弹性波装置的制作方法

本发明涉及弹性波装置。

背景技术：

1、以往，弹性波装置被广泛用于便携式电话机的滤波器等。近年来，提出了如下述的专利文献1记载的、使用了厚度剪切模式的体波的弹性波装置。在该弹性波装置中，在支承体上设置有压电层。在压电层上设置有成对的电极。成对的电极在压电层上相互对置，并且与相互不同的电位连接。通过在上述电极间施加交流电压，从而激励了厚度剪切模式的体波。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：美国发明专利第10491192号说明书

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、在专利文献1记载的弹性波装置中，板波模式以及其高次谐波成为强大的无用波。因此，在对滤波器装置使用了该弹性波装置的情况下，滤波器特性有可能劣化。

3、本发明的目的在于，提供一种能够抑制无用波的弹性波装置。

4、用于解决问题的技术方案

5、本发明涉及的弹性波装置具备：支承构件，包含支承基板；压电层，设置在所述支承构件上；idt电极，设置在所述压电层上，具有相互对置的1对汇流条和多个电极指；以及多个质量附加膜，设置在所述多个电极指上，在沿着所述支承构件以及所述压电层的层叠方向观察的俯视下，在所述支承构件中的与所述idt电极的至少一部分重叠的位置设置有声反射部，在将所述压电层的厚度设为d并将相邻的所述电极指彼此的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下，在从与所述多个电极指延伸的电极指延伸方向正交的电极指正交方向观察时，相邻的所述电极指彼此相互重叠的区域是交叉区域，所述交叉区域包含中央区域、和在所述电极指延伸方向上夹着所述中央区域相互对置的第1边缘区域以及第2边缘区域，所述多个质量附加膜的至少一部分在俯视下分别与所述中央区域重叠，在将沿着所述电极指正交方向的所述质量附加膜的尺寸设为所述质量附加膜的宽度时，至少1个所述质量附加膜的所述宽度与其他所述质量附加膜的所述宽度不同。

6、发明效果

7、根据本发明，能够提供一种能够抑制无用波的弹性波装置。

技术特征：

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求3所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求3所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求1～6中任一项所述的弹性波装置，其中，

8.根据权利要求1～7中任一项所述的弹性波装置，其中，

9.根据权利要求1～8中任一项所述的弹性波装置，其中，

10.根据权利要求1～9中任一项所述的弹性波装置，其中，

11.根据权利要求1～10中任一项所述的弹性波装置，其中，

12.根据权利要求1～11中任一项所述的弹性波装置，其中，

13.根据权利要求12所述的弹性波装置，其中，

14.根据权利要求1～13中任一项所述的弹性波装置，其中，

15.根据权利要求1～13中任一项所述的弹性波装置，其中，

16.一种滤波器装置，具备包含分割型的弹性波谐振器的多个弹性波谐振器，

技术总结
提供一种弹性波装置，能够抑制无用波。本发明涉及的弹性波装置（10）具备：支承构件，包含支承基板；压电层（14），设置在支承构件上；IDT电极（11），设置在压电层（14）上，具有相互对置的1对汇流条（第1、第2汇流条26、27）和多个电极指（多个第1、第2电极指28、29）；以及多个质量附加膜（17），设置在多个电极指上。在沿着支承构件以及压电层（14）的层叠方向观察的俯视下，在支承构件中的与IDT电极（11）的至少一部分重叠的位置设置有声反射部。在将压电层（14）的厚度设为d并将相邻的电极指彼此的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。在从与多个电极指延伸的电极指延伸方向正交的电极指正交方向观察时，相邻的电极指彼此相互重叠的区域是交叉区域（F）。交叉区域（F）包含中央区域（H）、和在电极指延伸方向上夹着中央区域（H）相互对置的第1边缘区域（Ea）以及第2边缘区域（Eb）。多个质量附加膜（17）的至少一部分在俯视下分别与中央区域（H）重叠。在将沿着电极指正交方向的质量附加膜（17）的尺寸设为质量附加膜（17）的宽度时，至少1个质量附加膜（17）的宽度与其他质量附加膜（17）的宽度不同。

技术研发人员：大门克也,井山明洋
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：
技术公布日：2024/12/5