翻转载台结构及产品测试装置的制作方法

本申请涉及半导体测试，特别是涉及一种翻转载台结构及产品测试装置。

背景技术：

1、半导体测试工艺属于半导体产业的关键技术，其中，半导体测试包括cp（circuitprobe）测试，cp（circuit probe）测试也称晶圆测试（wafer test），是半导体器件后道封装测试的第一步，目的是将晶圆中的不良芯片挑选出来。通常，晶圆指制作集成电路所用的硅片，在晶圆上的集成电路全部制作完成后，需要对晶圆进行电性导通测试，以确保在封装之前，晶圆上的集成电路（线路）能够导通并且不存在缺陷，从而能够判断晶圆为合格产品，因此晶圆测试是提高半导体器件良率的关键步骤之一。

2、通常情况下，在对晶圆进行电性导通测试时，需要对晶圆的相对两侧的线路都进行导通测试，因此在对其中一侧的线路完成导通测试后，还需要将晶圆翻转180°，接着对晶圆另一侧的线路进行导通测试。然而，现有技术中，通常是采用人工手动翻面的方式对晶圆进行翻面，这样就导致测试效率低下，增加了人力的成本和生产的成本。

技术实现思路

1、基于此，本申请的目的在于提供一种翻转载台结构及产品测试装置，以解决现有技术中利用人工手动对产品进行翻面，导致测试效率低下，人力成本和生产成本增加的问题。

2、根据本申请的一个方面，提供一种翻转载台结构，包括:

3、移载机构，具有用于承载产品的载台，所述载台能够沿一水平方向运动 ；

4、翻转机构，与所述移载机构相邻设置，所述翻转机构具有翻转件，所述翻转件能够沿一竖直方向运动，以能与所述载台相互靠近或远离；

5、所述翻转件能将承载于所述载台上的所述产品附着在自身上，并能够可受控地绕一水平延伸的中心轴线转动，以翻转所述产品。

6、在其中一个实施例中，所述翻转机构包括升降模组和第一连接板，所述第一连接板连接于所述升降模组，所述翻转件可转动地连接于所述第一连接板，所述升降模组能够驱动所述第一连接板与所述翻转件一同沿所述竖直方向升降以靠近或远离所述移载机构；

7、所述移载机构包括平移模组，所述载台可活动地设置在所述平移模组上，所述平移模组能够驱动所述载台沿所述水平方向靠近或远离所述翻转机构。

8、在其中一个实施例中，所述翻转机构还包括翻转驱动件，所述翻转驱动件设在所述第一连接板上，并传动连接于所述翻转件，以使得所述翻转件通过所述翻转驱动件连接所述连接板，所述翻转驱动件用于驱动所述翻转件绕所述水平延伸的中心轴线转动，以完成对所述产品的翻转。

9、在其中一个实施例中，所述载台包括支撑板和顶升组件，所述支撑板可活动地设置在所述平移模组上，所述顶升组件可升降地连接于所述支撑件并具有顶升面，所述顶升组件能够在所述平移模组的驱动下靠近所述翻转机构，并能够可受控地相对所述支撑板升降，以靠近或远离所述翻转件。

10、在其中一个实施例中，所述顶升组件包括第二连接板和若干顶升杆，所述第二连接板可活动地连接于所述支撑板，所述若干顶升杆呈矩阵状地设置在所述第二连接板背离所述支撑板的一侧，并且所述若干顶升杆的一端形成所述顶升面。

11、在其中一个实施例中，所有所述顶升杆被分为若干列顶升杆组，相邻的两列所述顶升杆组之间形成有插入间隙，所述翻转件开设有贯穿自身相对两侧的避让槽；

12、当所述顶升面上承载有所述产品，且所述翻转件与所述载台相互靠近时，部分所述顶升杆组能够容纳于所述避让槽中，以使得所述翻转件的部分能够伸入于所述插入间隙中，并位于所述产品的下方。

13、在其中一个实施例中，所述载台还包括顶升驱动件，所述顶升驱动件设置在所述支撑板上，并传动连接于所述第二连接板，以使得所述第二连接板通过所述顶升驱动件连接所述支撑板，所述顶升驱动件用于驱动所述顶升组件相对所述支撑板升降。

14、在其中一个实施例中，所述载台还包括导向板，所述导向板间隔地设置于所述支撑板的上方并连接于所述支撑板，且所述导向板开设有若干贯穿自身相对两侧的导向孔，每根所述顶升杆可活动地穿设于对应的一个所述导向孔。

15、在其中一个实施例中，所述翻转件上设有若干间隔设置的吸嘴，所述吸嘴被配置为用以在所述翻转件承载所述产品并对所述产品进行翻转时，将所述产品吸附在所述翻转件上。

16、根据本申请的另一方面，提供一种产品测试装置，包括如上任一方案所述的翻转载台结构。

17、上述翻转载台结构及产品测试装置，通过设置能够进行相对运动的移载机构和翻转机构，并通过在移载机构中设置用于承载产品的载台，在翻转机构中设置能够绕一水平延伸的中心轴线转动的翻转件，使得当翻转件与载台相互靠近后，翻转件能够将承载于载台上的附着在自身上，并能够绕上述水平延伸的轴线转动，从而能将产品翻转180°而完成自动翻面，因而节省了人力资源，提高了翻转效率及测试效率，减少了人力的成本及生产的成本。

技术特征：

1.一种翻转载台结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的翻转载台结构，其特征在于，所述翻转机构包括升降模组和第一连接板，所述第一连接板连接于所述升降模组，所述翻转件可转动地连接于所述第一连接板，所述升降模组能够驱动所述第一连接板与所述翻转件一同沿所述竖直方向升降以靠近或远离所述移载机构；

3.根据权利要求2所述的翻转载台结构，其特征在于，所述翻转机构还包括翻转驱动件，所述翻转驱动件设在所述第一连接板上，并传动连接于所述翻转件，以使得所述翻转件通过所述翻转驱动件连接所述连接板，所述翻转驱动件用于驱动所述翻转件绕所述水平延伸的中心轴线转动，以完成对所述产品的翻转。

4.根据权利要求2所述的翻转载台结构，其特征在于，所述载台包括支撑板和顶升组件，所述支撑板可活动地设置在所述平移模组上，所述顶升组件可升降地连接于所述支撑板并具有顶升面，所述顶升组件能够在所述平移模组的驱动下靠近所述翻转机构，并能够可受控地相对所述支撑板升降，以靠近或远离所述翻转件。

5.根据权利要求4所述的翻转载台结构，其特征在于，所述顶升组件包括第二连接板和若干顶升杆，所述第二连接板可活动地连接于所述支撑板，所述若干顶升杆呈矩阵状地设置在所述第二连接板背离所述支撑板的一侧，并且所述若干顶升杆的一端形成所述顶升面。

6.根据权利要求5所述的翻转载台结构，其特征在于，所有所述顶升杆被分为若干列顶升杆组，相邻的两列所述顶升杆组之间形成有插入间隙，所述翻转件开设有贯穿自身相对两侧的避让槽；

7.根据权利要求5所述的翻转载台结构，其特征在于，所述载台还包括顶升驱动件，所述顶升驱动件设置在所述支撑板上，并传动连接于所述第二连接板，以使得所述第二连接板通过所述顶升驱动件连接所述支撑板，所述顶升驱动件用于驱动所述顶升组件相对所述支撑板升降。

8.根据权利要求5所述的翻转载台结构，其特征在于，所述载台还包括导向板，所述导向板间隔地设置于所述支撑板的上方并连接于所述支撑板，且所述导向板开设有若干贯穿自身相对两侧的导向孔，每根所述顶升杆可活动地穿设于对应的一个所述导向孔。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的翻转载台结构，其特征在于，所述翻转件上设有若干间隔设置的吸嘴，所述吸嘴被配置为用以在所述翻转件承载所述产品并对所述产品进行翻转时，将所述产品吸附在所述翻转件上。

10.一种产品测试装置，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的翻转载台结构。

技术总结
本申请涉及一种翻转载台结构及产品测试装置，产品测试装置包括翻转载台结构，翻转载台结构包括移载机构和翻转机构，移载机构具有用于承载产品的载台，翻转机构在一水平方向上与移载机构相邻设置，且翻转机构具有翻转件，翻转件与载台之间能够可受控地相对运动，以使得翻转件与载台能够相互靠近或远离，当翻转件与载台相互靠近后，翻转件能将承载于载台上的产品附着在自身上，并能够可受控地绕一水平延伸的中心轴线转动，以使得产品能够被翻转而完成自动翻面，从而节省了人力资源，提高了翻转效率及测试效率，减少了人力的成本及生产的成本。

技术研发人员：郭远忠,龚俊杰
受保护的技术使用者：华兴源创（成都）科技有限公司
技术研发日：20240325
技术公布日：2024/12/5