一种切割液回收控制系统、生产线及控制方法与流程

本申请属于硅片加工用切割液回收，尤其是涉及一种切割液回收控制系统、生产线及控制方法。

背景技术：

1、在硅片切割时，使用金刚线对硅片进行切割，在一定线速度下，多根金刚线在切割液的冲洗下磨削硅棒，切割硅棒完毕后会形成一定厚度的若干硅片，而磨削去除的硅料会以微米级硅粉颗粒的形式留存到切割液中。随着切割的持续，切割液中的硅粉含量会迅速升高，对硅片质量带来影响。若直接将切割液废弃掉，不仅污染环境，而且生产成本极高。若要循环使用切割液，面临的首要难题是如何更快、更有效、更自动便捷的去除切割液中的硅粉含量以及对切割液指标再次调节。

2、由于切割液脏液中硅粉粒度过小并具有一定的粘性，常用固/液分离方法如离心、浮选和过滤等都难以满足实际的分离要求。目前，主要采用压滤机压滤法去除切割废液中的硅粉，此方法操作简单，但是要实现净化切割液，对切割液指标再次调节，需要众多步骤包括收集、压滤及多个指标调节。目前，采用人工方法操作或半自动操作来实现以上工序的流转和生产，以上两种模式需求人员多，操作步骤依赖员工自身判断，导致调节过程中的指标参数一致性差，净化效果不好，整体时间长且效率低，劳动强度较大且易造成质量事故。

技术实现思路

1、本申请提供一种切割液回收控制系统、生产线及控制方法，解决了现有技术中采用人工方法或半自动操作来实现切割液净化而导致的指标调节不一致、净化效果差且效率低的技术问题。

2、为解决至少一个上述技术问题，本申请采用的技术方案是：

3、一种切割液回收控制系统，至少包括若干相连通的检测单元和集液单元，在每个所述检测单元中至少设有两个监控件，其中，第一监控件用于控制所述检测单元的部分输入管道，第二监控件用于控制所述检测单元的输出管道和部分输入管道。

4、进一步的，每个所述检测单元中，所述第一监控件被构置在靠近所述检测单元的输入端一侧；

5、每个所述检测单元中，所述第二监控件被构置在靠近所述检测单元的输出端一侧，所述检测单元输出端连接下一组所述检测单元或所述集液单元。

6、进一步的，所述检测单元均构置有罐体、与所述罐体连通的调节装置、以及与所述调节装置连通的监控装置，其中，

7、所述罐体和所述监控装置分别被构置在所述检测单元的输入端和输出端，所述调节装置被构置在所述罐体与所述监控装置之间；

8、所述第一监控件被构置在所述罐体中，所述第二监控件被构置在所述监控装置中。

9、进一步的，所述监控装置的第一输出端与相邻下一组所述检测单元中的所述罐体连通，或与所述集液单元连通；

10、所述监控装置的第二输出端返回至其所在所述检测单元的所述罐体中。

11、进一步的，在每个所述罐体、所述调节装置、以及所述监控装置的连接管道上都设有用于控制管道开关的泵体，且每个泵体均为单向控制结构；

12、所有所述泵体及所述监控件均与同一个控制单元电连接。

13、进一步的，在第一组所述检测单元中还设有与所述罐体连通的预处理装置；

14、所述集液单元也设有所述罐体，且所述集液单元中的所述罐体中仅设有用于控制所述集液单元的输入管道的所述监控件。

15、一种生产线，配设有如上所述的切割液回收控制系统。

16、一种切割液回收控制方法，采用如上所述的控制系统，步骤包括：

17、对不同所述检测单元中的切割液进行指标监控；

18、任一组所述检测单元中的切割液的指标不合格时，切割液回流至本组所述检测单元中重新进行调节；

19、当上一组所述检测单元中的切割液的指标合格时，切割液流入下一组所述检测单元中；

20、并当所有所述检测单元中的切割液的指标全部合格后，切割液进入所述集液单元中收集。

21、进一步的，还包括对每一组所述检测单元中未调质的切割液的液位进行监控，以控制本组所述检测单元的输入端管道的工作状态。

22、进一步的，每一组所述检测单元中设有一个或多个指标，且所有指标互不相同。

23、采用本申请设计的一种切割液回收控制系统，结构设计合理且简单，可精准地对每个环节中的指标参数进行监控，并可基于监控结果进行自动调节；各单元之间相互配合，自动过滤杂质，以逐步控制并自动调整切割液的各项参数，当每一级的参数合格后，才进行流入到下一检测单元中进行调整并监控，直至流入终端的良液合格为止。本申请的控制系统，无需人员辅助操作，自动化程度高且监控精准度高，适用于各种不同特征要求、不同硅粉含量以及不同指标的切割液的回收控制，且不会破坏切割液原有的成分。本申请还提出一种设有该控制系统的生产线。

24、本申请设计的一种切割液净化自动控制方法，各工序单元的配合均由集控中心统一自动调度，无需人员干涉操作，净化效果好且效率高，降低成本，保证生产质量；可智能识别并调配各项指标，确保检测结果；在保证切割液原有成份的基础上，可适用于各种不同指标要求的切割液的净化，适普性高且易于推广。

技术特征：

1.一种切割液回收控制系统，其特征在于，至少包括若干相连通的检测单元和集液单元，在每个所述检测单元中至少设有两个监控件，其中，第一监控件用于控制所述检测单元的部分输入管道，第二监控件用于控制所述检测单元的输出管道和部分输入管道。

2.根据权利要求1所述的一种切割液回收控制系统，其特征在于，每个所述检测单元中，所述第一监控件被构置在靠近所述检测单元的输入端一侧；每个所述检测单元中，所述第二监控件被构置在靠近所述检测单元的输出端一侧，所述检测单元输出端连接下一组所述检测单元或所述集液单元。

3.根据权利要求1-2任一项所述的一种切割液回收控制系统，其特征在于，所述检测单元均构置有罐体、与所述罐体连通的调节装置、以及与所述调节装置连通的监控装置，其中，

4.根据权利要求3所述的一种切割液回收控制系统，其特征在于，所述监控装置的第一输出端与相邻下一组所述检测单元中的所述罐体连通，或与所述集液单元连通；

5.根据权利要求4所述的一种切割液回收控制系统，其特征在于，在每个所述罐体、所述调节装置、以及所述监控装置的连接管道上都设有用于控制管道开关的泵体，且每个泵体均为单向控制结构；

6.根据权利要求4或5所述的一种切割液回收控制系统，其特征在于，在第一组所述检测单元中还设有与所述罐体连通的预处理装置；

7.一种生产线，其特征在于，配设有如权利要求1-6任一项所述的切割液回收控制系统。

8.一种切割液回收控制方法，其特征在于，采用如权利要求1-6任一项所述的控制系统，步骤包括：

9.根据权利要求8所述的一种切割液回收控制方法，其特征在于，还包括对每一组所述检测单元中未调质的切割液的液位进行监控，以控制本组所述检测单元的输入端管道的工作状态。

10.根据权利要求8或9所述的一种切割液回收控制方法，其特征在于，每一组所述检测单元中设有一个或多个指标，且所有指标互不相同。

技术总结
本申请提供一种切割液回收控制系统，至少包括若干相连通的检测单元和集液单元，在每个所述检测单元中至少设有两个监控件，其中，第一监控件用于控制所述检测单元的部分输入管道，第二监控件用于控制所述检测单元的输出管道和部分输入管道。本申请提供一种切割液回收控制系统，结构设计合理且简单，可精准地对每个环节中的指标参数进行监控，并可基于监控结果进行自动调节；无需人员辅助操作，自动化程度高且监控精准度高，适用于各种不同特征要求、不同硅粉含量以及不同指标的切割液的回收控制，且不会破坏切割液原有的成分。本申请还提出一种设有该控制系统的生产线、以及采用该控制系统的控制方法。

技术研发人员：赵朋占,杨旭洲,张海明,郭俊文,危晨
受保护的技术使用者：天津市环智新能源技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/12/5