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一种高纯气体分析系统的制作方法

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1.本实用新型涉及气体分析附属装置的技术领域,特别是涉及一种高纯气体分析系统。


背景技术:

2.大规模集成电路、化合物半导体器件、光纤等各行各业对气体纯度要求越来越高,气体的纯度严重制约着这些产业的发展。样品残留及空气的侵入、渗漏和污染是影响高纯气体中痕量杂质定量准确性的关键因素。在高纯气体分析中,整个分析过程须处于“完全密闭”状态,从取样到进样,不能有外来大气的渗入。对于杂质含量在10-9
量级时,更有必要对进样系统采用高真空处理,充干净介质进行保护。
3.现有技术中,高纯气体分析系统包括采样头、预处理机构、气体分析仪、显示机构和控制机构,其中预处理机构内包含过滤器,用于将气体样本进行过滤除尘,并且过滤器多设置两组,并在过滤器的两侧均设置手阀,当过滤器需要更换时,需要各操作四个手阀,然后才可以拆掉过滤器,效率较低,非常不便。


技术实现要素:

4.为解决上述技术问题,本实用新型提供一种高纯气体分析系统,其结构简单,通过简单的旋转即可对两个过滤器的状态进行切换,操作更加方便。
5.本实用新型的一种高纯气体分析系统,包括外壳,外壳设置有采样头、过滤器一、过滤器二、预处理机构、气体分析仪、控制机构和显示机构,两个过滤器并联设置,采样头固定在外壳并凸出于外壳;采样头连通有环形管,环形管另一端与预处理机构连通,环形管包括用于安装过滤器一的管道一以及用于安装过滤器二的管道二,管道一安装有两个阀门一,两个阀门一分别处于过滤器一的两侧,阀门一的主轴上固定连接有驱动杆一,驱动杆一的另一端上固定连接驱动轴一,管道二安装有两个阀门二,两个阀门二分别处于过滤器二的两侧,阀门二的主轴上固定连接有驱动杆二,驱动杆二的另一端上固定连接驱动轴二,外壳内安装有基座,基座上滑动安装有齿条一和齿条二,齿条一两端均固定连接带有长条孔一的动力环一,驱动轴一穿过动力环一,齿条二两端均固定连接带有长条孔二的动力环二,驱动轴二穿过动力环二;
6.基座上转动安装有支撑轴,支撑轴上转动安装有齿轮,齿条一和齿条二均与齿轮啮合。
7.进一步地,预处理机构连通气体分析仪,气体分析仪设置有凸出于外壳的出气口,气体分析仪与控制机构连接,控制机构与显示机构连接。
8.进一步地,所述外壳底部四个角处均设置有支撑座。
9.进一步地,所述支撑轴上开设有六边形槽。
10.进一步地,所述过滤器一通过法兰与管道一连通,过滤器二通过法兰与管道二连通。
11.进一步地,外壳内安装有用于放置过滤器一和过滤器二的放置座。
12.进一步地,所述环形管通过抱箍固定在外壳内。
13.进一步地,外壳顶部通过铰链转动安装有端盖,端盖靠近外壳一侧固定连接带有通孔的橡胶座,通孔处卡装有内六角扳手。
14.与现有技术相比本实用新型的有益效果为:当过滤器一或者过滤器二进行切换时,旋转齿轮,在齿轮的驱动下,齿条一和齿条二均沿基座进行滑动,但是其移动方向相反,需要对过滤器一进行更换时,旋转齿轮使齿条一以及动力环一向左进行移动,由于动力环一设开设长条孔一,且与阀门一主轴连接的驱动杆二上的驱动轴一穿过长条孔一,从而向左移动的动力环一使得阀门一进行顺时针旋转将阀门一关闭,在此过程中,同时齿条二向右移动,同理作用下,将阀门二打开,然后再拆下过滤器一并更换即可,相对现有技术来说,在对过滤器进行更换时,只需旋转即可同时使四个阀门动作,将其中一个过滤器隔离开,方便进行更换,使得分析效率更高。
附图说明
15.图1是本实用新型的结构示意图;
16.图2是本实用新型的俯视图;
17.图3是图2中a-a处的剖面等轴测图;
18.附图中标记:1、外壳;2、采样头;3、过滤器一;4、过滤器二;5、预处理机构;6、气体分析仪;7、控制机构;8、显示机构;9、环形管;10、管道一;11、管道二;12、阀门一;13、驱动杆一;14、驱动轴一;15、阀门二;16、驱动杆二;17、驱动轴二;18、基座;19、齿条一;20、齿条二;21、动力环一;22、动力环二;23、支撑轴;24、齿轮;25、支撑座;26、法兰;27、放置座;28、抱箍;29、端盖;30、内六角扳手。
具体实施方式
19.下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型,但不用来限制本实用新型的范围。
20.如图1至图3所示,本实用新型的一种高纯气体分析系统,包括外壳1,外壳1设置有采样头2、过滤器一3、过滤器二4、预处理机构5、气体分析仪6、控制机构7和显示机构8,两个过滤器并联设置,采样头2固定在外壳1并凸出于外壳1;采样头2连通有环形管9,环形管9另一端与预处理机构5连通,环形管9包括用于安装过滤器一3的管道一10以及用于安装过滤器二4的管道二11,管道一10安装有两个阀门一12,两个阀门一12分别处于过滤器一3的两侧,阀门一12的主轴上固定连接有驱动杆一13,驱动杆一13的另一端上固定连接驱动轴一14,管道二11安装有两个阀门二15,两个阀门二15分别处于过滤器二4的两侧,阀门二15的主轴上固定连接有驱动杆二16,驱动杆二16的另一端上固定连接驱动轴二17,外壳1内安装有基座18,基座18上滑动安装有齿条一19和齿条二20,齿条一19两端均固定连接带有长条孔一的动力环一21,驱动轴一14穿过动力环一21,齿条二20两端均固定连接带有长条孔二的动力环二22,驱动轴二17穿过动力环二22;
21.基座18上转动安装有支撑轴23,支撑轴23上转动安装有齿轮24,齿条一19和齿条二20均与齿轮24啮合。
22.在本实施例中,当过滤器一3或者过滤器二4进行切换时,旋转齿轮24,在齿轮24的驱动下,齿条一19和齿条二20均沿基座18进行滑动,但是其移动方向相反,需要对过滤器一3进行更换时,旋转齿轮24使齿条一19以及动力环一21向左进行移动,由于动力环一21设开设长条孔一,且与阀门一12主轴连接的驱动杆二16上的驱动轴一14穿过长条孔一,从而向左移动的动力环一21使得阀门一12进行顺时针旋转将阀门一12关闭,在此过程中,同时齿条二20向右移动,同理作用下,将阀门二15打开,然后再拆下过滤器一3并更换即可,相对现有技术来说,在对过滤器进行更换时,只需旋转即可同时使四个阀门动作,将其中一个过滤器隔离开,方便进行更换。
23.作为上述实施例的优选方案,预处理机构5连通气体分析仪6,气体分析仪6设置有凸出于外壳1的出气口,气体分析仪6与控制机构7连接,控制机构7与显示机构8连接;采样口的气体经过滤器一3或者过滤器二4过滤后,进入到预处理机构5进行预处理,在预处理机构5中完成除湿、干燥、调压等,随后进入到气体分析仪6,由控制机构7进行分析处理,最终结构由显示机构8进行显示。
24.作为上述实施例的优选方案,外壳1底部四个角处均设置有支撑座25;通过设置的支撑座25,将外壳1支撑起来,还能将外壳1调节至稳定的状态,使其运转更加平稳。
25.作为上述实施例的优选方案,支撑轴23上开设有六边形槽;通过设置的六边形槽,使用内六角扳手30插入到六边形槽对齿轮24进行旋转,更加方便。
26.作为上述实施例的优选方案,过滤器一3通过法兰26与管道一10连通,过滤器二4通过法兰26与管道二11连通;使得过滤器一3和过滤器二4更易于进行更换。
27.作为上述实施例的优选方案,外壳1内安装有用于放置过滤器一3和过滤器二4的放置座27;放置座27对过滤器一3和过滤器二4进行支撑,使得过滤器一3和过滤器二4更易于进行更换。
28.作为上述实施例的优选方案,环形管9通过抱箍28固定在外壳1内;防止环形管9松动。
29.作为上述实施例的优选方案,外壳1顶部通过铰链转动安装有端盖29,端盖29靠近外壳1一侧固定连接带有通孔的橡胶座,通孔处卡装有内六角扳手30;打开端盖29后,在橡胶座上拔出内六角扳手30插入到六边形槽内,使齿轮24旋转,从而无需额外携带工具。
30.本实用新型的一种高纯气体分析系统,以上所述所有部件的安装方式、连接方式或设置方式均为焊接、铆接或其他常见机械方式,其中可滑动/转动固定即为滑动/转动状态下不脱落,密封连通即两连接件连通的同时进行密封,并且其所有部件的具体结构、型号和系数指标均为其自带技术,只要能够达成其有益效果的均可进行实施,上述所有用电模块及用电器均为市面常见电器件,买回使用时仅需按照一同购回的使用说明书相互电连接即可进行使用,且控制模块为其常见自带模块,故均在此不再赘述。
31.本实用新型的一种高纯气体分析系统,在未作相反说明的情况下,“上下左右、前后内外以及垂直水平”等包含在术语中的方位词仅代表该术语在常规使用状态下的方位,或为本领域技术人员理解的俗称,而不应视为对该术语的限制,与此同时,“第一”、“第二”和“第三”等数列名词不代表具体的数量及顺序,仅仅是用于名称的区分,而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是
还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
32.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型技术原理的前提下,还可以做出若干改进和变型,这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。

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