一种晶圆存储及运输装置

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本发明涉及碳化硅晶圆、晶锭储存设备领域,尤其是涉及一种晶圆存储及运输装置。


背景技术:

1、sic作为c和si稳定的化合物,其晶格结构由致密排列的两个亚晶格组成,每个si(或c)原子与周边包围的c(si)原子通过定向的强四面体sp3键结合,虽然sic的四面体键很强,但层错形成能量却很低,这一特点决定了sic的多型体现象,已经发现sic具有250多种多型体。

2、碳化硅晶锭是由多晶或单晶形成的圆柱体,晶圆片由此切割而成,大多数晶锭是指多晶硅块。

3、目前在对碳化硅晶锭、晶圆进行存储、转运时,通常采用将晶圆片、晶锭插接至对应的盒体的卡槽中,通过卡槽对晶圆片、晶锭的边侧进行限位,进而对其进行存储、转运,而卡槽的结构形式固然便捷,但是其存在不可忽视的问题:①晶圆片的厚度与其外径尺寸有关,不同外径的晶圆片厚度相差较大,而晶锭在经过切割后,剩余的晶锭厚度完全取决于切割的次数,因此晶锭的厚度一直在进行变化,而目前的卡槽固定方式无法根据不同厚度的晶圆片、晶锭进行调节,使得卡槽的适配性大幅降低,进而影响限位效果;②卡槽宽度与晶圆片、晶锭厚度的不适配,会导致存储、转运过程中,出现晶圆片、晶锭晃动的问题,不利于物料的稳定;③在将晶圆片、晶锭插接至卡槽中时,若是卡槽过紧,容易出现晶圆片、晶锭侧面受到滑擦的问题。


技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种提高晶圆、晶锭存储以及转运过程中的稳定,并可便捷的对储料进行剥离取料的晶圆存储及运输装置。

2、为解决上述技术问题,本发明提供了一种晶圆存储及运输装置,包括底座、设于底座上的支撑台、置于支撑台上的存储盒,所述存储盒内置有吸盘,吸盘底侧中部位置通过负压组件与存储盒呈升降配合,所述吸盘边侧沿周向间隔布设有若干拉杆,且存储盒底部开设有若干与拉杆相对应的第一通孔,所述底座上沿周向设置有若干取料组件,所述取料组件包括设于底座处的伸缩外管、与伸缩外管呈移动配合的伸缩内管,且伸缩内管的端部与第一通孔相对应设置,所述伸缩内管的端部穿设经过第一通孔后与拉杆呈卡接配合,以使若干伸缩内管沿周向依次对若干拉杆进行拉动。

3、进一步的,伸缩外管远离存储盒的一端设置有驱动件,底座远离存储盒的一侧沿周向设置有若干拨块,所述驱动件与拨块呈对应设置,且驱动件与拨块之间通过连杆进行连接,所述连杆穿设经过底座,所述驱动件与底座之间设置有弹性件,以使拨块向远离底座的位置进行移动时,伸缩内管与拉杆进行拉动。

4、进一步的,底座下侧的中部位置转动装设有驱动盘,驱动盘一侧通过第一伸缩杆连接有驱动块,所述驱动块靠近拨块的一侧具有第一斜面,所述拨块靠近驱动块的一侧具有第二斜面,且第一斜面与第二斜面相匹配,以使第一伸缩杆伸长时,驱动块顶推拨块向远离底座的位置进行移动。

5、进一步的,若干拨块之间通过驱动环进行连接,且若干第二斜面沿驱动环的周向进行联通,以使若干第二斜面联通形成滑槽,所述驱动盘带动驱动块进行转动时,第一斜面沿滑槽进行转动。

6、进一步的,所述伸缩内管靠近存储盒的一端沿两侧开设有通槽,所述通槽沿伸缩内管的轴向进行布设,以使按动伸缩内管端部两侧时,伸缩内管的两侧相互靠近并脱离与拉杆的卡接配合。

7、进一步的,所述支撑台边侧沿周向间隔布设有若干与伸缩内管相匹配的脱料组件,所述脱料组件包括设于支撑台边侧的第二伸缩杆、连接于第二伸缩杆端部的脱料块,所述脱料块处开设有引导槽,所述伸缩内管位于引导槽中,且引导槽的开口宽度大于引导槽的内侧宽度,以使脱料块向伸缩内管处移动时,伸缩内管脱离与拉杆的卡接配合。

8、进一步的,所述拉杆的边侧开设有卡槽,所述伸缩内管的端部具有卡板,以使伸缩内管与拉杆呈卡接配合时,卡板卡接于卡槽中;所述存储盒内侧沿周向布设有若干与拉杆相匹配的导向组件,所述导向组件包括至少两导向弧板,以使至少两导向弧板分置于拉杆的两侧。

9、进一步的,所述负压组件包括转动连接于存储盒底部的进气内管、套设于进气内管外侧且与吸盘相连的进气外管,以使进气外管相对于进气内管进行伸缩移动时,所述吸盘的高度进行调节,所述进气内管端部开设有第一进气孔,所述进气外管端部开设有与第一进气孔相对应的第二进气孔,所述存储盒底部开设有与进气内管相对应的第二通孔,以使气管穿设经过第二通孔后连接至进气内管处。

10、进一步的,所述进气内管远离吸盘的一端沿周向设置有若干卡口,所述气管的端部具有与卡口对应的凸块,以使气管连接于进气内管时,凸块扣设于卡口中;所述第二通孔处可拆卸的连接有堵头,所述堵头端部设置有若干与卡口对应的凸块,以使气管脱离进气内管时,堵头连接于进气内管处。

11、进一步的,所述存储盒沿周向设置有顶撑环,顶撑环与存储盒呈螺纹配合,且顶撑环内侧对吸盘的边侧进行顶撑,所述顶撑环的外侧沿周向布设有若干把手,所述存储盒上部套设有盖体,盖体内侧具有与吸盘边缘相对应的压紧件;所述拉杆靠近伸缩内管的一端具有缓冲件,所述导向弧板端部靠近拉杆的一侧具有凸缘,以使吸盘上升至最大行程时,凸缘扣设于卡槽中。

12、本发明的有益效果在于:通过支撑台对存储盒进行支撑,以保证存储盒的稳定,将待存储、转运的晶圆片或晶锭放置于吸盘上,通过吸盘的吸附能力对物料进行吸附固定,相较于卡槽形式的限位方式而言,吸盘可适配较大厚度范围内的物料,且不会产生边侧刮擦的问题,但由于吸盘的吸附较为紧固,才可保证对物料的限位稳定,而较为紧固的吸附会相应的提高物料取料时的难度,因此本方案设置拉杆,使得存储盒放置于支撑台处时,伸缩内管相对于伸缩外管进行伸长移动,使得伸缩内管的端部穿设经过第一通孔后卡接至拉杆处,在需要对物料进行取料时,通过收缩伸缩内管,使得伸缩内管带动拉杆进行下移,进而通过拉杆对当前位置的吸盘边缘进行拉扯脱离物料,随后若干伸缩内管沿周向依次拉动若干拉杆,进而将吸盘边缘沿周向脱离物料底部,以保证物料、吸盘之间的脱离动作稳定。



技术特征:

1.一种晶圆存储及运输装置,其特征在于:包括底座(1)、设于底座(1)上的支撑台(2)、置于支撑台(2)上的存储盒(3),所述存储盒(3)内置有吸盘(4),吸盘(4)底侧中部位置通过负压组件与存储盒(3)呈升降配合,所述吸盘(4)边侧沿周向间隔布设有若干拉杆(5),且存储盒(3)底部开设有若干与拉杆(5)相对应的第一通孔(6),所述底座(1)上沿周向设置有若干取料组件,所述取料组件包括设于底座(1)处的伸缩外管(7)、与伸缩外管(7)呈移动配合的伸缩内管(8),且伸缩内管(8)的端部与第一通孔(6)相对应设置,所述伸缩内管(8)的端部穿设经过第一通孔(6)后与拉杆(5)呈卡接配合,以使若干伸缩内管(8)沿周向依次对若干拉杆(5)进行拉动。

2.根据权利要求1所述的晶圆存储及运输装置,其特征在于:伸缩外管(7)远离存储盒(3)的一端设置有驱动件(9),底座(1)远离存储盒(3)的一侧沿周向设置有若干拨块(10),所述驱动件(9)与拨块(10)呈对应设置,且驱动件(9)与拨块(10)之间通过连杆(11)进行连接,所述连杆(11)穿设经过底座(1),所述驱动件(9)与底座(1)之间设置有弹性件(12),以使拨块(10)向远离底座(1)的位置进行移动时,伸缩内管(8)与拉杆(5)进行拉动。

3.根据权利要求2所述的晶圆存储及运输装置,其特征在于:底座(1)下侧的中部位置转动装设有驱动盘(13),驱动盘(13)一侧通过第一伸缩杆(14)连接有驱动块(15),所述驱动块(15)靠近拨块(10)的一侧具有第一斜面(16),所述拨块(10)靠近驱动块(15)的一侧具有第二斜面(17),且第一斜面(16)与第二斜面(17)相匹配,以使第一伸缩杆(14)伸长时,驱动块(13)顶推拨块(10)向远离底座(1)的位置进行移动。

4.根据权利要求3所述的晶圆存储及运输装置,其特征在于:若干拨块(10)之间通过驱动环(18)进行连接,且若干第二斜面(17)沿驱动环(18)的周向进行联通,以使若干第二斜面(17)联通形成滑槽(19),所述驱动盘(13)带动驱动块(15)进行转动时,第一斜面(16)沿滑槽(19)进行转动。

5.根据权利要求1所述的晶圆存储及运输装置,其特征在于:所述伸缩内管(8)靠近存储盒(3)的一端沿两侧开设有通槽(20),所述通槽(20)沿伸缩内管(8)的轴向进行布设,以使按动伸缩内管(8)端部两侧时,伸缩内管(8)的两侧相互靠近并脱离与拉杆(5)的卡接配合。

6.根据权利要求1所述的晶圆存储及运输装置,其特征在于:所述支撑台(2)边侧沿周向间隔布设有若干与伸缩内管(8)相匹配的脱料组件,所述脱料组件包括设于支撑台(2)边侧的第二伸缩杆(21)、连接于第二伸缩杆(21)端部的脱料块(22),所述脱料块(22)处开设有引导槽(23),所述伸缩内管(8)位于引导槽(23)中,且引导槽(23)的开口宽度大于引导槽(23)的内侧宽度,以使脱料块(22)向伸缩内管(8)处移动时,伸缩内管(8)脱离与拉杆(5)的卡接配合。

7.根据权利要求1所述的晶圆存储及运输装置,其特征在于:所述拉杆(5)的边侧开设有卡槽(24),所述伸缩内管(8)的端部具有卡板(25),以使伸缩内管(8)与拉杆(5)呈卡接配合时,卡板(25)卡接于卡槽(24)中;所述存储盒(3)内侧沿周向布设有若干与拉杆(5)相匹配的导向组件,所述导向组件包括至少两导向弧板(26),以使至少两导向弧板(26)分置于拉杆(5)的两侧。

8.根据权利要求1所述的晶圆存储及运输装置,其特征在于:所述负压组件包括转动连接于存储盒(3)底部的进气内管(27)、套设于进气内管(27)外侧且与吸盘(4)相连的进气外管(28),以使进气外管(28)相对于进气内管(27)进行伸缩移动时,所述吸盘(4)的高度进行调节,所述进气内管(27)端部开设有第一进气孔(29),所述进气外管(28)端部开设有与第一进气孔(29)相对应的第二进气孔(30),所述存储盒(3)底部开设有与进气内管(27)相对应的第二通孔(31),以使气管(32)穿设经过第二通孔(31)后连接至进气内管(27)处。

9.根据权利要求8所述的晶圆存储及运输装置,其特征在于:所述进气内管(27)远离吸盘(4)的一端沿周向设置有若干卡口(33),所述气管(32)的端部具有与卡口(33)对应的凸块(34),以使气管(32)连接于进气内管(27)时,凸块(34)扣设于卡口(33)中;所述第二通孔(31)处可拆卸的连接有堵头,所述堵头端部设置有若干与卡口对应的凸块,以使气管(32)脱离进气内管时,堵头连接于进气内管(27)处。

10.根据权利要求7所述的晶圆存储及运输装置,其特征在于:所述存储盒(3)沿周向设置有顶撑环(35),顶撑环(35)与存储盒(3)呈螺纹配合,且顶撑环(35)内侧对吸盘(4)的边侧进行顶撑,所述顶撑环(35)的外侧沿周向布设有若干把手(36),所述存储盒(3)上部套设有盖体(37),盖体(37)内侧具有与吸盘(4)边缘相对应的压紧件(38);所述拉杆(5)靠近伸缩内管(8)的一端具有缓冲件(39),所述导向弧板(26)端部靠近拉杆(5)的一侧具有凸缘(40),以使吸盘(4)上升至最大行程时,凸缘(40)扣设于卡槽(24)中。


技术总结
本发明提供一种晶圆存储及运输装置,包括底座、设于底座上的支撑台、置于支撑台上的存储盒,所述存储盒内置有吸盘,吸盘底侧中部位置通过负压组件与存储盒呈升降配合,所述吸盘边侧沿周向间隔布设有若干拉杆,且存储盒底部开设有若干与拉杆相对应的第一通孔,所述底座上沿周向设置有若干取料组件,所述取料组件包括设于底座处的伸缩外管、与伸缩外管呈移动配合的伸缩内管,且伸缩内管的端部与第一通孔相对应设置,所述伸缩内管的端部穿设经过第一通孔后与拉杆呈卡接配合,以使若干伸缩内管沿周向依次对若干拉杆进行拉动;本发明提高晶圆、晶锭存储以及转运过程中的稳定,并可便捷的对储料进行剥离取料。

技术研发人员:仇旻,朱宏伟,李思卓,陈舒航
受保护的技术使用者:西湖大学光电研究院
技术研发日:
技术公布日:2024/12/5

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