环境数据监控方法、环境数据监控系统以及其监控设备与流程
本发明涉及一种监控方法及监控系统，特别是涉及一种环境数据监控方法、环境数据监控系统以及环境数据监控设备。
背景技术：
1、空气中存在许多悬浮微粒，由于目前晶圆尺寸已达纳米等级，所以每一个晶圆制程都必须在微无尘室中进行。微无尘室内的压力必须大于微无尘室外的压力差，才能避免晶圆受到悬浮微粒的污染。
2、若要维持微无尘室内的压力大于微无尘室外的压力，必须持续监控微无尘室内的气体压力以及微无尘室的风扇的转速。目前常用的作法是安装有线感测器于微无尘室内，有线感测器与微无尘室外的模拟数字网关器电性连接。当模拟数字网关器接收到来自有线感测器的风扇转速数据以及压力数据时，模拟数字网关器将风扇转速数据以及压力数据传送给监控装置，监控装置根据风扇转速数据以及压力数据判断当前微无尘室内的环境是否适合进行晶圆的制程。
技术实现思路
1、本发明所要解决的技术问题在于，针对现有技术提供一种环境数据监控方法、环境数据监控系统以及环境数据监控设备。
2、为了解决上述的技术问题，本发明所采用的其中一技术方案是，提供一种环境数据监控方法，包括：藉由一磁力感测器，取得一风扇转速；藉由一第一压力感测器，取得一第一压力；藉由一第二压力感测器，取得一第二压力；藉由一控制器，计算第一压力与第二压力之间的一第一压力差；藉由控制器，判断风扇转速以及第一压力差是否达到一警报标准；以及当风扇转速以及第一压力差达到警报标准时，藉由控制器发送一警报信号。
3、为了解决上述的技术问题，本发明所采用的另外一技术方案是，提供一种环境数据监控系统，包括一磁力感测器﹑一第一压力感测器、一第二压力感测器、一主要天线、一射频读取器以及一控制器。磁力感测器取得一风扇转速。第一压力感测器取得一第一压力。第二压力感测器取得一第二压力。主要天线通信连接于磁力感测器、第一压力感测器以及第二压力感测器。射频读取器电性连接于主要天线。控制器电性连接于射频读取器。控制器计算第一压力与第二压力之间的一第一压力差且判断风扇转速以及第一压力差是否达到一警报标准。当风扇转速值以及第一压力差达到警报标准时，控制器发送一警报信号。
4、为了解决上述的技术问题，本发明所采用的另外再一技术方案是，提供一种环境数据监控设备，包括：具有一腔室以及一风扇的一机器装置；以及一环境数据监控系统；环境数据监控系统包含一磁力感测器﹑一第一压力感测器、一第二压力感测器、一主要天线、一射频读取器以及一控制器。磁力感测器取得风扇的风扇转速。第一压力感测器位于腔室内且取得第一压力。第二压力感测器取得第二压力。主要天线通信连接于磁力感测器、第一压力感测器以及第二压力感测器。射频读取器电性连接于主要天线。控制器电性连接于射频读取器，控制器计算第一压力与第二压力之间的第一压力差且判断风扇转速以及第一压力差是否达到警报标准。当风扇转速以及第一压力差达到警报标准时，控制器发送警报信号。
5、本发明的其中一有益效果在于，本发明所提供的环境数据监控方法、环境数据监控系统以及环境数据监控设备，只要监控到风扇转速、腔室内与腔室外之间的压力差、或者腔室内的压力差出现异常时，立即发送警报信号给监控装置，尽快进行异常状况的排除。
6、为使能更进一步了解本发明的特征及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而所提供的附图仅用于提供参考与说明，并非用来对本发明加以限制。
技术特征：
1.一种环境数据监控方法，该环境数据监控方法包括：
2.如权利要求1所述的环境数据监控方法，其中该警报标准包括：该风扇转速小于一转速临界值；以及该第一压力差小于零。
3.如权利要求1所述的环境数据监控方法，其中该警报标准包括：该风扇转速大于或等于一转速临界值；以及该第一压力差大于零且小于一压力临界值。
4.如权利要求1所述的环境数据监控方法，其中该警报标准包括：该风扇转速值大于或等于一转速临界值；以及该第一压力差大于一压力临界值，而该压力临界值大于零。
5.如权利要求1所述的环境数据监控方法，该环境数据监控方法还包括：藉由位于该第一压力感测器的下方的一第三压力感测器，取得一第三压力；以及藉由该控制器，计算该第一压力与该第三压力之间的一第二压力差；该警报标准包括：该风扇转速值大于或等于一转速临界值；该第一压力差大于零且小于一压力临界值；以及该第二压力差小于零。
6.如权利要求5所述的环境数据监控方法，其中该警报标准还包括：在该第一压力差大于零且小于该压力临界值之前以及该风扇转速值大于或等于该转速临界值之后，该第一压力差大于该压力临界值。
7.如权利要求1所述的环境数据监控方法，其中该第二压力感测器位于一腔室内，该环境数据监控方法还包括：藉由该控制器将该第一压力差转换为一风速；该警报标准包括：该风扇转速大于或等于一转速临界值；以及该风速小于一风速临界值，而该风速临界值大于零。
8.一种环境数据监控系统，该环境数据监控系统包括：
9.如权利要求8所述的环境数据监控系统，其中该磁力感测器为一磁力感测器射频标签、该第一压力感测器以及该第二压力感测器分别为一第一压力感测器射频标签以及一第二压力感测器射频标签。
10.如权利要求8所述的环境数据监控系统，该环境数据监控系统还包括一第三压力感测器，该第三压力感测器位于该第一压力感测器的下方，该第三压力感测器取得一第三压力，该控制器计算该第一压力与该第三压力之间的一第二压力差；该警报标准包括：该风扇转速值大于或等于一转速临界值；该第一压力差大于零且小于一压力临界值；以及该第二压力差小于零。
11.一种环境数据监控设备，该环境数据监控设备包括：
12.如权利要求11所述的环境数据监控设备，其中该机器装置为一微无尘室，而该磁力感测器设置于该风扇上。
13.如权利要求11所述的环境数据监控设备，其中该磁力感测器为一磁力感测器射频标签、该第一压力感测器以及该第二压力感测器分别为一第一压力感测器射频标签以及一第二压力感测器射频标签。
14.如权利要求11所述的环境数据监控设备，其中该第二压力感测器位于该腔室之外，而该警报标准包括：该风扇转速小于一转速临界值；以及该第一压力差小于零。
15.如权利要求11所述的环境数据监控设备，其中该第二压力感测器位于该腔室之外，而该警报标准包括：该风扇转速大于或等于一转速临界值；以及该第一压力差大于零且小于一压力临界值。
16.如权利要求11所述的环境数据监控设备，其中该第二压力感测器位于该腔室之外，而该警报标准包括：该风扇转速值大于或等于一转速临界值；以及该第一压力差大于一压力临界值，而该压力临界值大于零。
17.如权利要求11所述的环境数据监控设备，其中该第二压力感测器位于该腔室之外，该环境数据监控系统还包括位于该腔室内的一第三压力感测器，该第三压力感测器位于该第一压力感测器的下方，该第三压力感测器取得一第三压力，该控制器计算该第一压力与该第三压力之间的一第二压力差；该警报标准包括：该风扇转速值大于或等于一转速临界值；该第一压力差大于零且小于一压力临界值；以及该第二压力差小于零。
18.如权利要求17所述的环境数据监控设备，其中该警报标准还包括：在该第一压力差大于零且小于该压力临界值之前以及该风扇转速值大于或等于该转速临界值之后，该第一压力差大于该压力临界值。
19.如权利要求11所述的环境数据监控设备，其中该第二压力感测器位于该腔室内，该控制器将该第一压力差转换为一风速，而该警报标准包括：该风扇转速大于或等于一转速临界值；以及该风速小于一风速临界值，而该风速临界值大于零。
技术总结
一种环境数据监控方法、环境数据监控系统以及其监控设备。其中环境数据监控方法包括：藉由磁力感测器，取得风扇转速；藉由第一压力感测器，取得第一压力；藉由第二压力感测器，取得第二压力；藉由控制器，计算第一压力与第二压力之间的第一压力差；藉由控制器，判断风扇转速以及第一压力差是否达到警报标准；以及当风扇转速以及第一压力差达到警报标准时，藉由控制器发送警报信号。本发明所提供的环境数据监控方法、环境数据监控系统以及环境数据监控设备，只要监控到风扇转速、腔室内与腔室外之间的压力差、或者腔室内的压力差出现异常时，立即发送警报信号给监控装置，尽快进行异常状况的排除。
技术研发人员：吴佳兴,陈庭辉,亢福明
受保护的技术使用者：启碁科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/12/5