冲流道机的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种冲流道机。


背景技术：

2.在半导体制备过程中，塑封好的产品是刚从模具中取出，冲流道机的流道的温度高，流道的内壁偏软，这时流道未能充分冷却，如果此时进行冲流道，易造成流道中杂质去除不完全，所以在冲流道前，需要将流道快速充份冷却。
3.目前，对流道进行冷却一般采用通入冷却气的方式，也就是在导向板向下压紧引线框架后，压缩的冷却气从中间的推杆进入流道、并向流道的两侧流动，实现对流道的冷却。
4.但是，冷却气在流道中会发散，不能完全到达流道的末端，对流道的冷却不充分，流道中会有残留，影响后续的切筋工序。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种冲流道机，其能够使冷却气到达流道的末端，对流道进行充分的冷却，流道中基本没有残留。
6.本实用新型的实施例是这样实现的：
7.本实用新型提供一种冲流道机，冲流道机包括：
8.下导向板，开设有第一凹槽，第一凹槽的底部开设有浇口；
9.上导向板，开设有第二凹槽，第二凹槽与第一凹槽的延伸形状相同，第二凹槽的底部开设有进气口，上导向板与下导向板连接，第一凹槽与第二凹槽组成流道，进气口用于通入冷却气，冷却气经过流道、并从浇口吹出；
10.其中，流道的延伸形状为弯折形。
11.在可选的实施方式中，流道包括多个u形段和多个竖直段，部分相邻两个u形段之间通过竖直段连通。
12.在可选的实施方式中，u形段的两端平行于下导向板的宽度方向，竖直段平行于下导向板的宽度方向。
13.在可选的实施方式中，流道还包括c形段和横向段，c形段的一端连接到一个u形段，c形段的另一端连接到横向段的一端，横向段的另一端连接到另一个u形段。
14.在可选的实施方式中，流道还包括口形段，口形段位于流道的中部位置。
15.在可选的实施方式中，流道关于下导向板的中心线呈对称形式，下导向板的中心线垂直于下导向板的长度方向。
16.在可选的实施方式中，进气口的数量至少为两个，进气口沿上导向板的长度方向间隔设置。
17.在可选的实施方式中，冲流道机还包括：
18.压板，通过导杆与下导向板和上导向板连接；
19.支撑板，通过连接柱与压板连接。
20.在可选的实施方式中，下导向板、上导向板、压板的数量均至少为两个，支撑板的数量为一个。
21.在可选的实施方式中，冲流道机还包括：
22.气接头，气接头的一端连接到进气口，气接头的另一端依次贯穿压板和支撑板，以连接外部气源。
23.本实用新型实施例提供的冲流道机的有益效果包括：
24.1.第一凹槽与第二凹槽组成流道，进气口位于第二凹槽长度方向上的中部位置，也就是说，进气口位于流道长度方向上的中部位置，这里的中部位置不是指严格意义上的中心或中点，而是指相对两侧的末端而言相对均中的位置，这样，进气口相对于流道两侧末端的距离较近，进气口通入的冷却气更容易到达流道两侧的末端，对流道进行充分的冷却，流道中基本没有残留；
25.2.流道的延伸形状为弯折形，使流道的延伸长度较大，流道通入冷却气后对下导向板和上导向板的冷却效果较好，流道上还开设有浇口，冷却气通过浇口对产品进行冷却，冷却效果更好。
附图说明
26.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
27.图1为本实用新型实施例提供的冲流道机的结构示意图；
28.图2为图1中下导向板和上导向板的结构示意图。
29.图标：100-冲流道机；110-下导向板；111-第一凹槽；112-浇口；120-上导向板；121-第二凹槽；122-进气口；130-流道；131-u形段；132-竖直段；133-c形段；134-横向段；135-口形段；140-压板；150-导杆；160-气接头；170-支撑板。
具体实施方式
30.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
31.因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
32.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
33.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖
直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
34.此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
35.在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
36.请参照图1，本实施例提供一种冲流道机100，冲流道机100包括下导向板110、上导向板120、压板140、导杆150、支撑板170和气接头160。
37.请参阅图1和图2，下导向板110开设有第一凹槽111，第一凹槽111的底部开设有浇口112。上导向板120开设有第二凹槽121，第二凹槽121与第一凹槽111的延伸形状相同，第二凹槽121的底部开设有进气口122，进气口122位于第二凹槽121长度方向上的中部位置，进气口122用于通入冷却气。
38.下导向板110和上导向板120通过螺栓连接，第一凹槽111与第二凹槽121组成流道130，螺栓可以使下导向板110与上导向板120连接紧密，形成密闭的流道130。第一凹槽111与第二凹槽121的截面可以是半圆形，流道130的延伸形状为弯折形。冷却气经过流道130、并从浇口112吹出。流道130的延伸形状为弯折形，使流道130的延伸长度较大，流道130通入冷却气后对下导向板110和上导向板120的冷却效果较好，流道130上还开设有浇口112，冷却气通过浇口112对产品进行冷却，冷却效果更好。
39.这里的进气口122位于第二凹槽121长度方向上的中部位置，也就是说，进气口122位于流道130长度方向上的中部位置，这里的中部位置不是指严格意义上的中心或中点，而是指相对两侧的末端而言相对均中的位置，这样，进气口122相对于流道130两侧末端的距离较近，进气口122通入的冷却气更容易到达流道130两侧的末端，对流道130进行充分的冷却，流道130中基本没有残留。
40.压板140通过导杆150与下导向板110和上导向板120连接，支撑板170通过连接柱(图1中未示出)与压板140连接。本实施例中，下导向板110、上导向板120、压板140的数量均为两个，支撑板170的数量为一个。这样，利用两个下导向板110和两个上导向板120形成流道130，可以避免单个流道130的长度过长，也就避免冷却气通过流道130后难以到达流道130的末端。利用一个压板140连接两个下导向板110和两个上导向板120，可以保证两个下导向板110和两个上导向板120同步移动，使两个下导向板110对产品的压力均匀。
41.气接头160的一端连接到进气口122，气接头160的另一端依次贯穿压板140和支撑板170，以连接外部气源。支撑板170用于连接压力机。
42.请参阅图2，流道130包括u形段131、竖直段132、c形段133、横向段134和口形段
135，具体的，部分相邻两个u形段131之间通过竖直段132连通。u形段131的两端平行于下导向板110的宽度方向，竖直段132平行于下导向板110的宽度方向。c形段133的一端连接到一个u形段131，c形段133的另一端连接到横向段134的一端，横向段134的另一端连接到另一个u形段131。口形段135位于流道130的中部位置。
43.这样，流道130的延伸长度较大，且充分布满下导向板110和上导向板120的板面，不仅能够对下导向板110和上导向板120进行快速、充分地冷却，还能够对下导向板110的产品进行全面、快速地冷却。
44.进气口122的数量为两个，两个进气口122沿上导向板120的长度方向间隔设置。这样，利用两个间隔设置的进气口122对流道130注气，有利于冷却气在流道130内充分填满，并使冷却气能够到达流道130的末端。
45.优选地，流道130关于下导向板110的中心线呈对称形式，下导向板110的中心线垂直于下导向板110的长度方向。这样，冷却气从进气口122进入流道130后，冷却气左右受到的阻力相等，有利于冷却气向进气口122的两侧均匀地进入流道130内，使流道130两侧的末端都能够填满冷却气。
46.流道130的延伸形状不仅可以采用图2所示的形状，还可以采用其它形状，例如s形、m形、y形等，还可以是各自形状的组合或者非规则形状，流道130的延伸形状还可以根据产品的外形设计，以实现对产品全面冷却的效果。
47.进气口122的数量也可以不止两个，可以根据流道130的长度设计更多数量的进气口122，以保证流道130内的冷却气足量，更有利于冷却气充满整个流道130。
48.在其它实施例中，如果产品的外形尺寸较大，还可以将下导向板110的数量设计成四个或六个，避免单个流道130的长度过长；如果产品的外形尺寸较小，也可以将下导向板110的数量设计为一个，不仅节约成本，而且也能满足对产品冷却的需求。
49.浇口112的数量和间距可以根据产品的冷却需求确定，如果产品需求的冷却效率高，可以将浇口112的数量设计较多、且间距较小；如果产品需求的冷却效率不高，可以将浇口112的数量设计较小、且间距较大。
50.浇口112的口径可以与流道130的口径按照预设比例设计，例如，浇口112的口径可以是流道130的口径的四分之一至二分之一，以保证浇口112排出冷却气的速率相对于冷却气在流道130内流动的速率不至于过高，保证流道130内有足量的冷却气流动，使流道130的末端也能有冷却气到达。
51.本实施例提供的冲流道机100的工作原理：
52.首先，支撑板170连接到压力机上，产品置于下导向板110的下方，气接头160连接到外部气源；
53.然后，压力机带动冲流道机100整体下移，直到下导向板110压紧产品；
54.最后，外部气源通过气接头160向流道130内注入冷却气，冷却气沿着流道130流动，实现对下导向板110和上导向板120的冷却，并通过浇口112对产品进行冷却。
55.本实施例提供的冲流道机100的有益效果包括：
56.1.设置有两个进气口122，并且进气口122位于第二凹槽121长度方向上的中部位置，也就是说，进气口122位于流道130长度方向上的中部位置，这里的中部位置不是指严格意义上的中心或中点，而是指相对两侧的末端而言相对均中的位置，这样，进气口122相对
于流道130两侧末端的距离较近，进气口122通入的冷却气更容易到达流道130两侧的末端，对流道130进行充分的冷却，流道130中基本没有残留；
57.2.流道130的延伸形状为弯折形，使流道130的延伸长度较大，流道130通入冷却气后对下导向板110和上导向板120的冷却效果较好，流道130上还开设有浇口112，冷却气通过浇口112对产品进行冷却，冷却效果更好；
58.3.流道130关于下导向板110的中心线呈对称形式，这样，冷却气从进气口122进入流道130后，冷却气左右受到的阻力相等，有利于冷却气向进气口122的两侧均匀地进入流道130内，使流道130两侧的末端都能够填满冷却气；
59.4.一个支撑板170连接两个下导向板110和两个上导向板120，可以避免单个流道130的长度过长，也就避免冷却气通过流道130后难以到达流道130的末端，也可以保证两个下导向板110和两个上导向板120同步移动，使两个下导向板110对产品的压力均匀。
60.以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：
1.一种冲流道机，其特征在于，所述冲流道机包括：下导向板(110)，开设有第一凹槽(111)，所述第一凹槽(111)的底部开设有浇口(112)；上导向板(120)，开设有第二凹槽(121)，所述第二凹槽(121)与所述第一凹槽(111)的延伸形状相同，所述第二凹槽(121)的底部开设有进气口(122)，所述进气口(122)位于所述第二凹槽(121)长度方向上的中部位置，所述上导向板(120)与所述下导向板(110)连接，所述第一凹槽(111)与所述第二凹槽(121)组成流道(130)，所述进气口(122)用于通入冷却气，所述冷却气经过所述流道(130)、并从所述浇口(112)吹出；其中，所述流道(130)的延伸形状为弯折形。2.根据权利要求1所述的冲流道机，其特征在于，所述流道(130)包括多个u形段(131)和多个竖直段(132)，部分相邻两个u形段(131)之间通过所述竖直段(132)连通。3.根据权利要求2所述的冲流道机，其特征在于，所述u形段(131)的两端平行于所述下导向板(110)的宽度方向，所述竖直段(132)平行于所述下导向板(110)的宽度方向。4.根据权利要求2所述的冲流道机，其特征在于，所述流道(130)还包括c形段(133)和横向段(134)，所述c形段(133)的一端连接到一个所述u形段(131)，所述c形段(133)的另一端连接到所述横向段(134)的一端，所述横向段(134)的另一端连接到另一个所述u形段(131)。5.根据权利要求1所述的冲流道机，其特征在于，所述流道(130)还包括口形段(135)，所述口形段(135)位于所述流道(130)的中部位置。6.根据权利要求1所述的冲流道机，其特征在于，所述流道(130)关于所述下导向板(110)的中心线呈对称形式，所述下导向板(110)的中心线垂直于所述下导向板(110)的长度方向。7.根据权利要求1所述的冲流道机，其特征在于，所述进气口(122)的数量至少为两个，所述进气口(122)沿所述上导向板(120)的长度方向间隔设置。8.根据权利要求1所述的冲流道机，其特征在于，所述冲流道机还包括：压板(140)，通过导杆(150)与所述下导向板(110)和所述上导向板(120)连接；支撑板(170)，通过连接柱与所述压板(140)连接。9.根据权利要求8所述的冲流道机，其特征在于，所述下导向板(110)、所述上导向板(120)、所述压板(140)的数量均至少为两个，所述支撑板(170)的数量为一个。10.根据权利要求8所述的冲流道机，其特征在于，所述冲流道机还包括：气接头(160)，所述气接头(160)的一端连接到所述进气口(122)，所述气接头(160)的另一端依次贯穿所述压板(140)和所述支撑板(170)，以连接外部气源。

技术总结
本实用新型实施例提供一种冲流道机，涉及半导体技术领域。冲流道机包括下导向板和上导向板，下导向板开设有第一凹槽，第一凹槽的底部开设有浇口，上导向板开设有第二凹槽，第二凹槽与第一凹槽的延伸形状相同，第二凹槽的底部开设有进气口，上导向板与下导向板连接，第一凹槽与第二凹槽组成流道，进气口用于通入冷却气，冷却气经过流道、并从浇口吹出，这样，进气口相对于流道两侧末端的距离较近，进气口通入的冷却气更容易到达流道两侧的末端，对流道进行充分的冷却，流道中基本没有残留。流道的延伸形状为弯折形，使流道的延伸长度较大，对下导向板和上导向板的冷却效果较好，冷却气通过浇口对产品进行冷却，冷却效果更好。冷却效果更好。冷却效果更好。


技术研发人员：方唐利 黄明玖 郑天勤 胡火根 徐超 陈海涛
受保护的技术使用者：安徽耐科装备科技股份有限公司
技术研发日：2021.10.15
技术公布日：2022/3/8