一种供液系统的制作方法

1.本实用新型涉及晶体硅太阳能电池生产制造领域，尤其涉及一种供液系统。


背景技术：

2.晶体硅太阳能电池在生产制造过程中，需要对制成硅片进行清洗。目前的硅片清洗机设置有多个清洗槽，清洗槽内盛有清洗液；
3.因清洗工艺要求，清洗槽内的清洗液需要具有一定的温度才能达到要求的清洗效果。因此，在清洗槽内安装有电阻加热管以加热清洗液。
4.但是，每次更换清洗槽内的清洗液后，需要较长时间来加热升温，而升温过程中需要中断清洗，这就制约了产能。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种供液系统，该供液系统能够为硅片清洗机提供热清洗液，减少清洗槽换液后所需的加热时间，提高产能。
6.为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种供液系统，用于向多个清洗机供给加热液体，供液系统包括供液管、连通管、控制器以及多个储液箱；每个储液箱通过供液管向相应清洗机提供加热液体；多个储液箱通过连通管相互连通；控制器用于调控加热液体在供液系统中的流通。
7.通过上述技术方案，储液箱内可以储存有加热液体，当一个清洗机需要更换清洗液时，在控制器调控作用下，与该清洗机对应的储液箱通过供液管向该清洗机提供加热液体。当一个清洗机需要添加的加热液体较少时(例如只有一个清洗槽需要更换清洗液时)，一个储液箱就足以为该清洗机提供加热液体；当一个清洗机需要添加的加热液体较多时(例如该清洗机有多个清洗槽需要同时更换清洗液时)，在控制器的调控作用下，使其他储液箱中的液体通过连通管流入与该清洗机对应的储液箱中，进而通过相应的供液管向该清洗机提供加热液体。因此，该供液系统能够为硅片清洗机提供热清洗液，减少清洗槽换液后所需的加热时间，提高产能。
8.在一种可能的实现方式中，多个储液箱通过连通管串联或并联。
9.在一种示例中，连通管包括主管和多个支管，支管与储液箱一一对应连接，且多个支管并联于主管。这样，储液箱中的加热液体通过支管流入主管中，汇聚到主管中的加热液体流向需要补液的清洗机所对应的储液箱内。
10.在另一种示例中，连通管的数量比多个储液箱的数量少一个，多个储液箱沿第一方向排列，任意相邻两个储液箱之间连接有一个连通管。这样，多个储液箱中的液体可以经由连通管流向任一个储液箱中，以便于为该储液箱对应的清洗机提供加热液体。
11.在一种可能的实现方式中，供液系统还包括第一冷分送管、第一冷分送阀门、第一高液位检测器和第一低液位检测器，每个储液箱对应连接一个第一冷分送管，每个第一冷分送管上安装有第一冷分送阀门，每个储液箱中均设置有第一高液位检测器和第一低液位
检测器；第一冷分送阀门、第一高液位检测器和第一低液位检测器均与控制器电连接；当一个储液箱中的第一高液位检测器无信号且第一低液位检测器发出低液位信号时，相应第一冷分送阀门打开；当一个储液箱中的第一高液位检测器发出高液位信号且第一低液位检测器发出低液位信号时，相应第一冷分送阀门关闭。
12.采用该技术方案的情况下，可以通过第一冷分送管针对性的为某一个储液箱单独提供加热液体。冷液通过第一冷分送管输送给储液箱，以便于补充储液箱内的液体，便于使储液箱内的液体保持在合适的液位。控制器可以通过第一高液位检测器和第一低液位检测器获得储液箱内的液位情况，进而得知是否需要补充冷液，以及是否需要关闭第一冷分送阀门以停止补充液体。
13.在一种可能的实现方式中，供液系统还包括设置在储液箱内的第一加热元件和第一温度传感器，第一加热元件和第一温度传感器均与控制器电连接；当一个储液箱中的第一低液位检测器无信号时，第一加热元件暂停加热。
14.通过上述技术方案，一方面，控制器可以根据获得的第一温度传感器的温度信号来控制第一加热元件是否启动加热功能，从而保持储液箱内的清洗液在预设温度范围内。另一方面，当一个储液箱内的加热液体将要排空或已经排空时，液位低于第一低液位检测器的信号触发位置，第一低液位检测器没有液位信号反馈给控制器，这时，控制器就可以控制相应的第一加热元件暂停加热。
15.在一种可能的实现方式中，每个储液箱底部连接有第一排空管，每个储液箱侧壁顶部连接有第一溢流管，第一排空管上安装有第一排空阀门，第一溢流管进口的底部高于相应第一高液位检测器的信号触发位置；第一溢流管的出口连接于第一排空管，且位于第一排空阀门的下游。
16.采用该技术方案，可以在出现异常情况时，排空储液箱中的液体。可以在储液箱中的液体过多而溢出时，通过第一溢流管而流向相应收集容器中，避免溢出液体洒落在相关设备和地面上，污染设备和地面。第一溢流管和第一排空管可以共用一个收集容器，可以减少收集容器的设置，还可以简化管道排布。
17.在一种可能的实现方式中，供液系统还包括第二高液位检测器、第二排空管、第二排空阀门和供液阀门，清洗机的每个清洗槽均连接有一个第二排空管，每个第二排空管上安装有第二排空阀门，每个供液管上安装有供液阀门；每个清洗槽内均安装有第二高液位检测器；第二高液位检测器、第二排空阀门和供液阀门均与控制器电连接；当一个清洗槽内的清洗液排空后，相应第二排空阀门关闭，与清洗槽对应的供液阀门打开；当一个清洗槽中的第二高液位检测器发出高液位信号时，与清洗槽对应的供液阀门关闭。
18.采用该技术方案的情况下，在需要更换清洗液时，或需要更换第二高液位检测器时，可以打开第二排空阀门，排空清洗槽中的清洗液。排空后，可以利用控制器关闭第二排空阀门，打开相应供液阀门，以便于储液箱内的加热液体可以通过供液管流入相应清洗槽中。当一个清洗槽中的第二高液位检测器发出高液位信号时，利用控制器将与清洗槽对应的供液阀门关闭，停止为清洗槽供液。
19.在一种可能的实现方式中，供液系统还包括设置在清洗槽内的第二温度传感器、第二加热元件和第二低液位检测器，第二温度传感器、第二加热元件和第二低液位检测器均与控制器电连接；当一个清洗槽中的第二低液位检测器无信号时，或，当第二排空阀门打
开时，第二加热元件暂停加热。
20.采用该技术方案的情况下，在清洗硅片的过程中，可以根据第二温度传感器反馈的温度，通过控制器启动第二加热元件加热清洗液或停止加热，以使清洗液始终保持在适宜清洗硅片的温度范围内。第二低液位检测器用于监测清洗槽中的液体含量，当无信号时，说明清洗液含量过少，无需第二加热元件的加热功能。
21.在一种可能的实施例中，供液系统还包括第二溢流管，第二溢流管连接于清洗槽侧壁的顶部，第二溢流管进口的底部高于第二高液位检测器的信号触发位置，第二溢流管的出口与第二排空管连通，且位于第二排空阀门的下游。采用该技术方案的情况下，在液体过多而溢出清洗槽时，通过第二溢流管而流向相应收集容器中，避免随意溢出而洒落在相关设备和地面上，污染设备和地面。第二溢流管和第二排空管可以共用一个收集容器，可以减少收集容器的设置，还可以简化管道排布。
附图说明
22.此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
23.图1为本实用新型实施例提供的一种供液系统中一个储液箱安装在一个清洗机顶部的立体示意图；
24.图2为本实用新型实施例提供的一种供液系统在储液箱部分的连接示意图；
25.图3为本实用新型实施例提供的一种供液系统在清洗槽部分的连接示意图；
26.图4为本实用新型实施例提供的一种供液系统在多个储液箱并联情况下的示意图，并且只示意出了一个清洗机的多个清洗槽与相应储液箱之间的连接关系；
27.图5为本实用新型实施例提供的一种供液系统在多个储液箱串联情况下的示意图，并且只示意出了一个清洗机的多个清洗槽与相应储液箱之间的连接关系；
28.其中，图4和图5均只简略示意出了三个储液箱，储液箱的数量可以少于三个，也可以多于三个，本实用新型不作限定。
29.附图标记：
30.1-清洗槽；2-储液箱；
31.31-第一冷送液管，32-第一冷分送管，33-供液管，34-第一溢流管；35-第一排空管，36-第一加热元件，37-第一温度传感器，38-第一高液位检测器，39-第一低液位检测器；
32.41-第一冷分送阀门，42-供液阀门，43-第一排空阀门，44-热分送阀门，45-第二冷分送阀门，46-第二排空阀门，47-开关阀；
33.51-第二冷送液管，52-热分送管，53-第二冷分送管，54-第二排空管，55-第二溢流管，56-第二高液位检测器，57-第二低液位检测器，58-第二温度传感器，59-第二加热元件；
34.6-连通管，61-支管，62-主管。
具体实施方式
35.为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实
施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
36.需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
37.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。
38.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
39.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
40.在硅片生产线中，常常使用很多硅片清洗机来清洗硅片。需要先将清洗槽内的清洗液加热到一定的温度才能达到要求的清洗效果。因此，在清洗槽内安装有电阻加热管以加热清洗液。但是，每次更换清洗槽内的清洗液后，需要较长时间来加热升温，而升温过程中需要中断清洗，这就制约了产能。
41.为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种供液系统，参考图1所示，用于向多个清洗机供给加热液体，供液系统包括供液管33、连通管6、控制器以及多个储液箱2，每个储液箱2通过供液管33向相应清洗机提供加热液体，多个储液箱2通过连通管6相互连通，控制器用于调控加热液体在供液系统中的流通。
42.通过上述技术方案，储液箱2内可以储存有加热液体，当一个清洗机需要更换清洗液时，在控制器调控作用下，与该清洗机对应的储液箱2通过供液管33向该清洗机提供加热液体。当一个清洗机需要添加的加热液体较少时(例如只有一个清洗槽1需要更换清洗液时)，一个储液箱2就足以为该清洗机提供加热液体；当一个清洗机需要添加的加热液体较多时(例如该清洗机有多个清洗槽1需要同时更换清洗液时)，在控制器的调控作用下，使其他储液箱2中的液体通过连通管6流入与该清洗机对应的储液箱2中，进而通过相应的供液管33向该清洗机提供加热液体。因此，该供液系统能够为硅片清洗机提供热清洗液，减少清洗槽1换液后所需的加热时间，提高产能。
43.在一种示例中，储液箱2可以一一对应地安装在清洗机的顶部。采用该技术方案的情况下，一方面，可以节省地面空间，方便对现有的硅片清洗生产线进行改造以得到本实用新型提供的供液系统，另一方面，方便储液箱2中的热清洗液在重力作用下自动流入到清洗槽1中。
44.在一种可能的实现方式中，参考图4和图5所示，多个储液箱2可以通过连通管6串
联或并联。
45.当多个储液箱2并联时，连通管6包括主管62和多个支管61，支管61与储液箱2一一对应连接，且，多个支管61并联于主管62。储液箱2中的加热液体通过支管61流入主管62中，汇聚到主管62中的加热液体流向需要补液的清洗机所对应的储液箱2内。其中，每个支管61上均可以安装有开关阀47，以便于切断多个储液箱2之间的连通。
46.当多个储液箱2串联时，连通管6的数量比多个储液箱2的数量少一个，多个储液箱2沿第一方向排列，任意相邻两个储液箱2之间连接有一个连通管6。多个储液箱2中的液体可以经由连通管6流向任一个储液箱2中，以便于为该储液箱2对应的清洗机提供加热液体。这时，每个连通管6上均可以安装有开关阀47，以便于切断多个储液箱2之间的连通。
47.为了简化操作和节省时间，开关阀47可以处于常开状态，当只需要一个相应的储液箱2向清洗机提供加热液体时，或者需要清理某一个储液箱2，或者更换储液箱2中的相应配件时(例如下文描述的第一加热元件36、第一温度传感器37、第一高液位检测器38、第一低液位检测器39)，再关闭相应的开关阀47，以切断该储液箱2与其他储液箱2的连通。另外，开关阀47可以为与控制器电连接的电动或气动阀门，以便于利用控制器打开或关闭开关阀47。
48.在一种可能的实现方式中，参考图2所示，供液系统还包括第一冷分送管32、第一冷分送阀门41、第一高液位检测器38和第一低液位检测器39，每个储液箱2对应连接一个第一冷分送管32，每个第一冷分送管32上安装有第一冷分送阀门41，每个储液箱2中均设置有第一高液位检测器38和第一低液位检测器39；第一高液位检测器38、第一低液位检测器39和第一冷分送阀门41均与控制器电连接；当一个储液箱2中的第一高液位检测器38无信号且第一低液位检测器39发出低液位信号时，相应第一冷分送阀门41打开；当一个储液箱2中的第一高液位检测器38发出高液位信号且第一低液位检测器39发出低液位信号时，相应第一冷分送阀门41关闭。
49.采用该技术方案的情况下，可以通过第一冷分送管32针对性的为某一个储液箱2单独提供加热液体。冷液通过第一冷分送管32输送给储液箱2，以便于补充储液箱2内的液体，便于使储液箱2内的液体保持在合适的液位。控制器可以通过第一高液位检测器38和第一低液位检测器39获得储液箱2内的液位情况，进而得知是否需要补充冷液，以及是否需要关闭第一冷分送阀门41以停止补充液体。其中，第一冷分送阀门41可以是与控制器电连接的电动或气动阀门，控制器根据接收到的第一高液位检测器38和第一低液位检测器39的信号来自动控制第一冷分送阀门41的打开或关闭。
50.在一种示例中，供液系统还包括第一冷送液管31，多个第一冷分送管32并联于第一冷送液管31。另外，第一冷分送管32输送给储液箱2的可以是已加热的液体，也可以是常温冷液，然后如下文描述的那样，利用加热元件获得加热液体。
51.在一种可能的实施方式中，由于多个储液箱2相互连通时，每个储液箱2的液位基本保持一致，那么，当其中一个储液箱2中的第一高液位检测器38的信号触发位置较高时，在液位没有达到该信号触发位置前，会出现控制器始终控制对应的第一冷分送阀门41打开，以始终为该储液箱2补液的情况。在这种情况下，这些液体会流动至其他储液箱2中，可能造成其他储液箱2的液位较高甚至溢出的情况。为了避免这种情况的发生，可以使得所有第一高液位检测器38的信号触发位置所处高度在预设误差范围内。例如，可以使得所有第
一高液位检测器38的信号触发位置所处高度相同。这里的高度指第一高液位检测器38的信号触发位置距离水平面的高度。
52.在一种可能的实现方式中，供液系统还包括设置在储液箱2内的第一加热元件36和第一温度传感器37；第一加热元件36和第一温度传感器37均与控制器电连接；当一个储液箱2中的第一低液位检测器39无信号时，第一加热元件36暂停加热。
53.通过上述技术方案，一方面，控制器可以根据获得的第一温度传感器37的温度信号来控制第一加热元件36是否启动加热功能，从而保持储液箱2内的清洗液在预设温度范围内。另一方面，当一个储液箱2内的加热液体将要排空或已经排空时，液位低于第一低液位检测器39的信号触发位置，第一低液位检测器39没有液位信号反馈给控制器，这时，控制器就可以控制相应的第一加热元件36暂停加热。显然，在储液箱2内设置有第一加热元件36和第一温度传感器37的情况下，第一冷分送管32可以为储液箱2提供冷液，然后利用储液箱2内的第一加热元件36和第一温度传感器37来将储液箱2内的清洗液加热至预设温度范围内而得到加热液体。
54.其中，可以按照以下控制策略控制清洗液处于预设温度范围内：当第一温度传感器37检测到储液箱2内的清洗液温度低于预设温度范围时，控制器控制相应第一加热元件36开启加热功能；当第一温度传感器37检测到液体温度位于预设温度范围内时，控制器控制第一加热元件36暂停加热。
55.并且，在为清洗槽1换液过程中，需换液清洗槽1所对应的储液箱2以及与其连通的其他储液箱2的液位持续下降，这可能导致这些储液箱2内的第一高液位检测器38无信号，进而触发控制器打开相应第一冷分送阀门41，向相应储液箱2提供冷清洗液，最终导致向清洗槽1提供的热清洗液低于预设温度范围。为了避免该情况的发生，在换液时，可以断开换液清洗槽1所对应的储液箱2内的第一高液位检测器38与控制器的电连接，从而避免在为清洗槽1换液过程中，向该储液箱2供给冷清洗液。至于其他储液箱2，可以通过控制器设置一个温度下限，在触发控制器打开相应第一冷分送阀门41而获得冷清洗液的补给时，利用第一温度传感器37监测储液箱2内液体温度，当低于该温度下限时，控制器控制第一冷分送阀门41关闭，阻止补充冷清洗液；此时，还可以开启第一加热元件36的加热功能。当高于该温度下限时，控制器控制第一冷分送阀门41打开，为这些储液箱2补充冷清洗液。或者，在换液时，可以断开所有储液箱2内的第一高液位检测器38与控制器的电连接，从而避免在为清洗槽1换液过程中，向任一储液箱2供给冷清洗液。此外，控制器可以具有逻辑运算软件、显示面板和操作台，通过逻辑运算软件实现接收信号、发出信号等控制功能，利用逻辑运算软件就可以屏蔽第一高液位检测器38与控制器之间的电连接。
56.另外，参考图2所示，第一加热元件36可以安装在第一低液位检测器39的下方，在第一低液位检测器39没有信号时，控制器立即关闭第一加热元件36的加热功能，避免出现液位低于第一加热元件36而导致第一加热元件36干烧的情况。
57.在一种可能的实施例中，参考图2所示，每个储液箱2底部可以连接有第一排空管35，第一排空管35上安装有第一排空阀门43。采用该技术方案，可以在出现异常情况时，排空储液箱2中的液体。其中，异常情况例如：需要清洗储液箱2时，或者，需要更换储液箱2中相应配件，例如第一加热元件36、第一高液位检测器38、第一低液位检测器39或第一温度传感器37时。该第一排空阀门43可以为电动或气动的自动阀门，与控制器电连接，或者可以为
手动阀门。在进行储液箱2的排空时，可以根据第一高液位检测器38和第一低液位检测器39的液位检测情况，预设充足的第一排空阀门43打开时间，以排空储液箱2中的液体。
58.在一种可能的实施例中，参考图2所示，每个储液箱2侧壁顶部可以连接有第一溢流管34，第一溢流管34进口的底部高于相应第一高液位检测器38的信号触发位置。采用该技术方案，可以在储液箱2中的液体过多而溢出时，通过第一溢流管34而流向相应收集容器中，避免溢出液体洒落在相关设备和地面上，污染设备和地面。例如，当储液箱2安装在清洗机的顶部时，若不设置第一溢流管34溢出的液体就可能洒落在清洗机上，污染甚至损坏清洗机。其中，液体溢出的原因有多种，例如，第一高液位检测器38失灵，导致控制器不能及时控制第一冷分送阀门41关闭；或者，第一冷分送阀门41失灵；或者，如上文的：当其中一个的第一高液位检测器38的信号触发位置较高时，就会出现一直为该储液箱2补液的情况，那么这些液体会流动至其他储液箱2中，造成其他储液箱2的液位较高甚至溢出的情况。
59.在一种示例中，第一溢流管34的出口可以连接在第一排空管35上，并位于第一排空阀门43的下游，这样，第一溢流管34和第一排空管35可以共用一个收集容器，可以减少收集容器的设置，还可以简化管道排布。
60.在一种可能的实现方式中，参考图3至图5所示，供液系统还包括第二高液位检测器56、第二排空管54、第二排空阀门46和供液阀门42，清洗机的每个清洗槽1均连接有一个第二排空管54，每个第二排空管54上安装有第二排空阀门46，每个供液管33上安装有供液阀门42；每个清洗槽1内均安装有第二高液位检测器56，第二高液位检测器56、第二排空阀门46和供液阀门42均与控制器电连接。当一个清洗槽1内的清洗液排空后，相应第二排空阀门46关闭，与清洗槽1对应的供液阀门42打开；当一个清洗槽1中的第二高液位检测器56发出高液位信号时，与清洗槽1对应的供液阀门42关闭。
61.采用该技术方案的情况下，在需要更换清洗液时，或需要更换第二高液位检测器56时，可以打开第二排空阀门46，排空清洗槽1中的清洗液。排空后，可以利用控制器关闭第二排空阀门46，打开相应供液阀门42，以便于储液箱2内的加热液体可以通过供液管33流入相应清洗槽1中。当一个清洗槽1中的第二高液位检测器56发出高液位信号时，利用控制器将与清洗槽1对应的供液阀门42关闭，停止为清洗槽1供液。
62.其中，在排空清洗液的过程中，可以根据一定容量的清洗液经过第二排空管54的自然流速计算排空所需时间，以在清洗槽1彻底排空后关闭第二排空阀门46，在一种示例中，以清洗槽1全部液体容量经过第二排空管54排空所需时间为预设时间，或者，以下文描述的第二低液位检测器57发出低液位信号转变为无信号时为时间起点开始计时，并预留一定的延长时间后，得到预设时间，以保证清洗槽1排空，计时完成后，控制器控制第二排空阀门46关闭，开启供液阀门42和热分送阀门44，以为清洗槽1供给加热液体。第二排空阀门46可以为手动阀门，或者，第二排空阀门46可以为与控制器电连接的电动或气动阀门，利用控制器控制第二排空阀门46的打开或关闭。
63.在一种可能的实施例中，参考图3所示，供液系统还可以包括设置在清洗槽1内的第二温度传感器58、第二加热元件59和第二低液位检测器57，第二温度传感器58、第二加热元件59和第二低液位检测器57均与控制器电连接；当一个清洗槽1中的第二低液位检测器57无信号时，或，当第二排空阀门46打开时，第二加热元件59暂停加热。采用该技术方案的情况下，在清洗硅片的过程中，可以根据第二温度传感器58反馈的温度，通过控制器启动第
二加热元件59加热清洗液或停止加热，以使清洗液始终保持在适宜清洗硅片的温度范围内。第二低液位检测器57用于监测清洗槽1中的液体含量，当无信号时，说明清洗液含量过少，无需第二加热元件59的加热功能。
64.另外，参考图3所示，第二加热元件59可以安装在第二低液位检测器57的下方，在第二低液位检测器57没有信号时，控制器立即关闭第二加热元件59的加热功能，避免出现液位低于第二加热元件59而导致第二加热元件59干烧的情况。
65.在一种示例中，第一加热元件36可以为电阻加热元件，第二加热元件59可以为电阻加热元件。
66.在一种示例中，供液系统还包括热分送管52，每个供液管33上并联多个热分送管52，以使得热分送管52和清洗槽1一一对应，每个热分送管52上可以安装有热分送阀门44。当某个清洗槽1需要补充或更换清洗液时，打开与该清洗槽1对应的供液阀门42和热分送阀门44，以使得加热液体流向清洗槽1中。当第二高液位检测器56发出高液位信号时，说明清洗槽1内的清洗液容量已满足要求，可以利用控制器关闭供液阀门42和/或热分送阀门44，以停止供给液体。
67.在一种可能的实施例中，参考图3所示，供液系统还包括第二溢流管55，第二溢流管55连接于清洗槽1侧壁的顶部，第二溢流管55进口的底部高于第二高液位检测器56的信号触发位置。采用该技术方案的情况下，在液体过多而溢出清洗槽1时，通过第二溢流管55而流向相应收集容器中，避免随意溢出而洒落在相关设备和地面上，污染设备和地面。其中，清洗液溢出的原因有多种，例如，第二高液位检测器56失灵导致控制器不能及时控制第二冷分送阀门45和/或热分送阀门44关闭，或者，第二冷分送阀门45和/或热分送阀门44失灵。
68.在一种可能的实施例中，第二溢流管55的出口与第二排空管54连通，且位于第二排空阀门46的下游。这样，第二溢流管55和第二排空管54可以共用一个收集容器，可以减少收集容器的设置，还可以简化管道排布。
69.由于现有清洗机具有多个清洗槽1，一个硅片依次经过多个清洗槽1的清洗后，该硅片的清洗工序才完成。因此，参考图4和图5所示，在一种可能的实施例中，供液系统还包括多个第二冷送液管51和多个第二冷分送管53，第二冷送液管51的数量与清洗机的数量相同，一个第二冷送液管51为一台清洗机提供冷液，一个第二冷送液管51上并联多个第二冷分送管53，该多个第二冷分送管53与一个清洗机的多个清洗槽1一一对应，每个第二冷分送管53上均可以安装有第二冷分送阀门45，以便于单独向指定的清洗槽1提供冷液。
70.采用该技术方案的情况下，可以根据清洗槽1的实际换液需求，有针对性的为换液清洗槽1供给冷液。需要向清洗槽1提供新的液体时，还可以利用控制器同时打开供液阀门42、热分送阀门44和第二冷分送阀门45，一边通过热分送管52向清洗槽1输送加热液体，一边通过第二冷分送管53向清洗槽1输送冷液，加热液体和冷液在清洗槽1中混合得到用于清洗硅片的温度适宜的清洗液。
71.这里需要注意的是，在使用清洗槽1进行硅片清洗的过程中，控制器需要屏蔽第二高液位检测器56的信号，也即，即使因为清洗硅片导致液位下降，使得第二高液位检测器56无信号，也不用向清洗槽1添加清洗液，待清洗后的清洗液质量不合格后，等待更换清洗液即可。在更换清洗液时，可以根据热清洗液的温度、冷清洗液的温度以及所需要获得的清洗
液温度，得到应该向清洗槽1提供多少容量的热清洗液和多少容量的冷清洗液，然后结合热清洗液的流速和冷清洗液的流速，通过控制器控制热分送阀门44的打开时间和第二冷分送阀门45的打开时间，从而获得适宜清洗硅片的温度适宜的清洗液。
72.基于上文描述，在使用本实用新型提供的供液系统时，在某一清洗槽1需要换液时，首先，可以通过控制器控制第二排空阀门46打开预设时间，排空清洗液后，再控制第二排空阀门46关闭。然后根据上文描述的清洗液温度控制策略，利用控制器控制该清洗槽1对应的供液阀门42、热分送阀门44和第二冷分送阀门45打开，使得热加热液体进入该清洗槽1中，与进入该清洗槽1中的冷液混合得到温度适宜的清洗液。然后，控制器接收到第二高液位检测器56发出的高液位信号后，利用控制器关闭相应的对应的供液阀门42、热分送阀门44和第二冷分送阀门45。至此，该清洗槽1换液完成。
73.在上述实施方式的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
74.以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。