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一种真空镀膜机的镀膜夹具的制作方法

专利查询2022-6-12  78

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1.本实用新型涉及镀膜机技术领域,具体为一种真空镀膜机的镀膜夹具。


背景技术:

2.真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,主要思路是分成蒸发和溅射两种,需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材,基片与靶材同在真空腔中,在真空镀膜机中,通过两组镀膜夹具对基片进行夹持固定。
3.现有装置的夹具普遍通过螺栓与连接板固定连接,但是螺栓体积较小,较难准确的将螺栓对准螺纹孔,且拧动体积较小的螺栓较为费力,为操作人员带来不便,使得操作人员安装夹具的难度较大,降低了装置的便捷性和实用性,因此亟需一种真空镀膜机的镀膜夹具来解决上述问题。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机的镀膜夹具,以解决上述背景技术中提出的现有装置夹具的安装操作较为不便的问题。
5.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种真空镀膜机的镀膜夹具,包括:
6.架体,所述架体的侧壁的上端固定有第一连接板,所述架体侧壁的中端固定有第二连接板,所述第一连接板和第二连接板之间设置有第一夹板,且第一夹板的一侧设置有第二夹板;
7.限位机构,所述限位机构包括固定座和固定口,所述第二连接板的顶端固定有固定座,且固定座的内部开设有固定口,所述第一夹板的底端固定有插块,且插块插设在固定口的内部,所述固定口内壁的底端固定有固定板,且固定板顶端的两侧固定有橡胶板,两组所述橡胶板之间固定有第一弹簧;
8.固定机构,所述固定机构包括连接座和贴合板,所述第一连接板的底端固定有贴合板,所述连接座的内部设置有贴合板;
9.调距机构,所述调距机构包括螺杆和插杆,所述第一夹板侧壁的两端通过轴承活动连接有螺杆。
10.优选的,所述贴合板的侧壁固定有插板,所述插板插设在连接座的内部,所述第一连接板内部远离架体的一侧设置有移动板,且固定块靠近贴合板的一侧固定有固定块,所述移动板侧壁的一端固定有拉杆,所述移动板侧壁的另一端固定有第二弹簧,且第二弹簧远离移动板的一端固定在第一连接板内壁。
11.优选的,所述插块内部的底端开设有插口,且插口的两端开设有与橡胶板相互配合的插槽。
12.优选的,所述固定块截面的两端设置为斜形,所述贴合板的内部开设有与固定块相互配合的固定槽。
13.优选的,所述螺杆远离第一夹板的一端与第二夹板螺纹连接,所述螺杆的两侧设置有插杆,且插杆固定在第一夹板外壁。
14.优选的,所述插杆远离第一夹板的一侧插设在第二夹板的内部,所述第二夹板内部的两侧开设有与插杆相互配合的插孔。
15.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
16.1、该真空镀膜机的镀膜夹具设置有限位机构和固定机构,当需要安装第一夹板时,放置第一夹板,使得插块插设至固定口中,橡胶板卡合至中,松开对拉杆的拉动,固定块卡合至贴合板内部,实现第一夹板的安装,通过上述设计,实现第一夹板的稳定安装操作,不需要拧动螺栓实现第一夹板的安装,降低操作人员安装第一夹板的难度,提高了装置的便捷性和实用性。
17.2、该真空镀膜机的镀膜夹具设置有调距机构,当需要夹持基片时,将基片放置于第一夹板和第二夹板之间,拧动螺杆,第二夹板向靠近基片的方向移动,直至实现对基片的固定,通过上述设计,便于实现对基片的夹持固定,使得基片的固定更加便捷,提高了装置的便捷性和实用性。
附图说明
18.图1为本实用新型的结构正视剖面示意图;
19.图2为本实用新型第一连接板、第二连接板、第一夹板、固定机构和第二夹板的局部结构侧视剖面示意图;
20.图3为本实用新型第一夹板、调距机构和第二夹板的局部结构俯视剖面示意图;
21.图4为本实用新型图2中a处结构放大示意图;
22.图5为本实用新型图1中b处结构放大示意图。
23.图中:1、架体;2、第一连接板;3、第二连接板;4、第一夹板;5、限位机构;51、固定座;52、固定口;53、插块;54、固定板;55、橡胶板;56、第一弹簧;6、固定机构;61、连接座;62、贴合板;63、插板;64、移动板;65、固定块;66、拉杆;67、第二弹簧;7、调距机构;71、螺杆;72、插杆;73、插孔;8、第二夹板。
具体实施方式
24.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
25.请参阅图1-5,本实用新型提供的一种实施例:
26.一种真空镀膜机的镀膜夹具,包括,架体1,架体1的侧壁的上端固定有第一连接板2,架体1侧壁的中端固定有第二连接板3,第一连接板2和第二连接板3之间设置有第一夹板4,且第一夹板4的一侧设置有第二夹板8;限位机构5,限位机构5包括固定座51和固定口52,第二连接板3的顶端固定有固定座51,且固定座51的内部开设有固定口52,第一夹板4的底端固定有插块53,且插块53插设在固定口52的内部,固定口52内壁的底端固定有固定板54,且固定板54顶端的两侧固定有橡胶板55,两组橡胶板55之间固定有第一弹簧56;固定机构
6,固定机构6包括连接座61和贴合板62,第一连接板2的底端固定有贴合板62,连接座61的内部设置有贴合板62,通过该设计,使得第一夹板4便捷的安装固定,节省安装时间;
27.调距机构7,调距机构7包括螺杆71和插杆72,第一夹板4侧壁的两端通过轴承活动连接有螺杆71。
28.贴合板62的侧壁固定有插板63,插板63插设在连接座61的内部,第一连接板2内部远离架体1的一侧设置有移动板64,且固定块65靠近贴合板62的一侧固定有固定块65,移动板64侧壁的一端固定有拉杆66,移动板64侧壁的另一端固定有第二弹簧67,且第二弹簧67远离移动板64的一端固定在第一连接板2内壁,通过该设计,便于对第一夹板4的安装进行固定,使得第一夹板4安装更加便利。
29.插块53内部的底端开设有插口,且插口的两端开设有与橡胶板55相互配合的插槽,通过该设计,使得橡胶板55的插设更加牢固,从而使得插块53的插设安装更加牢固。
30.固定块65截面的两端设置为斜形,贴合板62的内部开设有与固定块65相互配合的固定槽,通过该设计,对贴合板62进行限位,使得贴合板62的安装更加牢固,从而使得第一夹板4更加牢固。
31.螺杆71远离第一夹板4的一端与第二夹板8螺纹连接,螺杆71的两侧设置有插杆72,且插杆72固定在第一夹板4外壁,通过该设计,便于调整第二夹板8的位置,从而实现基片便捷的夹持。
32.插杆72远离第一夹板4的一侧插设在第二夹板8的内部,第二夹板8内部的两侧开设有与插杆72相互配合的插孔73,通过该设计,对第二夹板8的移动进行限位,使得第二夹板8的移动更加顺畅和稳定。
33.工作原理:当需要安装第一夹板4时,首先将拉杆66向远离第一连接板2的方向拉动,此时第二弹簧67呈拉伸蓄力状态,随后将第一夹板4放置在连接座61和固定座51之间,插板63插设至连接座61的内部,随后向下推动第一夹板4,使得插块53插设至固定口52的内部,此时橡胶板55发生弹性形变后卡合至插块53内部的插槽中,随后松开对拉杆66的拉动,在第二弹簧67的拉动下,固定块65卡合至贴合板62内部的固定槽,实现第一夹板4的安装操作。
34.当需要夹持基片时,首先将基片放置于第一夹板4和第二夹板8之间,随后拧动螺杆71,第二夹板8向靠近基片的方向移动,直至实现对基片的固定操作,操作到此结束。
35.对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

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