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一种适合半导体生产用恒温恒湿机的预冷装置的制作方法

专利查询5月前  26

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1.本实用新型涉及空气预冷装置,尤其涉及一种适合半导体生产用恒温恒湿机的预冷装置。


背景技术:

2.目前,在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。
3.光刻胶的涂敷是用转速和旋转时间可自由设定的甩胶机来进行的。甩胶机是内置在主设备的一个工作腔室内的,腔室内送入的空气的清洁度、温度等参数,直接影响涂胶工序的涂敷质量水平,也直接影响良品率。
4.一些客户工厂的设备层,温度随着室外天气变化,温度波动很明显,早晚的实际温度也有较大差别,这些严重影响到恒温恒湿机的稳定性,也最终对产品的良率带来较大的影响。


技术实现要素:

5.实用新型的目的:为了提供效果更好的一种适合半导体生产用恒温恒湿机的预冷装置,具体目的见具体实施部分的多个实质技术效果。
6.为了达到如上目的,本实用新型采取如下技术方案:
7.一种适合半导体生产用恒温恒湿机的预冷装置,其特征在于,预冷装置包括进风过滤器单元101、预冷却单元102、风机单元103;
8.进风过滤器单元101位于所述的预冷却单元102的前端,进风过滤器单元101能够对半导体生产车间的设备层空气进行过滤;
9.预冷却单元102包括一以上的热交换器;
10.预冷却单元102边侧布置有风机单元103,风机单元103能够对空气进行推送。
11.本实用新型进一步技术方案在于,预冷却单元102为热交换器,热交换器能够将气体和水管进行换热。
12.本实用新型进一步技术方案在于,预冷却单元102中的热交换器管内流动的是厂务端冷却水单元104来的的冷却水,管外经过的是流经所述的进风过滤器单元101的空气,发生冷热交换,使空气的温度得到降低。
13.本实用新型进一步技术方案在于,厂务端冷却水单元104具有水量检测感知组件,水量检测感知组件为流量传感器,当通过预冷装置的空气温度差未达到设定值时,厂务端冷却水单元具备水量自动调节能力能够调整流量,通过控制单元105的调整来实现。
14.本实用新型进一步技术方案在于,风机单元103右侧为通道通道通向恒温恒湿机组200。
15.本实用新型进一步技术方案在于,风过滤器单元101能够对空气中的氨气进行净化。
16.本实用新型进一步技术方案在于,风过滤器单元101为可更换的过滤单元。
17.本实用新型进一步技术方案在于,风机单元103为变频风机。
18.采用如上技术方案的本实用新型,相对于现有技术有如下有益效果:1该装置具有结构紧凑,安装简便,合理利用了工厂集中供应的厂务端的冷却水,节约了资源;2同时也提高了恒温恒湿机输出的温度稳定性,提高了产品的良品率。
附图说明
19.为了进一步说明本发明,下面结合附图进一步进行说明:
20.图1为实用新型结构示意图;
21.其中:100、预冷装置;200、恒温恒湿机组;101、进风过滤器单元;102、预冷却单元;103、风机单元;104、厂务端冷却水单元;105、控制单元;pcw、厂务端冷却水进口。
具体实施方式
22.下面结合附图和具体实施方式,进一步阐明本实用新型,应理解下述具体实施方式仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
23.需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
24.本专利提供多种并列方案,不同表述之处,属于基于基本方案的改进型方案或者是并列型方案。每种方案都有自己的独特特点。此外,下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。文中未表述的固定方式,可以是螺纹固定,螺栓固定或者是胶水粘结等任意一种固定方式。
25.请参阅图1,本实用新型提供一种技术方案:一种适合半导体生产用恒温恒湿机的预冷装置100,包括进风过滤器单元101,预冷却单元102,风机单元103,厂务端冷却水单元104,控制单元105。
26.所述的进风过滤器单元101位于所述的预冷装置100的前端,对半导体生产车间的设备层空气进行过滤,优先地,对氨气的过滤,仅限对空气初级过滤,并且该组件为可更换式结构。
27.所述的预冷却单元102包括一个或者数个热交换器,热交换器管内流动的是厂务端的所述的冷却水,管外经过的是流经所述的进风过滤器单元101的空气,发生冷热交换,使空气的温度得到降低。
28.所述的风机单元102仅限对空气一定的推送,不构成对所述的恒温恒湿机200的进风、送风的干扰,通过所述的控制单元105对风机转速的调整来实现。
29.进一步的,所述的厂务端冷却水单元104具有水量检测感知组件,当通过所述的预冷装置的空气温度差未达到设定值时,所述的厂务端冷却水单元104具备水量自动调节能力,通过所述的控制单元105的调整来实现。
30.本实用新型的工作过程:当恒温恒湿机启动工作时,本装置同步启动。以通过所述的预冷装置的空气温度差的设定值为判定值,经由控制单元运算,自动控制冷却水流量大小及风机的转速,达到温度差的设定值时,该装置进入稳定状态,可连续提供满足机器端温度稳定性要求的空气,满足半导体生产工序的需要。
31.以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本领域的技术人员应该了解本发明不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理,在不脱离本发明精神和范围的前提下,本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的范围内。


技术特征:
1.一种适合半导体生产用恒温恒湿机的预冷装置,其特征在于,预冷装置包括进风过滤器单元(101)、预冷却单元(102)、风机单元(103);进风过滤器单元(101)位于所述的预冷却单元(102)的前端,进风过滤器单元(101)能够对半导体生产车间的设备层空气进行过滤;预冷却单元(102)包括一以上的热交换器;预冷却单元(102)边侧布置有风机单元(103),风机单元(103)能够对空气进行推送。2.如权利要求1所述的一种适合半导体生产用恒温恒湿机的预冷装置,其特征在于,预冷却单元(102)为热交换器,热交换器能够将气体和水管进行换热。3.如权利要求2所述的一种适合半导体生产用恒温恒湿机的预冷装置,其特征在于,预冷却单元(102)中的热交换器管内流动的是厂务端冷却水单元(104)来的冷却水,管外经过的是流经所述的进风过滤器单元(101)的空气,发生冷热交换,使空气的温度得到降低。4.如权利要求3所述的一种适合半导体生产用恒温恒湿机的预冷装置,其特征在于,厂务端冷却水单元(104)具有水量检测感知组件,水量检测感知组件为流量传感器,当通过预冷装置的空气温度差未达到设定值时,厂务端冷却水单元具备水量自动调节能力能够调整流量,通过控制单元(105)的调整来实现。5.如权利要求1所述的一种适合半导体生产用恒温恒湿机的预冷装置,其特征在于,风机单元(103)右侧为通道通道通向恒温恒湿机组(200)。6.如权利要求1所述的一种适合半导体生产用恒温恒湿机的预冷装置,其特征在于,风过滤器单元(101)能够对空气中的氨气进行净化。7.如权利要求1所述的一种适合半导体生产用恒温恒湿机的预冷装置,其特征在于,风过滤器单元(101)为可更换的过滤单元。8.如权利要求1所述的一种适合半导体生产用恒温恒湿机的预冷装置,其特征在于,风机单元(103)为变频风机。

技术总结
本实用新型涉及空气预冷装置,尤其涉及一种适合半导体生产用恒温恒湿机的预冷装置。预冷装置包括进风过滤器单元(101)、预冷却单元(102)、风机单元(103);进风过滤器单元(101)位于所述的预冷却单元(102)的前端,进风过滤器单元(101)能够对半导体生产车间的设备层空气进行过滤;预冷却单元(102)包括一以上的热交换器;预冷却单元(102)边侧布置有风机单元(103),风机单元(103)能够对空气进行推送。有益效果:1该装置具有结构紧凑,安装简便,合理利用了工厂集中供应的厂务端的冷却水,节约了资源;2同时也提高了恒温恒湿机输出的温度稳定性,提高了产品的良品率。提高了产品的良品率。提高了产品的良品率。


技术研发人员:党忠会 李超
受保护的技术使用者:西安稳能微电子科技有限公司
技术研发日:2021.10.19
技术公布日:2022/3/8

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