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一种真空镀膜机的密封组件的制作方法

专利查询6月前  26

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1.本实用新型涉及真空镀膜机技术领域,具体为一种真空镀膜机的密封组件。


背景技术:

2.真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,mbe分子束外延,pld激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
3.但是,现有的真空镀膜机密封组件主要通过密封圈进行密封密封圈长期使用容易变形,导致真空镀膜机密封性降低,破坏真空环境,因此,需要设计一种真空镀膜机的密封组件以解决上述问题。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机的密封组件,以解决上述背景技术中提出的现有的真空镀膜机密封组件主要通过密封圈进行密封密封圈长期使用容易变形,导致真空镀膜机密封性降低,破坏真空环境的问题。
5.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种真空镀膜机的密封组件,包括:
6.镀膜箱,所述镀膜箱的一侧铰接安装有密封门,所述镀膜箱的底端固定安装有底板,所述底板底端的四个拐角固定安装有承重轮,所述底板的顶端固定安装有防护机构,所述镀膜箱的一侧转动安装有控制面板;
7.密封机构,包括回型橡胶圈,所述镀膜箱一侧的开口固定安装有尼龙凸板,所述密封门的一侧固定安装有回型橡胶圈,所述回型橡胶圈为凹型状,所述密封门的一侧均匀的转动安装有多个卡合板,所述镀膜箱的一侧均匀的固定安装有多个卡槽座,所述卡槽座的内部固定安装有软垫,所述卡槽座的一侧螺纹安装有二号螺栓,将密封门盖在镀膜箱的一侧,便于增加真空镀膜机密封性,避免镀膜箱内部真空被破坏。
8.优选的,所述密封门的正面嵌入安装有视窗,所述视窗的外侧包覆有密封圈,便于工作人员及时取出工件。
9.优选的,所述底板的底端固定安装有竖板,且竖板的数量为四个,四个所述承重轮的一侧皆滑动安装有滑板,所述滑板为l型状,所述承重轮的内部均匀的固定安装有限位板,便于在转移镀膜箱的同时,使其稳定放置。
10.优选的,所述防护机构包括防护罩,且防护罩的数量为两个,所述底板的顶端开设有滑槽,且滑槽的数量为四个,两个所述防护罩滑动安装在滑槽的内部,两个所述防护罩的一侧皆固定安装有手柄,防止灰尘和杂质落在镀膜箱上,保证镀膜箱有个良好的外部环境。
11.优选的,两个所述防护罩相互远离的一侧皆固定安装有固定板,两个所述固定板的内部皆螺纹安装有一号螺栓,所述底板的内部开设有螺纹槽,且螺纹槽的数量为两个,使得两个防护罩稳定卡合。
12.优选的,两个所述防护罩顶端相互靠近的一侧皆固定安装有磁片,两个所述磁片的磁极相反,便于增加防护罩卡合的密封性,防止存在缝隙。
13.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
14.1、通过设置有防护机构,通过回型橡胶圈和尼龙凸板形成密封包裹,尼龙凸板的耐热性好,不易变形,挤压卡合板,使得密封门被稳定的卡在镀膜箱的一侧,增加回型橡胶圈和尼龙凸板的挤压贴合度,便于增加真空镀膜机密封性,避免镀膜箱内部真空被破坏。
15.2、通过设置有密封机构,两个防护罩能够保护镀膜箱的外侧,防止灰尘和杂质落在镀膜箱上,保证镀膜箱有个良好的外部环境,旋转一号螺栓,使得一号螺栓卡入到螺纹槽中,使得两个防护罩稳定卡合,两个磁片相互吸附,便于增加防护罩卡合的密封性,防止存在缝隙。
附图说明
16.图1为本实用新型的结构正视示意图;
17.图2为本实用新型的结构侧视示意图;
18.图3为本实用新型的密封机构俯视结构示意图;
19.图4为本实用新型的图3中a处的局部结构放大示意图。
20.图中:110、镀膜箱;120、密封门;121、视窗;130、控制面板;140、底板;150、承重轮;151、竖板;152、滑板;153、限位板;200、防护机构;210、防护罩;211、磁片;212、手柄;213、一号螺栓;214、固定板;215、螺纹槽;216、滑槽;300、密封机构;310、回型橡胶圈;311、尼龙凸板;312、卡合板;313、二号螺栓;314、卡槽座;315、软垫。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
22.请参阅图1-4,本实用新型提供的一种实施例:
23.一种真空镀膜机的密封组件,包括:
24.镀膜箱110,镀膜箱110的一侧铰接安装有密封门120,镀膜箱110的底端固定安装有底板140,底板140底端的四个拐角固定安装有承重轮150,底板140的顶端固定安装有防护机构200,镀膜箱110的一侧转动安装有控制面板130;
25.密封机构300,包括回型橡胶圈310,镀膜箱110一侧的开口固定安装有尼龙凸板311,密封门120的一侧固定安装有回型橡胶圈310,回型橡胶圈310为凹型状,密封门120的一侧均匀的转动安装有多个卡合板312,镀膜箱110的一侧均匀的固定安装有多个卡槽座314,卡槽座314的内部固定安装有软垫315,卡槽座314的一侧螺纹安装有二号螺栓313,将密封门120盖在镀膜箱110的一侧,尼龙凸板311卡入到回型橡胶圈310内部的凹槽中,使得镀膜箱110开口通过回型橡胶圈310和尼龙凸板311形成密封包裹,尼龙凸板311的耐热性好,不易变形,能够增加密封效果,通过将卡合板312卡在卡槽座314中,旋转二号螺栓313,挤压卡合板312,使得密封门120被稳定的卡在镀膜箱110的一侧,增加回型橡胶圈310和尼
龙凸板311的挤压贴合度,便于增加真空镀膜机密封性,避免镀膜箱110内部真空被破坏。
26.进一步的,密封门120的正面嵌入安装有视窗121,视窗121的外侧包覆有密封圈,视窗121主要能够观察镀膜箱110镀膜箱110内部工件的镀膜情况,便于工作人员及时取出工件。
27.进一步的,底板140的底端固定安装有竖板151,且竖板151的数量为四个,四个承重轮150的一侧皆滑动安装有滑板152,滑板152为l型状,承重轮150的内部均匀的固定安装有限位板153,将滑板152滑动卡入相应的限位板153中,使得限位板153限制移动,便于在转移镀膜箱110的同时,使其稳定放置。
28.进一步的,防护机构200包括防护罩210,且防护罩210的数量为两个,底板140的顶端开设有滑槽216,且滑槽216的数量为四个,两个防护罩210滑动安装在滑槽216的内部,两个防护罩210的一侧皆固定安装有手柄212,两个防护罩210相互靠近滑动,将镀膜箱110罩住,两个防护罩210能够保护镀膜箱110的外侧,防止灰尘和杂质落在镀膜箱110上,保证镀膜箱110有个良好的外部环境。
29.进一步的,两个防护罩210相互远离的一侧皆固定安装有固定板214,两个固定板214的内部皆螺纹安装有一号螺栓213,底板140的内部开设有螺纹槽215,且螺纹槽215的数量为两个,旋转一号螺栓213,使得一号螺栓213卡入到螺纹槽215中,使得两个防护罩210稳定卡合。
30.进一步的,两个防护罩210顶端相互靠近的一侧皆固定安装有磁片211,两个磁片211的磁极相反,两个磁片211相互吸附,便于增加防护罩210卡合的密封性,防止存在缝隙。
31.工作原理:当工作人员使用本装置时,首先将本装置外接电源,从而为本装置提供电力支持,使用时,工作人员将密封门120盖在镀膜箱110的一侧,尼龙凸板311卡入到回型橡胶圈310内部的凹槽中,使得镀膜箱110开口通过回型橡胶圈310和尼龙凸板311形成密封包裹,尼龙凸板311的耐热性好,不易变形,能够增加密封效果,通过将卡合板312卡在卡槽座314中,旋转二号螺栓313,挤压卡合板312,使得密封门120被稳定的卡在镀膜箱110的一侧,增加回型橡胶圈310和尼龙凸板311的挤压贴合度。
32.工作人员将两个防护罩210相互靠近滑动,将镀膜箱110罩住,两个防护罩210能够保护镀膜箱110的外侧,旋转一号螺栓213,使得一号螺栓213卡入到螺纹槽215中,使得两个防护罩210稳定卡合,两个磁片211相互吸附,便于增加防护罩210卡合的密封性。
33.对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

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