一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法与流程

本发明涉及镀膜领域，更具体地说，它涉及一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法。

背景技术：

1、贵金属靶材有多种，常见有金、银、铂、钯、铑，其薄膜性能通常较为单一。

2、为了追求卓越的薄膜综合性能，贵金属合金靶材应运而生。贵金属靶材的制作难点，除了控制质量规格外，还有一个重要点就是低损耗的控制。晶粒大小是靶材的一个核心指标，镀膜时往往细小均匀的晶粒能够获得良好的薄膜。而控制晶粒常用的方法就是形变与退火工艺。由于贵金属合金靶材没有单质贵金属的较强的抗氧化能力，在退火过程中会出现氧化，甚至掉皮现象，这些氧化皮难以收集且提纯成本较高。

3、因此需要提出一种新的方案来解决这个问题。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，可以有效解决损耗问题且同时可满足晶粒要求。

2、本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，包括以下步骤：

3、s1：准备贵金属合金材料；

4、s2：将s1所述的贵金属合金材料放置于金属腔室，锁固密封；

5、s3：将s2所述的腔室进行抽真空；

6、s4：将s3所述的腔室通入高纯氢气；

7、s5：将s4所述的腔室进行升温加热并保温；

8、s6：将s5所述的腔室进行降温；

9、s7：将s6所述的腔室进行拆开，取出贵金属合金材料。

10、本发明进一步设置为：所述贵金属合金材料包括主成分贵金属，所述贵金属包括金、银、铂、钯、铑。

11、本发明进一步设置为：所述贵金属合金材料还包括主成分非贵金属，所述非贵金属包括铜、铝、镍、铁、锆。

12、本发明进一步设置为：在s3中，抽真空的真空度<0.01pa。

13、本发明进一步设置为：在s4中，氢气纯度>99.999％。

14、本发明进一步设置为：在s5中，升温速率>500℃/h。

15、本发明进一步设置为：在s5中，保温时间30～200min。

16、本发明进一步设置为：在s6中，降温速率>100℃/h。

17、综上所述，本发明具有以下有益效果：降低甚至消除贵金属合金材料在退火过程中会出现的氧化皮，从而降低贵金属合金材料的制作成本。

技术特征：

1.一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，其特征在于：所述贵金属合金材料包括主成分贵金属，所述贵金属包括金、银、铂、钯、铑。

3.根据权利要求1或2所述的一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，其特征在于：所述贵金属合金材料还包括主成分非贵金属，所述非贵金属包括铜、铝、镍、铁、锆。

4.根据权利要求1所述的一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，其特征在于：在s3中，抽真空的真空度<0.01pa。

5.根据权利要求1所述的一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，其特征在于：在s4中，氢气纯度>99.999％。

6.根据权利要求1所述的一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，其特征在于：在s5中，升温速率>500℃/h。

7.根据权利要求1或6所述的一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，其特征在于：在s5中，保温时间30～200min。

8.根据权利要求1所述的一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，其特征在于：在s6中，降温速率>100℃/h。

技术总结
本发明公开了一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，涉及镀膜领域，旨在解决贵金属合金材料退火时损耗较高的问题，其技术方案要点是：一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，包括以下步骤：S1：准备贵金属合金材料；S2：将S1所述的贵金属合金材料放置于金属腔室，锁固密封；S3：将S2所述的腔室进行抽真空；S4：将S3所述的腔室通入高纯氢气；S5：将S4所述的腔室进行升温加热并保温；S6：将S5所述的腔室进行降温；S7：将S6所述的腔室进行拆开，取出贵金属合金材料。本发明的一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法损耗低且满足晶粒要求。

技术研发人员：张剑
受保护的技术使用者：基迈克材料科技（苏州）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/12/5