一种晶圆老化设备的制作方法

本发明涉及半导体测试的，尤其涉及一种晶圆老化设备。

背景技术：

1、晶圆老化测试是半导体制造过程中的一个重要环节，主要用于提升最终产品的可靠性，主要目的是通过模拟“时间的摧残”这一环境，找出可能在早期发生缺陷的产品，从而提升最终产品的可靠性。这有助于降低制造缺陷的比率，并确保半导体芯片在整个生命周期内都能保持稳定的性能，根据测试要求，调整测试设备的温度、湿度、气氛等参数，进行晶圆老化测试。在选择好测试设备后，需要对测试设备进行调试，包括稳定温度、设定测试时间等。老化电压通常比应用使用电压高约30%，而老化温度一般介于95°c到105°c之间。

2、中国专利公开了 一种晶圆老化测试装置（公开号：cn117368543a），涉及晶圆测试技术领域。支撑结构具有位于夹具下方的至少一个探针台，探针台具有与晶圆加电板接触的多个第一探针，至少一组线路开关板组设置在支撑结构的旁侧，每组线路开关板组包括具有多个开关的至少一个线路开关板。但是这种现有的晶圆老化测试装置，由于设计问题，在老化测试完成时，由于内外温差，导致晶圆表面存在凝露结水的情况，同时由于辅助压紧设计，导致晶圆无法与检测板密切接触，且安装不便，工作效率较低，同时散热导向单一，不利于测试时内部散热，为此，我们提出了一种晶圆老化设备来解决上述问题。

技术实现思路

1、本发明的目的是为了克服现在在老化测试完成时，由于内外温差，导致晶圆表面存在凝露结水的情况，同时由于辅助压紧设计，导致晶圆无法与检测板密切接触，且安装不便，工作效率较低，同时散热导向单一，不利于测试时内部散热的不足，而提出的一种晶圆老化设备。

2、为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

3、一种晶圆老化设备，包括测试箱，所述的测试箱上部通过旋转滑移组件安装有上柜门，所述的测试箱内安装有装配座，所述的装配座位于上柜门内，所述的测试箱下部设有底箱，所述的底箱表面通过液压杆连接有下柜门，所述的下柜门内安装有老化组件，所述的上柜门一侧设有显示屏，所述的显示屏底部设有控制开关，所述的老化组件上测试底板及隔热底板，所述的测试底板及隔热底板上设有压紧组件和pcb驱动板，所述的pcb驱动板位于压紧组件两侧，所述的压紧组件前端两侧对称设有老化板导向组件，所述的压紧组件内设有测试组件，所述的测试组件位于老化板导向组件之间，所述的压紧组件两侧均设有驱动转接板，所述的pcb驱动板pin针与驱动转接板外侧电性连接，所述的驱动转接板延伸至压紧组件内，所述的测试组件顶部设有老化板盖板组件，所述的测试组件底部设有氮气加热组件，所述的测试组件上设有两个进出气管，所述的氮气加热组件与其中一个进出气管相连，所述的老化板盖板组件内设老化pc板，所述的老化pc板通过pin针与驱动转接板电性连接，所述的老化板盖板组件内设有待测件，所述的待测件通过装配座安装到老化板盖板组件上之后，通过老化板导向组件送入所述的老化组件内，经过所述的压紧组件压紧在所述的测试组件上，进行老化测试。

4、优选的，所述的测试组件上设有加热板主体，所述的加热板主体顶部设有晶圆导热主板，所述的待测件位于晶圆导热主板内，所述的加热板主体底部设有绝缘底板，所述的绝缘底板与加热板主体一侧共同设有导轨条，所述的进出气管位于加热板主体两侧，所述的晶圆导热主板底部对应进出气管设有进气口压板，其中一个进出气管将氮气加热组件提供的加热氮气通过进气口压板连通，送入老化板盖板组件和测试组件形成的密闭空间内，另一个进出气管与外部真空泵相连，先一步将密闭空间内抽成真空状态，所述的加热板主体一侧设有加热台探针，所述的加热板主体前后两端对应绝缘底板设有限位弹簧杆。

5、优选的，所述的老化组件上还设有标准电源，所述的标准电源一侧设有散热组件，所述的散热组件与压紧组件内部连通，所述的散热组件包括前进风扇及挡网，所述的前进风扇及挡网位于压紧组件前侧，所述的前进风扇及挡网与散热组件配合组成散热风道，所述的测试底板及隔热底板四角上设有拉手，所述的测试底板及隔热底板上设有安装底板，所述的pcb驱动板与驱动转接板连接时安装在安装底板上。

6、优选的，所述的散热组件上设有后排风扇，所述的后排风扇表面设有后档网，所述的散热组件顶部设有风道连接口，所述的前进风扇及挡网与后排风扇组成的散热风道，所述的压紧组件内气流通过所述的风道连接口进行排出。

7、优选的，所述的老化板盖板组件上设有底护板，所述的底护板表面对称设有加强板，所述的底护板底部安装板，所述的安装板内设有老化pc板，所述的安装板底部设有垫板，所述的垫板底部设有上装饰板，所述的安装板内设有针卡，所述的针卡与老化pc板电性连接，所述的针卡上设有老化仓上封板，所述的待测件安装在老化仓上封板内。

8、优选的，所述的老化板导向组件内向下倾斜设有导向板，所述的导向板内设有止回楔口，所述的压紧组件内对应老化板盖板组件设有限位板所述的限位板上安装有弹簧柱塞，所述的老化板盖板组件通过导向板滑入压紧组件内，通过所述的限位板上弹簧柱塞进行老化板盖板组件两侧下压的缓冲，所述的止回楔口对老化板盖板组件进行送入后的限位。

9、优选的，所述的氮气加热组件包括氮气加热安装板，所述的氮气加热安装板上安装有加热盖板，所述的加热盖板内设有输送管，所述的输送管上缠绕设置有加热线圈，所述的输送管两端均延伸至加热盖板外侧并连接有连接头，所述的氮气加热安装板顶部对应输送管设有加热管支撑块，所述的输送管通过加热管支撑块固定在加热盖板内。

10、优选的，所述的测试箱上对应上柜门设有导向滑槽，所述的导向滑槽内安装有平移转轴，所述的导向滑槽通过连接槽安装在导向滑槽内，所述的平移转轴上连接有门旋转块，当所述的上柜门通过平移转轴旋转至于测试箱垂直时，推动所述的上柜门，通过所述的导向滑槽送入测试箱内，通过门旋转块进行抵触上柜门外侧内框，避免上柜门全部进入测试箱内，拉出所述的上柜门时，通过门旋转块进行抵触上柜门内侧内框，避免上柜门全部拉出测试箱，之后通过所述的平移转轴转回测试箱表面。

11、优选的，所述的压紧组件内设有送气组件，所述的送气组件上连接有压紧气缸，所述的压紧气缸位于压紧组件内底部四角，所述的压紧气缸底部设有压紧板，所述的压紧板底部抵触在老化板盖板组件顶部。

12、优选的，所述的绝缘底板底部对称设有两个加热台垫板，所述的加热台垫板底部安装在测试底板及隔热底板上。

13、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

14、1、通过其中一个进出气管先一步将密闭空间内抽成真空状态，之后将氮气加热组件提供的加热氮气通过进气口压板连通，送入老化板盖板组件和测试组件形成的密闭空间内，对内部老化测试的晶圆进行氮气加热，避免现有的晶圆老化测试完成时，由于内外温差，导致晶圆表面存在凝露结水的情况；

15、2、通过压紧组件和老化板盖板组件等部件的配合使用，待测件通过装配座安装到老化板盖板组件上之后，通过老化板导向组件送入老化组件内，经过压紧组件压紧在测试组件上，进行老化测试，保证晶圆与晶圆导热主板密切接触，提高老化测试效率；

16、3、通过散热组件、前进风扇及挡网和压紧组件等部件的配合使用，通过前进风扇及挡网与后排风扇组成的散热风道，通过风道连接口进行压紧组件内老化测试产生的热气气流排出；

17、4、通过pcb驱动板、驱动转接板和老化pc板等部件的配合使用，pcb驱动经过驱动转接板连接老化板盖板组件内的针卡，对晶圆导热主板上的待测件进行老化测试，同时测试数据经过老化板盖板组件内的老化pc板等部件传递至测试箱表面显示屏进行显示。

18、综上所述，本发明能提供待测件通过装配座安装到老化板盖板组件上之后，通过老化板导向组件送入老化组件内，经过压紧组件压紧在测试组件上，进行老化测试，保证晶圆与晶圆导热主板密切接触，提高老化测试效率，具有工艺简单的优点，通过其中一个进出气管先一步将密闭空间内抽成真空状态，之后将氮气加热组件提供的加热氮气通过进气口压板连通，送入老化板盖板组件和测试组件形成的密闭空间内，对内部老化测试的晶圆进行氮气加热，避免现有的晶圆老化测试完成时，由于内外温差，导致晶圆表面存在凝露结水的情况。

技术特征：

1.一种晶圆老化设备，包括测试箱，其特征是，所述的测试箱上部通过旋转滑移组件安装有上柜门，所述的测试箱内安装有装配座，所述的装配座位于上柜门内，所述的测试箱下部设有底箱，所述的底箱表面通过液压杆连接有下柜门，所述的下柜门内安装有老化组件，所述的上柜门一侧设有显示屏，所述的显示屏底部设有控制开关，所述的老化组件上测试底板及隔热底板，所述的测试底板及隔热底板上设有压紧组件和pcb驱动板，所述的pcb驱动板位于压紧组件两侧，所述的压紧组件前端两侧对称设有老化板导向组件，所述的压紧组件内设有测试组件，所述的测试组件位于老化板导向组件之间，所述的压紧组件两侧均设有驱动转接板，所述的pcb驱动板pin针与驱动转接板外侧电性连接，所述的驱动转接板延伸至压紧组件内，所述的测试组件顶部设有老化板盖板组件，所述的测试组件底部设有氮气加热组件，所述的测试组件上设有两个进出气管，所述的氮气加热组件与其中一个进出气管相连，所述的老化板盖板组件内设老化pc板，所述的老化pc板通过pin针与驱动转接板电性连接，所述的老化板盖板组件内设有待测件，所述的待测件通过装配座安装到老化板盖板组件上之后，通过老化板导向组件送入所述的老化组件内，经过所述的压紧组件压紧在所述的测试组件上，进行老化测试。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆老化设备，其特征是，所述的测试组件上设有加热板主体，所述的加热板主体顶部设有晶圆导热主板，所述的待测件位于晶圆导热主板内，所述的加热板主体底部设有绝缘底板，所述的绝缘底板与加热板主体一侧共同设有导轨条，所述的进出气管位于加热板主体两侧，所述的晶圆导热主板底部对应进出气管设有进气口压板，其中一个进出气管将氮气加热组件提供的加热氮气通过进气口压板连通，送入老化板盖板组件和测试组件形成的密闭空间内，另一个进出气管与外部真空泵相连，先一步将密闭空间内抽成真空状态，所述的加热板主体一侧设有加热台探针，所述的加热板主体前后两端对应绝缘底板设有限位弹簧杆。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆老化设备，其特征是，所述的老化组件上还设有标准电源，所述的标准电源一侧设有散热组件，所述的散热组件与压紧组件内部连通，所述的散热组件包括前进风扇及挡网，所述的前进风扇及挡网位于压紧组件前侧，所述的前进风扇及挡网与散热组件配合组成散热风道，所述的测试底板及隔热底板四角上设有拉手，所述的测试底板及隔热底板上设有安装底板，所述的pcb驱动板与驱动转接板连接时安装在安装底板上。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆老化设备，其特征是所述的散热组件上设有后排风扇，所述的后排风扇表面设有后档网，所述的散热组件顶部设有风道连接口，所述的前进风扇及挡网与后排风扇组成的散热风道，所述的压紧组件内气流通过所述的风道连接口进行排出。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆老化设备，其特征是，所述的老化板盖板组件上设有底护板，所述的底护板表面对称设有加强板，所述的底护板底部安装板，所述的安装板内设有老化pc板，所述的安装板底部设有垫板，所述的垫板底部设有上装饰板，所述的安装板内设有针卡，所述的针卡与老化pc板电性连接，所述的针卡上设有老化仓上封板，所述的待测件安装在老化仓上封板内。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆老化设备，其特征是，所述的老化板导向组件内向下倾斜设有导向板，所述的导向板内设有止回楔口，所述的压紧组件内对应老化板盖板组件设有限位板所述的限位板上安装有弹簧柱塞，所述的老化板盖板组件通过导向板滑入压紧组件内，通过所述的限位板上弹簧柱塞进行老化板盖板组件两侧下压的缓冲，所述的止回楔口对老化板盖板组件进行送入后的限位。

7.根据权利要求3所述的一种晶圆老化设备，其特征是，所述的氮气加热组件包括氮气加热安装板，所述的氮气加热安装板上安装有加热盖板，所述的加热盖板内设有输送管，所述的输送管上缠绕设置有加热线圈，所述的输送管两端均延伸至加热盖板外侧并连接有连接头，所述的氮气加热安装板顶部对应输送管设有加热管支撑块，所述的输送管通过加热管支撑块固定在加热盖板内。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆老化设备，其特征是，所述的测试箱上对应上柜门设有导向滑槽，所述的导向滑槽内安装有平移转轴，所述的导向滑槽通过连接槽安装在导向滑槽内，所述的平移转轴上连接有门旋转块，当所述的上柜门通过平移转轴旋转至于测试箱垂直时，推动所述的上柜门，通过所述的导向滑槽送入测试箱内，通过门旋转块进行抵触上柜门外侧内框，避免上柜门全部进入测试箱内，拉出所述的上柜门时，通过门旋转块进行抵触上柜门内侧内框，避免上柜门全部拉出测试箱，之后通过所述的平移转轴转回测试箱表面。

9.根据权利要求6所述的一种晶圆老化设备，其特征是，所述的压紧组件内设有送气组件，所述的送气组件上连接有压紧气缸，所述的压紧气缸位于压紧组件内底部四角，所述的压紧气缸底部设有压紧板，所述的压紧板底部抵触在老化板盖板组件顶部。

10.根据权利要求7所述的一种晶圆老化设备，其特征是，所述的绝缘底板底部对称设有两个加热台垫板，所述的加热台垫板底部安装在测试底板及隔热底板上。

技术总结
本发明公开一种晶圆老化设备，包括测试箱，所述的测试箱上部通过旋转滑移组件安装有上柜门，所述的上柜门，所述的测试箱内安装有装配座，所述的装配座位于上柜门内，所述的测试箱下部设有底箱，所述的底箱表面通过液压杆连接有下柜门，所述的下柜门内安装有老化组件。本发明能提供一种晶圆老化设备，包括测试箱，其特征是，所述的测试箱上部通过旋转滑移组件安装有上柜门，所述的上柜门，所述的测试箱内安装有装配座，所述的装配座位于上柜门内，所述的测试箱下部设有底箱，所述的底箱表面通过液压杆连接有下柜门，所述的下柜门内安装有老化组件。

技术研发人员：曹佶,盛成方,郭靖
受保护的技术使用者：浙江杭可仪器有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/12/5