是一个回转运动,通过主动轮21驱动传动带1回转,可以使传动带1上的穿透区11、遮挡区12在目标位置不停的交替经过。
43.吸水件3至少部分位于传动带1的另一侧,吸水件3上设有正对目标位置的吸水孔31,传动带1回转时,穿透区11、遮挡区12交替地经过吸水孔31。通过吸水件3的位置,使吸水孔31和目标位置可以在传动带1的厚度方向上的两侧,这样吸水件3吸水时,可以2对目标位置产生吸力。这里吸水件3可以部分在传动带1内侧,也可以全部在传动带1内侧,这里不作限定。
44.吸水件3上存在吸水孔31,当传动带1上的穿透区11经过吸水孔31时,穿透区11与吸水孔31相对就会产生吸力,由于目标位置放置的就是目标物4,就会去吸附传动带1外侧放置的目标物4。当遮挡区12与吸水孔31相对时,吸水孔31被遮挡区12挡住,就无法产生吸力去吸附目标物4。待下一次穿透区11经过时,再次产生吸力。这样的设计方式,避免了吸水孔31一直产生吸力,即对目标位置的吸力是间隔式的。
45.可以理解的是,如果吸水孔31对目标位置的吸力是持续不断的,会导致吸附的上一片目标物4还未送到指定位置,下一片目标物4就被吸水孔31再次吸附起来,使相邻目标物4与目标物4之间发生吸附碰撞。而本技术的方案,利用传动带1上穿透区11和遮挡区12上间隔设置,使相邻两目标物4被吸附时有时间间隔,这样避免发生碰撞、损坏。
46.可以理解的是,穿透区11相当于传动带1上的穿孔,穿透区11也可以称为有孔区,遮挡区12也可以称为无孔区。在本技术中,传动带1上可以设置一个穿透区11,这样遮挡区12是一个。这样传动带1转一圈,才吸附一次目标物4。当传动带1上穿透区11数量增加时,遮挡区12数量随之增加,这样可以让吸附目标物4的频次加快。
47.有的方案中,沿传动带1上的穿透区11,只是单孔,该单孔经过一次吸水孔31就能吸附一个目标物4。也有的方案中,一个穿透区11包括一组复孔(或称多孔),该复孔经过一次吸水孔31就能吸附一个目标物4。
48.在一些实施例中,如图1和图4所示,穿透区11为形成在传动带1上的长孔111,长孔
111沿传动带1的长度方向延伸。当然传动带1上穿透区11的形状及延伸方向可以根据吸附目标物4的不同工艺做出改变,再次不做任何限定。
49.当长孔111为至少两个时,相邻两个长孔111沿传动带1的长度方向间隔开分布,通过将长孔111间隔分布能够在一个回转过程中吸附多个目标物4,从而提高目标物4运输速率。
50.进一步的,长孔111为至少两个,所有长孔111为尺寸一致的矩形孔1111,所有长孔111在传动带1的长度方向上的孔距相等,相邻长孔111的孔距大于等于被吸目标物4在长度方向上的尺寸。通过将长孔111的孔距设计为大于等于被吸目标物4也就是目标物4在长度方向上的尺寸,可以使目标物4在未传送到指定位置时不会去吸附下一片目标物4,避免了目标物4与目标物4之间发生碰撞,降低目标物4的工艺损伤。
51.在一些实施例中,至少一个传动轮2上设有第一定位部22,传动带1上设有第二定位部13,第二定位部13在传动带1的长度方向上分布多个,传动带1回转时第二定位部13与第一定位部22相配合。通过第一定位部22和第二定位部13的配合,可以将传动轮2与传动带1卡合连接,增大传动轮2与传动带1之间的摩擦,避免传动带1出现在传动轮2上出现滑动,增大了传动带1在运输过程的稳定性。
52.进一步的,第一定位部22为设在传动轮2上的定位凸起221,第二定位部13为形成在传动带1的内侧的定位凹槽131。如图4和图5所示,通过在传动轮2上设置圆柱也就是定位凸起221,同时传动带1上设置有与之相对于的圆孔也就是定位凹槽131,通过传动轮2上的圆柱和传动带1上的圆孔两者相互配合,使传动带1在转动过程中卡合在传动轮2上设置的圆柱上,能够使传动轮2与传动带1之间实现同步传动。
53.当然了,上述定位凸起221也可以设置为其他形状,比如圆柱或者菱形,在此不做任何限定。同样定位凹槽131与定位凸起221的形状相互匹配,在此也不做任何限定。
54.进一步的,传动轮2表面设有环槽23,环槽23的底壁上设有至少一定位凸起221,传动带1配合在环槽23内。如图1和图5所示,且传动带1上设置有与定位凸起221相对应的定位凹槽131。通过将传动带1连接在环槽23内,避免了传动带1在运行过程中出现脱落,同时环槽23还能使传动带1稳定的在指定方向转动。通过将定位凸起和定位凹槽设置在传动轮2和传动带1上,使传动带1受力更加均匀,避免传动带1出现磨损,节省使用成本。
55.当然,也可以设置定位凸起221为多圈,其主要作用是为了避免传动带1出现受力不均的情况,因此定位凸起221的具体数量在此不做具体限定。
56.在一些实施例中,传动带1为平行且间隔的至少两条,传动轮2为对应设置的至少两组。吸水件3穿设在所有传动带1的内侧,且对应每个传动带1均设置有吸水孔31。
57.如图1-2所示,通过设置两组传动带1及对应的吸水孔31,可以增大对目标物4的吸力,避免吸水孔31对目标物4的吸力过小,导致出现目标物4脱落的问题。
58.当然了,如果吸力不够也可以设置多组,其主要目的是为了使目标物4稳定的吸附在传动带1上,在此对数量不做具体限定。
59.进一步的,如图1-2所示,所有组的传动轮2的主动轮21连接在同一轴上。多组主动轮21在同一转轴上,可以实现多组主动轮21同步转动带动传动带1对目标物4进行运输,避免了因为两组主动轮21不同步,导致在传动带1上吸附的目标物4出现两侧运输不同步,因而出现目标物4脱落出现损伤的情况。
60.进一步的,如图1-3所示,两组传动轮2中其余轮为被动轮24,由主动轮21带动被动轮24进行转动,同时对应的被动轮24之间连接有平行轴,可以使各组传动轮2之间及传动带1保持平行状态,使在传动带1吸附的目标物4保持稳定。吸水件3上设有平行孔32,平行轴穿设在平行孔32内。通过将平行轴设在吸水件3上的平行孔32内,将吸水件3与被动轮24连接起来,可以减小间歇式吸水分片装置的物理体积。
61.进一步的,吸水件3包括延伸杆33,延伸杆33上设有连接轴5,连接轴5与平行轴相平行,连接轴5上连接有导轮51。通过连接轴5上设置的导轮,使目标物4与平行轴平动接触变为滚动接触,降低两者之间产生的摩擦损伤。
62.根据本实用新型实施例吸水分片传输系统,如图1所示,包括上述实施例中的间歇式吸水分片装置,间歇式吸水分片装置包含至少一组主动轮21、两组被动轮24,吸水分片传输系统还包括:传输带6,传输带6设置在两组被动轮24的延伸处;传输带6包含至少两组传送轮61。
63.根据本实用新型实施例的吸水分片传输系统,当间歇式吸水分片装置将目标物4吸附出水箱时,间歇式吸水分片装置上吸水孔31产生的吸力会减弱,此时刚好可以通过传输带6接收间歇式吸水分片装置上的目标物4,通过传输带6上的两组传送轮61将目标物4传输至指定位置,避免了吸水孔31吸力不足而导致目标物损坏。
64.在一些实施例中,如图1所示,吸水分片传输系统还包括:用于向目标位置喷水的喷水装置。通过喷水装置可以向目标物4进行喷水,便于目标物4之间分离。
65.进一步的,如图1和图7所示,喷水装置包括:第一喷水板7,第一喷水板7位于传输带6和相邻的被动轮24之间,第一喷水板7朝向目标位置的一侧开设有第一喷水孔71,通过第一喷水孔71向目标位置上的目标物4喷水,喷水孔喷出的水压作用在目标物4上,可以减小目标物4之间的吸附力,使目标物4之间分开,便于传动带1吸附距离传动带1最近的目标物4。
66.可以理解的是,目标物4是浸泡在水中的,所以目标物4之间存在一定的吸附力,通过第一喷水孔71喷向目标物4可以减弱目标物4之间的吸附力,从而能够使传动带1吸附目标物4。
67.进一步的,如图7所示,第一喷水板7包含单排或至少两排第一喷水孔71,每排第一喷水孔71包含多个。通过单排或者至少两排的第一喷水孔71作用在目标物4上,可以使目标物4受力均匀,避免目标物4出现受力不均而出现歪倒。需要说明的是,本技术中所指“排”主要是指“竖向分布”。
68.当然了,如果两排第一喷水孔71对目标物4的作用力不够也可以设置多排第一喷水孔71,其主要目的是为了使目标物4之间分离,在此对第一喷水孔71的数量不做具体限定。
69.在一些实施例中,如图7所示,喷水装置还包括:成对设置的第二喷水板8,成对的两个第二喷水板8位于间歇式吸水分片装置的两侧,每个第二喷水板8朝向目标位置开设有第二喷水孔81,两侧第二喷水孔81的喷射方向夹角小于180度。通过成对的第二喷水版可以将在传动带1上运输的目标物4限制在传动带1上,同时通过左右第二喷水孔81上产生的水压,可以使目标物4稳定的在传动带1的中间位置,避免了目标物4在运输过程中出现左右倾倒导致目标物4出现损伤。
70.在一些实施例中,如图2所示,传动带1的下表面相对水平面倾斜,传输带6的上表面相对水平面倾斜,在二者邻近彼此的一端,传输带6的上表面低于传动带1的下表面。
71.可以理解的是,传动带1和传输带6相对于水平面是处于一个倾斜的状态,这种倾斜的角度可以使目标物4稳定的吸附传动带1上,然后在通过将传输带6的上表面设置在传动带1的下表面的下方,可以将目标物4从传动带1上转移到运输带上使目标物4运输到指定位置。
72.在一些实施例中,如图6所示,吸水分片传输系统还包括:料托架9,料托架9具有承台91和挡板92,承台91上方构成目标位置以放置堆叠的目标物4,承台91的上表面相对水平面倾斜,且承台91的上表面在靠近传输带6的一端上倾,挡板92位于承台91的远离传输带6的一侧。通过将承台91设置为倾斜状从而使放置在承台91上的目标物4也呈为倾斜状,可以使第一喷水孔71喷出的水压更好的作用在目标物4上,使目标物4之间分开,使传动带1能稳定吸附目标物4。同时通过设置在承台91上的挡板92,挡板92作用在放置在承台91上的目标物4上,避免了第一喷水孔71喷水孔作用在目标物4上时使目标物4被水压冲跑。
73.在本说明书的描述中,参考术语“实施例”、“示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
74.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,本领域的普通技术人员可以理解:在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

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