本发明涉及输送装置,更详细而言,涉及能够将fpd(平板显示器)用玻璃基板等薄板状的工件直线状地输送的输送装置。
背景技术:
1、作为这种输送装置中的在清洁度高的环境下使用的装置,例如有专利文献1所示的装置。该输送装置构成为,利用设置于支承基座的线性引导机构的支承使得手保持构件能够沿着水平直线方向移动,利用连杆臂机构对手保持构件进行进退驱动。支承基座通常能够进行升降以及回旋。
2、即,如图7示意性所示,上述连杆臂机构a具备以驱动轴b为中心转动的驱动臂c和基端与该驱动臂c的前端联动的从动臂d,在从动臂d的前端连结有被线性引导机构e支承的手保持构件f。手保持构件f能够相对于从动臂d绕支点g相对旋转。线性引导机构e具备水平直线状延伸的导轨h和以能够沿着该导轨h移动地组合的引导块j,引导块j固定于手保持构件f。在手保持构件f例如保持有叉状的手体k。
3、通过转动驱动驱动臂c,手保持构件f在图中实线所示的最后退位置与假想线所示的最前进位置之间直线移动。
4、然而,近年来,随着板状工件的大型化和伴随于此的处理腔室的大型化,要求手体k的伸展长度的变大变长。作为为此的对策,考虑使上述连杆臂机构a的大型化,即,使驱动臂c和从动臂d变大变长而延长手保持构件f的移动行程,但这样,由于该连杆臂机构a的肘部分向左右较大地突出,所以不得不使将输送装置输送至顾客现场时使用的木框包装大型化。但是,由于存在道路交通法等法律面的限制、能够装载于船舶、飞机的集装箱的大小的限制的问题,因此难以采用该对策。此外,使驱动臂c和从动臂d变大变长导致设置输送装置的腔室的大型化、腔室的强度不足,因此不优选。
5、在先技术文献
6、专利文献
7、专利文献1:日本特开2008-264923号公报
技术实现思路
1、本发明是基于上述的情况而想出的,其课题在于提供一种不导致宽度尺寸的扩大就能够延长手保持构件的伸展长度的输送装置。
2、为了解决上述课题,在本发明中,采用了以下的技术手段。
3、即,本发明提供的输送装置的特征在于,具备:支承基座;线性引导机构,设置在上述支承基座上,由导轨以及与该导轨组合的引导块构成;连杆臂机构,包括以驱动轴为中心转动驱动的驱动臂以及基端与该驱动臂的前端联动的从动臂;以及手保持构件,与上述从动臂的前端连结,并且通过上述线性引导机构的支承实现直线移动,上述手保持构件具有:第一部分,与上述从动臂的前端连结;以及第二部分,位于比该第一部分更靠该手保持构件的移动方向前方的位置。
4、在优选的实施方式中,在上述第一部分与上述第二部分之间,设置有吸收弯曲应力和/或扭转应力的应力吸收单元。
5、在优选的实施方式中,上述第一部分和上述第二部分经由连结构件连结。
6、在优选的实施方式中,上述应力吸收单元通过使上述连结构件能够弹性挠曲变形来形成。
7、在优选的实施方式中,上述应力吸收单元通过在上述连结构件与上述第一部分之间和/或上述连结构件与上述第二部分之间,设置相对于一方的轴线而另一方的轴线能够无方向地倾动的关节来形成。
8、在优选的实施方式中,上述应力吸收单元通过在上述连结构件的中间部设置相对于一方的轴线而另一方的轴线能够无方向地倾动的关节来形成。
9、-发明效果-
10、在上述结构的输送装置中,手保持构件具有第二部分,该第二部分位于比传递连杆臂机构的驱动力的第一部分更靠前方的位置,在该第二部分设置有手体,因此能够将该手保持构件处于最前进位置时的手体的位置设为比以往靠前方。由此,该输送装置不使连杆臂机构大型化就能够延长手的伸展长度,能够应对板状工件的大型化从而方便地输送板状工件。
11、本发明的其他特征以及优点根据参照附图进行以下详细说明而变得更明确。
1.一种输送装置,其特征在于,具备:
2.根据权利要求1所述的输送装置,其中,
3.根据权利要求2所述的输送装置,其中,
4.根据权利要求3所述的输送装置,其中,
5.根据权利要求3所述的输送装置,其中,
6.根据权利要求3所述的输送装置,其中,