一种温度补偿型声表面波滤波器装置的制作方法

本申请涉及滤波器，尤其涉及一种温度补偿型声表面波滤波器装置。

背景技术：

1、在声表面滤波器装置中，通常会采用调整插指电极的宽度或者厚度等手段，来修改滤波器的频率、带宽及损耗。在这些常规方法中，很难选择合适的电极，使滤波器的带宽和损耗同时达到最佳，并提高矩形度和带外抑制。

2、因此，亟需一种在抑制横向寄生模的同时还能够实现滤波器高矩形度、高带外抑制以及通带低损耗的温度补偿型声表面波滤波器装置。

技术实现思路

1、本申请提供一种温度补偿型声表面波滤波器装置，用以解决有效抑制横向寄生模与高带外抑制无法兼得的问题。

2、本申请提供一种温度补偿型声表面波滤波器装置，包括至少一个串联臂谐振器和至少一个并联臂谐振器；

3、所述串联臂谐振器和所述并联臂谐振器均具有多个长指电极、两个汇流条和两个负载结构；

4、所述汇流条包括沿第一方向x相对设置的第一汇流条与第二汇流条；

5、所述多个长指电极包括沿第二方向y交叉设置的多个第一长指电极与多个第二长指电极，所述第一长指电极与所述第二长指电极均沿所述第二方向y延伸，沿所述第一方向x排布；所述第一长指电极具有第一端部和第二端部，所述第一端部与所述第一汇流条连接；所述第二长指电极具有第三端部和第四端部，所述第三端部与所述第二汇流条连接；

6、所述负载结构包括第一负载结构与第二负载结构，所述第一负载结构的覆盖范围至少包括有效孔径区靠近所述第一汇流条的一侧，所述第二负载结构的覆盖范围至少包括有效孔径区靠近所述第二汇流条的一侧；

7、沿所述第一方向x，任意两个相邻的所述长指电极的中轴线之间的距离为第一距离p，所述第一距离p为0.5倍的声表面波波长λ；沿所述第二方向y，所述第一负载结构的最大尺寸为第一长度m，所述第二负载结构的最大尺寸为第二长度n，其中，p≤m≤3p，p≤n≤3p；

8、所述第一方向x与所述第二方向y相交。

9、优选地，所述第一负载结构与所述第二负载结构在所述有效孔径区的正投影至少包括一个矩形，所述矩形的长与所述汇流条沿所述第一方向x的长度相等。可以理解的是，所述第一负载结构与所述第二负载结构在所述有效孔径区的正投影可以为多个长与所述汇流条沿所述第一方向x的长度相等的矩形，也可以除了有长与所述汇流条沿所述第一方向x的长度相等的矩形以外，还有其它的变形，如增加寄生矩形，本发明实施例对所述第一负载结构和所述第二负载结构的形状和数量不进行具体限定。

10、优选地，所述有效孔径区的孔径长度为第一孔径l，所述第一孔径l与所述第一距离p的关系为：16p≤l≤60p。

11、优选地，所述第一长度m、所述第二长度n与所述第一孔径l之间的关系为：0.25l≤m+n≤0.4l。

12、优选地，所述长指电极沿所述第一方向x的宽度为第一宽度k，所述第一宽度k与所述第一距离p的关系为：0.3≤k/p≤0.8。

13、优选地，沿所述第二方向y，所述长指电极延伸的长度为第三长度j，所述第三长度j与所述第一孔径l的差值为第一差值m，所述第一差值m与所述第一距离p的关系为：0.8p≤m≤3p。

14、优选地，所述串联臂谐振器和所述并联臂谐振器还包括：反射栅区，沿所述第一方向x，所述反射栅区至少位于所述长指电极的一侧；

15、所述反射栅区包括多个反射栅，所述反射栅沿所述第二方向y延伸，多个所述反射栅沿所述第一方向x排列。

16、优选地，至少部分所述负载结构在所述衬底上的正投影与所述反射栅区在所述衬底上的正投影交叠，即，沿所述第一方向x，所述第一负载结构与所述第二负载结构均可延伸至所述反射栅区。

17、优选地，沿所述第一方向x，所述负载结构的端部与所述反射栅区的边界对齐，即，所述第一负载结构与所述第二负载结构均可延伸至所述反射栅区的边界。

18、本发明实施例提供的温度补偿型声表面波滤波器装置，包括至少一个串联臂谐振器和至少一个并联臂谐振器；串联臂谐振器和并联臂谐振器均具有多个长指电极、两个汇流条和两个负载结构；汇流条包括沿第一方向相对设置的第一汇流条与第二汇流条；多个长指电极包括沿第二方向交叉设置的多个第一长指电极与多个第二长指电极，第一长指电极与第二长指电极均沿第二方向延伸，沿第一方向排布；负载结构包括第一负载结构与第二负载结构，第一负载结构的覆盖范围至少包括有效孔径区靠近第一汇流条的一侧，第二负载结构的覆盖范围至少包括有效孔径区靠近第二汇流条的一侧。本发明通过设置第一负载结构和第二负载结构，使其与长指电极耦合，能够在抑制横向寄生模的同时，减小谐振器的带宽，增加滤波器带外零点，实现滤波器的高矩形度和高带外抑制，并实现通带低损耗。

技术特征：

1.一种温度补偿型声表面波滤波器装置，其特征在于，包括至少一个串联臂谐振器和至少一个并联臂谐振器；

2.根据权利要求1所述的温度补偿型声表面波滤波器装置，其特征在于，所述第一负载结构与所述第二负载结构在所述有效孔径区的正投影至少包括一个矩形，所述矩形的长与所述汇流条沿所述第一方向x的长度相等。

3.根据权利要求1所述的温度补偿型声表面波滤波器装置，其特征在于，所述有效孔径区的孔径长度为第一孔径l，所述第一孔径l与所述第一距离p的关系为：16p≤l≤60p。

4.根据权利要求3所述的温度补偿型声表面波滤波器装置，其特征在于，所述第一长度m、所述第二长度n与所述第一孔径l之间的关系为：0.25l≤m+n≤0.4l。

5.根据权利要求1所述的温度补偿型声表面波滤波器装置，其特征在于，所述长指电极沿所述第一方向x的宽度为第一宽度k，所述第一宽度k与所述第一距离p的关系为：0.3≤k/p≤0.8。

6.根据权利要求1所述的温度补偿型声表面波滤波器装置，其特征在于，沿所述第二方向y，所述长指电极延伸的长度为第三长度j，所述第三长度j与所述第一孔径l的差值为第一差值m，所述第一差值m与所述第一距离p的关系为：0.8p≤m≤3p。

7.根据权利要求1所述的温度补偿型声表面波滤波器装置，其特征在于，所述串联臂谐振器和所述并联臂谐振器还包括：反射栅区，沿所述第一方向x，所述反射栅区至少位于所述长指电极的一侧；

8.根据权利要求7所述的温度补偿型声表面波滤波器装置，其特征在于，至少部分所述负载结构在所述衬底上的正投影与所述反射栅区在所述衬底上的正投影交叠。

9.根据权利要求8所述的温度补偿型声表面波滤波器装置，其特征在于，沿所述第一方向x，所述负载结构的端部与所述反射栅区的边界对齐。

技术总结
本申请提供一种温度补偿型声表面波滤波器装置，包括至少一个串联臂谐振器和至少一个并联臂谐振器；串联臂谐振器和并联臂谐振器均具有多个长指电极、两个汇流条和两个负载结构；汇流条包括沿第一方向相对设置的第一汇流条与第二汇流条；多个长指电极包括多个第一长指电极与多个第二长指电极，第一长指电极与第二长指电极均沿第二方向延伸，沿第一方向排布；负载结构包括第一负载结构与第二负载结构，第一负载结构的覆盖范围至少包括有效孔径区靠近第一汇流条的一侧，第二负载结构的覆盖范围至少包括有效孔径区靠近第二汇流条的一侧。本发明能够在抑制横向寄生模的同时，使其与长指电极耦合，实现滤波器的高矩形度和高带外抑制，并实现通带低损耗。

技术研发人员：张琪,高海婷
受保护的技术使用者：苏州新声科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/12/5