一种等离子体反应腔内气体匀流装置的制作方法

1.本实用新型涉及等离子反应腔技术领域，具体为一种等离子体反应腔内气体匀流装置。


背景技术：

2.等离子体是不同于固体、液体和气体的物质第四态。物质由分子构成，分子由原子构成，原子由带正电的原子核和围绕它的、带负电的电子构成，当被加热到足够高的温度或其他原因，外层电子摆脱原子核的束缚成为自由电子。
3.等离子在反应时需要将气体匀速送入反应腔的内部，反应完成后送出，这样可以使等离子反应充分，但是在现有的装置中大多都是以一定流速控制气体，且只能使气体在反应腔内进出，而不能使气体在内部匀速流动，导致等离子反应不能产生很好的效果。
4.因此需要一种等离子体反应腔内气体匀流装置对上述问题做出改善。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种等离子体反应腔内气体匀流装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
7.一种等离子体反应腔内气体匀流装置，包括反应腔外壳，所述反应腔外壳的内侧设置有螺旋导流槽，所述螺旋导流槽设置有若干个，所述反应腔外壳的底端中间固定连接有密封轴，所述密封轴的内部固定连接有等离子反应室，所述等离子反应室的外侧固定连接有弧形片，所述等离子反应室外侧靠近弧形片设置有导流口，所述等离子反应室的内部设置有等离子反应内腔，所述反应腔外壳的下方设置有固定支撑板，所述固定支撑板的顶端固定连接有电机罩，所述电机罩的内部设置有动力机构。
8.作为本实用新型优选的方案，所述动力机构包括电机、主动锥齿轮、转动锥齿轮和联动杆，所述电机的驱动端固定连接有主动锥齿轮，所述主动锥齿轮的外侧啮合连接有转动锥齿轮，所述转动锥齿轮的中间固定连接有联动杆。
9.作为本实用新型优选的方案，所述电机固定连接于电机罩的内部底端，所述联动杆转动连接于固定支撑板的顶端，所述联动杆固定连接于等离子反应室的底端。
10.作为本实用新型优选的方案，所述反应腔外壳和等离子反应室之间设置有进气室，所述反应腔外壳的底端开设有贯穿孔，所述贯穿孔设置有若干个，所述贯穿孔的内侧均固定连接有进气分流管，所述进气分流管均穿过固定支撑板。
11.作为本实用新型优选的方案，所述反应腔外壳的顶端固定连接有上顶盖，所述等离子反应室转动连接于上顶盖的底端，所述上顶盖的顶端开设有若干个圆孔，所述圆孔的内侧均固定连接有出气管。
12.作为本实用新型优选的方案，所述弧形片和导流口均设置有若干个，所述弧形片为弧形。
13.作为本实用新型优选的方案，所述进气分流管与固定支撑板固定连接，所述进气分流管的底端均固定连接有进气管。
14.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
15.1、本实用新型中，通过在电机罩内部设置的动力机构，启动动力机构中的电机，电机带动驱动端固定连接的主动锥齿轮开始旋转，主动锥齿轮带动外侧啮合连接的转动锥齿轮开始旋转，转动锥齿轮带动中间固定连接的联动杆开始转动，联动杆固定连接于等离子反应室的底端，等离子反应室也随之开始转动，通过控制电机的转速来对气流的速度达到控制效果，且等离子反应室的外侧设置有若干个弧形片，可以使进气室中的气流向某个指定方向匀速流动，使气体流速逐渐稳定，这样可以达到控制气体流速的效果，且方便调节速度；
16.2、本实用新型中，通过在反应腔外壳内部设置的螺旋导流槽，螺旋导流槽设置有若干个，且螺旋导流槽为螺旋形状的凹槽，这样可以使气体通过若干个螺旋导流槽进行旋转，使气体稳定在进气室的上下区域，当动力机构运行时，气体可以通过等离子反应室的旋转开始流动，在等离子反应室的外侧靠近弧形片的位置开设有若干个导流口，旋转流动的气体通过导流口进入等离子反应内腔开始进行反应。
附图说明
17.图1为本实用新型的立体结构示意图；
18.图2为本实用新型中上顶盖的立体结构示意图；
19.图3为本实用新型中反应腔外壳和上顶盖的组合立体结构示意图；
20.图4为本实用新型中电机罩的内部立体结构示意图。
21.图中：反应腔外壳1、上顶盖2、出气管3、进气分流管4、固定支撑板5、进气管6、电机罩7、等离子反应室8、弧形片9、密封轴10、导流口11、等离子反应内腔12、螺旋导流槽13、进气室14、电机15、主动锥齿轮16、转动锥齿轮17、联动杆18。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例,基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.为了便于理解本实用新型，下面将参照相关对本实用新型进行更全面的描述。给出了本实用新型的若干实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。
24.需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
25.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领
域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
26.请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：
27.实施例，请参照图1、2、3和4，一种等离子体反应腔内气体匀流装置，包括反应腔外壳1，反应腔外壳1的内侧设置有螺旋导流槽13，螺旋导流槽13设置有若干个，反应腔外壳1的底端中间固定连接有密封轴10，密封轴10的内部固定连接有等离子反应室8，等离子反应室8的外侧固定连接有弧形片9，等离子反应室8外侧靠近弧形片9设置有导流口11，等离子反应室8的内部设置有等离子反应内腔12，反应腔外壳1的下方设置有固定支撑板5，固定支撑板5的顶端固定连接有电机罩7，电机罩7的内部设置有动力机构。
28.实施例，请参照图4，动力机构包括电机15、主动锥齿轮16、转动锥齿轮17和联动杆18，电机15的驱动端固定连接有主动锥齿轮16，主动锥齿轮16的外侧啮合连接有转动锥齿轮17，转动锥齿轮17的中间固定连接有联动杆18，通过动力机构可以使内部气体开始转动。
29.实施例，请参照图1，电机15固定连接于电机罩7的内部底端，联动杆18转动连接于固定支撑板5的顶端，联动杆18固定连接于等离子反应室8的底端。
30.实施例，请参照图3，反应腔外壳1和等离子反应室8之间设置有进气室14，反应腔外壳1的底端开设有贯穿孔，贯穿孔设置有若干个，贯穿孔的内侧均固定连接有进气分流管4，进气分流管4均穿过固定支撑板5。
31.实施例，请参照图1，反应腔外壳1的顶端固定连接有上顶盖2，等离子反应室8转动连接于上顶盖2的底端，上顶盖2的顶端开设有若干个圆孔，圆孔的内侧均固定连接有出气管3。
32.实施例，请参照图3，弧形片9和导流口11均设置有若干个，弧形片9为弧形，弧形的弧形片9可以与螺旋导流槽13配合带动气体匀速流动进入等离子反应室8的内部。
33.实施例，请参照图1，进气分流管4与固定支撑板5固定连接，进气分流管4的底端均固定连接有进气管6，气体通过进气管6均匀进入各个进气分流管4的内部，再通过进气分流管4进入反应腔外壳1的内部。
34.工作原理：使用时，将气体从进气管6放入，气体通过各个进气分流管4开始进入反应腔外壳1，在反应腔外壳1的内部中间固定连接有密封轴10，在密封轴10的内侧转动连接有等离子反应室8，在等离子反应室8的外侧和反应腔外壳1的内部之间有进气室14，气体进入进气室14，通过在电机罩7内部设置的动力机构，电机罩7固定连接于固定支撑板5的顶端，启动动力机构中的电机15，电机15带动驱动端固定连接的主动锥齿轮16开始旋转，主动锥齿轮16带动外侧啮合连接的转动锥齿轮17开始旋转，转动锥齿轮17带动中间固定连接的联动杆18开始转动，联动杆18固定连接于等离子反应室8的底端，等离子反应室8也随之开始转动，通过控制电机15的转速来对气流的速度达到控制效果，且等离子反应室8的外侧设置有若干个弧形片9，可以使进气室14中的气流向某个指定方向匀速流动，再通过反应腔外壳1内部设置的螺旋导流槽13，螺旋导流槽13设置有若干个，且螺旋导流槽13为螺旋形状的凹槽，这样可以使气体通过若干个螺旋导流槽13进行旋转，使气体稳定在进气室14的上下区域，当动力机构运行时，气体可以通过等离子反应室8的旋转开始流动，在等离子反应室8的外侧靠近弧形片9的位置开设有若干个导流口11，旋转流动的气体通过导流口11进入等
离子反应内腔12开始进行反应，且等离子反应室8的顶端转动连接于上顶盖2的底端，而反应腔外壳1的顶端固定连接于上顶盖2的底端，再上顶盖2的顶端设置有若干个出气管3，当所有反应完成后，气体将从出气管3流出下一道工序中，使气体流速逐渐稳定，这样可以达到控制气体流速的效果，且方便调节气体速度，也达到了使气体匀速流动的效果。
35.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：
1.一种等离子体反应腔内气体匀流装置，包括反应腔外壳(1)，其特征在于：所述反应腔外壳(1)的内侧设置有螺旋导流槽(13)，所述螺旋导流槽(13)设置有若干个，所述反应腔外壳(1)的底端中间固定连接有密封轴(10)，所述密封轴(10)的内部固定连接有等离子反应室(8)，所述等离子反应室(8)的外侧固定连接有弧形片(9)，所述等离子反应室(8)外侧靠近弧形片(9)设置有导流口(11)，所述等离子反应室(8)的内部设置有等离子反应内腔(12)，所述反应腔外壳(1)的下方设置有固定支撑板(5)，所述固定支撑板(5)的顶端固定连接有电机罩(7)，所述电机罩(7)的内部设置有动力机构。2.根据权利要求1所述的一种等离子体反应腔内气体匀流装置，其特征在于：所述动力机构包括电机(15)、主动锥齿轮(16)、转动锥齿轮(17)和联动杆(18)，所述电机(15)的驱动端固定连接有主动锥齿轮(16)，所述主动锥齿轮(16)的外侧啮合连接有转动锥齿轮(17)，所述转动锥齿轮(17)的中间固定连接有联动杆(18)。3.根据权利要求2所述的一种等离子体反应腔内气体匀流装置，其特征在于：所述电机(15)固定连接于电机罩(7)的内部底端，所述联动杆(18)转动连接于固定支撑板(5)的顶端，所述联动杆(18)固定连接于等离子反应室(8)的底端。4.根据权利要求1所述的一种等离子体反应腔内气体匀流装置，其特征在于：所述反应腔外壳(1)和等离子反应室(8)之间设置有进气室(14)，所述反应腔外壳(1)的底端开设有贯穿孔，所述贯穿孔设置有若干个，所述贯穿孔的内侧均固定连接有进气分流管(4)，所述进气分流管(4)均穿过固定支撑板(5)。5.根据权利要求1所述的一种等离子体反应腔内气体匀流装置，其特征在于：所述反应腔外壳(1)的顶端固定连接有上顶盖(2)，所述等离子反应室(8)转动连接于上顶盖(2)的底端，所述上顶盖(2)的顶端开设有若干个圆孔，所述圆孔的内侧均固定连接有出气管(3)。6.根据权利要求1所述的一种等离子体反应腔内气体匀流装置，其特征在于：所述弧形片(9)和导流口(11)均设置有若干个，所述弧形片(9)为弧形。7.根据权利要求4所述的一种等离子体反应腔内气体匀流装置，其特征在于：所述进气分流管(4)与固定支撑板(5)固定连接，所述进气分流管(4)的底端均固定连接有进气管(6)。

技术总结
本实用新型涉及等离子反应腔技术领域，尤其为一种等离子体反应腔内气体匀流装置，通过在电机罩内部设置的动力机构，启动动力机构中的电机，电机带动驱动端固定连接的主动锥齿轮开始旋转，主动锥齿轮带动外侧啮合连接的转动锥齿轮开始旋转，转动锥齿轮带动中间固定连接的联动杆开始转动，联动杆固定连接于等离子反应室的底端，等离子反应室也随之开始转动，通过控制电机的转速来对气流的速度达到控制效果，且等离子反应室的外侧设置有若干个弧形片，可以使进气室中的气流向某个指定方向匀速流动，使气体流速逐渐稳定，这样可以达到控制气体流速的效果，且方便调节速度。且方便调节速度。且方便调节速度。


技术研发人员：李冰妍
受保护的技术使用者：富时精工（南京）有限公司
技术研发日：2021.09.07
技术公布日：2022/3/8