一种籽晶杆以及晶体生长装置的制作方法

1.本实用新型涉及籽晶杆技术领域，尤其涉及的是一种籽晶杆以及晶体生长装置。


背景技术：

2.在制备氧化镓等单晶时，先将氧化镓等原材料熔融，然后采用装载有籽晶的籽晶杆从熔融体的表面进行提拉得到单晶。现有技术中在制备氧化镓单晶时，通常采用铱金属制成的籽晶杆，由于铱金属的价格昂贵，导致籽晶杆的成本较高。
3.因此，现有技术还有待于改进和发展。


技术实现要素：

4.本实用新型要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种籽晶杆以及晶体生长装置，旨在解决现有技术中籽晶杆的成本高的问题。
5.本实用新型解决技术问题所采用的技术方案如下：
6.一种籽晶杆，其中，其包括：
7.头部件，所述头部件用于夹持籽晶，所述头部件为铱头部件或铱合金头部件；
8.杆部件，所述杆部件与所述头部件连接。
9.所述的籽晶杆，其中，所述杆部为陶瓷杆部件。
10.所述的籽晶杆，其中，所述头部件包括：
11.夹持部，所述夹持部上设置有第一通孔；
12.连接部，所述连接部与所述杆部件连接；
13.所述籽晶上所述第一通孔对应位置设置有第一凹槽；
14.所述籽晶杆还包括：
15.第一插销，所述第一插销穿过所述第一通孔并插入所述第一凹槽中。
16.所述的籽晶杆，其中，所述夹持部包括：
17.依次连接的第一板体、第二板体以及第三板体；所述第一板体和所述第三板体上均设置有所述第一通孔。
18.所述的籽晶杆，其中，所述第一板体上的所述第一通孔有至少两个，且所述第一板体上的至少两个所述第一通孔沿所述籽晶杆的长度方向排列；和/或，
19.所述第三板体上的所述第一通孔有至少两个，且所述第三板体上的至少两个所述第一通孔沿所述籽晶杆的长度方向排列。
20.所述的籽晶杆，其中，所述第一板体、所述第二板体以及所述第三板体均与所述连接部连接；
21.所述第一板体远离所述连接部的一端向所述第三板体倾斜；和/或，
22.所述第三板体远离所述连接部的一端向所述第一板体倾斜。
23.所述的籽晶杆，其中，所述连接部上设置有第二通孔；所述杆部件上所述第二通孔对应位置设置有第二凹槽；所述籽晶杆还包括：
24.第二插销，所述第二插销穿过第二通孔并插入所述第二凹槽中。
25.所述的籽晶杆，其中，所述杆部件为圆柱形杆部件，所述连接部为连接筒，所述圆柱形杆部件插入到所述连接筒中。
26.所述的籽晶杆，其中，所述连接筒的内径大于所述籽晶的宽度。
27.一种晶体生长装置，其中，包括：如上述任意一项所述的籽晶杆。
28.有益效果：本实用新型将籽晶杆分成两部分，即头部件和杆部件，仅是头部件采用铱头部件或铱合金头部件，从而既能夹持籽晶，又能降低籽晶杆的成本。
附图说明
29.图1是本实用新型中一种籽晶杆的结构示意图；
30.图2是本实用新型中籽晶杆头部件的第一结构示意图；
31.图3是本实用新型中籽晶杆头部件的第二结构示意图；
32.图4是图3中a-a面剖面图。
33.附图标记说明：
34.1、籽晶杆；2、籽晶；10、头部件；20、杆部件；30、夹持部；40、连接部；31、第一板体；32、第二板体；33、第三板体；301、第一通孔；401、第二通孔。
具体实施方式
35.为使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚、明确，以下参照附图并举实施例对本实用新型进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
36.现有技术中在制备氧化镓单晶时，通常采用铱金属制成的籽晶杆，由于铱金属的价格昂贵，导致籽晶杆的成本较高。
37.基于此，第一方面，本实用新型提供了一种籽晶杆1，所述籽晶杆1包括：
38.头部件10，所述头部件10用于夹持籽晶2，所述头部件10为铱头部件或铱合金头部件；杆部件20，所述杆部件20与所述头部件10连接。
39.具体的，籽晶杆1一般包括头部件10和杆部件20连接而成，头部件10用于夹持籽晶2，头部件10的长度远短于杆部件20的长度，在晶体生长过程中，籽晶杆1的头部件10一般距离坩埚较近，而坩埚附近温度通常较高，为避免籽晶杆1的头部件10在高温下发生变形影响到晶体的生长，籽晶杆1的头部件10一般采用耐高温材料，具体的，可以为铱头部件或铱合金头部件。
40.而籽晶杆1杆部件20由于离坩埚较远，其附近温度较低，因此无需将籽晶杆1的杆部件20也设置为昂贵的耐高温材料，以节约籽晶杆1的生产成本。
41.在本实施方式中，由于仅是头部件10采用铱头部件或铱合金头部件，从而既能夹持籽晶2，又能降低籽晶杆1的成本。
42.在一中较佳的实施方式中，所述杆部件20为陶瓷杆部件。作为另一种实施方式中，所述杆部件20也可以为不锈钢材质。
43.在一种较佳的实施方式中，所述头部件10包括：夹持部30，所述夹持部30上设置有第一通孔301；连接部40，所述连接部40与所述杆部件20连接；所述籽晶2上所述第一通孔
301对应位置设置有第一凹槽(图中未示出)；所述籽晶杆1还包括：第一插销，所述第一插销穿过所述第一通孔301并插入所述第一凹槽中。
44.在本实施方式中，籽晶杆1的头部件10包括夹持部30和连接部40，该夹持部30和连接部40在籽晶杆1竖直方向上固定在一起，例如，可以通过焊接固定在一起，也可以通过螺纹可拆卸固定在一起。连接部40用于将籽晶杆1的杆部件20和头部件10固定连接在一起。夹持部30用于连接籽晶杆1，作为一种较佳的连接方式，夹持部30上设有第一通孔301，在籽晶2上设有第一凹槽，再通过第一插销穿过第一通孔301并插入第一凹槽，将所述籽晶2固定在夹持部30中。
45.在上述实施方式的基础上，所述夹持部30包括：依次连接的第一板体31、第二板体32以及第三板体33；所述第一板体31和所述第三板体33上均设置有所述第一通孔301。
46.具体的，第一板体31和第三板体33通过第二板体32隔开，第一板体31和第三板体33位于第二板体32的左右两侧，第一通孔301贯穿于第一板体31和第三板体33之间。在装配籽晶2时，将籽晶2设置与第一板体31和第三板体33之间，然后通过第一插销穿过第一通孔301，由于第一板体31和第三板体33均设有第一通孔301，且第一板体31和第三板体33位于第二板体32的相对两侧，因此，在本实施方式中，通过第一板体21和第三板体33上的第一通孔301共同固定籽晶2，能够使得籽晶2受力均匀，从而更加牢固的将籽晶2固定在夹持部30中。
47.在上述实施方式的基础上，为了所述夹持部30能够顾达到更好的固定籽晶2的效果，所述第一板体31上的所述第一通孔301有至少两个，且所述第一板体31上的至少两个所述第一通孔301沿所述籽晶杆1的长度方向排列；和/或，所述第三板体33上的所述第一通孔301有至少两个，且所述第三板体33上的至少两个所述第一通孔301沿所述籽晶杆1的长度方向排列。通过在第一板体31和第三板体33上均匀设置多个第一通孔301，以达到更可靠的固定效果。
48.在上述实施方式的基础上，所述第一板体31、所述第二板体32以及所述第三板体33均与所述连接部40连接；所述第一板体31远离所述连接部40的一端向所述第三板体33倾斜；和/或，所述第三板体33远离所述连接部40的一端向所述第一板体31倾斜。
49.具体的，在本实施方式中，第一板体31远离所述连接部40的一端向第三板体33倾斜，第三板体33远离所述连接部40的一端向所述第一板体31倾斜，也就是说，在本实施方式中，第一板体31和第三板体33远离所述连接部40的一端相互靠近。
50.在上述实施方式的基础上，所述连接部40上设置有第二通孔401；所述杆部件20上所述第二通孔401对应位置设置有第二凹槽；所述籽晶杆1还包括：
51.第二插销，所述第二插销穿过第二通孔401并插入所述第二凹槽中。
52.在上述实施方式的基础上，所述杆部件20为圆柱形杆部件20，所述连接部40为连接筒，所述圆柱形杆部件20插入到所述连接筒中。
53.作为一种较佳的实施方案中，所述连接筒的内径大于所述籽晶3的宽度。
54.第二方面，本实用新型还提供了一种晶体生长装置，所述晶体生长装置包括上述任一实施例中所述的籽晶杆1，具体如上所述。
55.本实用新型提供的晶体生长装置，因设置有上述任一技术方案中所述的籽晶杆1，从而具有以上全部有益效果，在此不再赘述。
56.综上所述，本实用新型提供了一种种籽晶杆1以及晶体生长装置，具体的，所述籽晶杆1包括：头部件10，所述头部件10用于夹持籽晶2，所述头部件10为铱头部件或铱合金头部件；杆部件20，所述杆部件20与所述头部件10连接。由于仅头部件10采用铱头部件或铱合金头部件，从而既能夹持籽晶2，又能降低籽晶杆1的成本。
57.应当理解的是，本实用新型的应用不限于上述的举例，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，所有这些改进和变换都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围。