产品测试设备的制作方法

本申请涉及半导体测试，特别是涉及一种产品测试设备。

背景技术：

1、半导体测试工艺属于半导体产业的关键技术，其中，半导体测试包括cp（circuitprobe）测试，cp（circuit probe）测试也称晶圆测试（wafer test），是半导体器件后道封装测试的第一步，目的是将晶圆中的不良芯片挑选出来。通常，晶圆指制作集成电路所用的硅片，在晶圆上的集成电路全部制作完成后，需要对晶圆进行电性导通测试，以确保在封装之前，晶圆上的集成电路（线路）能够导通并且不存在缺陷，从而能够判断晶圆为合格产品，因此晶圆测试是提高半导体器件良率的关键步骤之一。

2、然而，现有技术中，当在上游生产线完成晶圆的生产工艺后，上游生产线中还没有成熟的自动化设备对晶圆进行电性测试，导致晶圆只能流动到下游的生产线中，在下一道工序才能单独进行电性导通测试，这样就不能在上游生产线有效快速地确认晶圆产品的电路是否存在缺陷，无形中增加了生产的成本。

技术实现思路

1、基于此，本申请的目的在于提供一种产品测试设备，以解决现有晶圆生产过程中，不能在上游生产线有效快速地确认晶圆产品的电路是否存在缺陷的问题。

2、根据本申请的一个方面，提供一种产品测试设备，具有第一上下料工位、第二上下料工位及测试工位，所述产品测试设备包括：

3、第一上下料单元，设于所述第一上下料工位，所述第一上下料单元用于向所述测试工位提供第一形状的待测产品；

4、第二上下料单元，设于所述第二上下料工位，所述第二上下料单元用于向所述测试工位提供第二形状的待测产品；

5、测试单元，设于所述测试工位，所述测试单元包括对位装置及压接装置，所述对位装置用于获取所述待测产品的坐标，所述坐标用以使所述待测产品在所述测试工位的位置能够得到校正，所述压接装置用于在所述待测产品的位置被校正后压接于所述待测产品，以对所述待测产品的线路进行导通测试。

6、在其中一个实施例中，所述产品测试设备还包括输送单元，所述输送单元包括输送装置和可活动地设置在所述输送装置上的承载台，所述承载台用于承载所述待测产品；在所述输送装置的驱动下,所述承载台能够活动以校正所述待测产品的位置，并能够沿一输送方向输送所述待测产品。

7、在其中一个实施例中，所述产品测试设备还具有沿所述输送方向设于所述测试工位下游的复检工位，所述复检工位设有复检单元，所述复检单元包括第一复检相机和第二复检相机，所述第一复检相机用于对所述待测产品的表面是否存在线路缺陷进行复检，所述第二复检相机用于对所述待测产品的边缘是否存在线路缺陷进行复检。

8、在其中一个实施例中，所述产品测试设备还具有沿所述输送方向设于所述复检工位下游的翻转工位，所述翻转工位设有翻转单元，所述翻转单元用于在所述承载台承载所述待测产品到达所述翻转工位时，将翻转所述待测产品。

9、在其中一个实施例中，所述翻转单元包括升降模组和翻转件，所述翻转件连接于所述升降模组，并能在所述升降模组的驱动下沿竖直方向移动，以能从所述承载台取走所述待测产品或将所述待测产品放置于所述承载台上；所述翻转件还能够绕一水平延伸的轴线转动，以能从所述承载台取走所述待测产品后翻转所述待测产品。

10、在其中一个实施例中，所述第一上下料单元包括存储模块和机械手，所述存储模块用于存储所述第一形状的待测产品，所述机械手用于将所述第一形状的待测产品在所述存储模块与所述承载台之间转移。

11、在其中一个实施例中，所述第二上下料单元包括料台和移载组件，所述料台用于承载所述第二形状的待测产品，所述移载组件用于将所述第二形状的待测产品在所述料台与所述输送单元的承载台之间转移。

12、在其中一个实施例中，所述料台的上方设有定位相机，所述定位相机用于获取所述第二形状的待测产品在所述料台上的坐标，以使所述移载组件能够以设定的方向抓取所述第二形状的待测产品，从而能将所述第二形状的待测产品以设定的位姿放置在所述承载台上。

13、在其中一个实施例中，所述待测产品上具有相对设置的第一导通部和第二导通部，所述对位装置包括相对设置的第一对位机构和第二对位机构，所述压接装置包括与所述第一对位机构对应设置的第一压接机构和与所述第二对位机构对应设置的第二压接机构；

14、所述第一对位机构用于获取所述第一导通部的位置；所述第一压接机构用于基于所述第一导通部的位置调整自身位置，以能压接于所述第一导通部；

15、所述第二对位机构用于获取所述第二导通部的位置；所述第二压接机构用于基于所述第二导通部的位置调整自身位置，以能压接于所述第二导通部。

16、在其中一个实施例中，所述第一对位机构和/或所述第二对位机构分别包括两个间隔设置的对位相机，所述两个间隔设置的对位相机能够可受控地相互靠近或远离。

17、上述产品测试设备，通过设置有第一上下料工位、第二上下料工位及测试工位，并通过在第一上下料工位设置第一上下料单元，在第二上下料工位设置第二上下料单元，在测试工位设置测试单元，使得当不同形状的待测产品在上游生产线完成上一道的生产工序后，第一上下料单元能够向测试工位提供第一形状的待测产品，第二上下料单元能够向测试工位提供第二形状的待测产品，测试单元的对位装置能够获取第一上下料单元或第二上下料单元提供的待测产品的坐标，从而使待测产品在测试工位的位置能够得到校正，进而压接装置能够在待测产品的位置被校正后压接于待测产品，在整个测试过程中无需人工干涉，实现了全自动化操作，待测产品无需等到流动到下游生产线才能进行线路导通测试，从而实现了在上游生产线中便可快速有效地对不同形状的待测产品的线路进行导通测试，大大降低了生产成本。

技术特征：

1.一种产品测试设备，其特征在于，具有第一上下料工位、第二上下料工位及测试工位，所述产品测试设备包括：

2.根据权利要求1所述的产品测试设备，其特征在于，所述产品测试设备还包括输送单元，所述输送单元包括输送装置和可活动地设置在所述输送装置上的承载台，所述承载台用于承载所述待测产品；在所述输送装置的驱动下,所述承载台能够活动以校正所述待测产品的位置，并能够沿一输送方向输送所述待测产品。

3.根据权利要求2所述的产品测试设备，其特征在于，所述产品测试设备还具有沿所述输送方向设于所述测试工位下游的复检工位，所述复检工位设有复检单元，所述复检单元包括第一复检相机和第二复检相机，所述第一复检相机用于对所述待测产品的表面是否存在线路缺陷进行复检，所述第二复检相机用于对所述待测产品的边缘是否存在线路缺陷进行复检。

4.根据权利要求3所述的产品测试设备，其特征在于，所述产品测试设备还具有沿所述输送方向设于所述复检工位下游的翻转工位，所述翻转工位设有翻转单元，所述翻转单元用于在所述承载台承载所述待测产品到达所述翻转工位时，将翻转所述待测产品。

5.根据权利要求4所述的产品测试设备，其特征在于，所述翻转单元包括升降模组和翻转件，所述翻转件连接于所述升降模组，并能在所述升降模组的驱动下沿竖直方向移动，以能从所述承载台取走所述待测产品或将所述待测产品放置于所述承载台上；所述翻转件还能够绕一水平延伸的轴线转动，以能从所述承载台取走所述待测产品后翻转所述待测产品。

6.根据权利要求2所述的产品测试设备，其特征在于，所述第一上下料单元包括存储模块和机械手，所述存储模块用于存储所述第一形状的待测产品，所述机械手用于将所述第一形状的待测产品在所述存储模块与所述承载台之间转移。

7.根据权利要求2所述的产品测试设备，其特征在于，所述第二上下料单元包括料台和移载组件，所述料台用于承载所述第二形状的待测产品，所述移载组件用于将所述第二形状的待测产品在所述料台与所述输送单元的承载台之间转移。

8.根据权利要求7所述的产品测试设备，其特征在于，所述料台的上方设有定位相机，所述定位相机用于获取所述第二形状的待测产品在所述料台上的坐标，以使所述移载组件能够以设定的方向抓取所述第二形状的待测产品，从而能将所述第二形状的待测产品以设定的位姿放置在所述承载台上。

9.根据权利要求1所述的产品测试设备，其特征在于，所述待测产品上具有相对设置的第一导通部和第二导通部，所述对位装置包括相对设置的第一对位机构和第二对位机构，所述压接装置包括与所述第一对位机构对应设置的第一压接机构和与所述第二对位机构对应设置的第二压接机构；

10.根据权利要求9所述的产品测试设备，其特征在于，所述第一对位机构和/或所述第二对位机构分别包括两个间隔设置的对位相机，所述两个间隔设置的对位相机能够可受控地相互靠近或远离。

技术总结
本申请涉及一种产品测试设备，具有相邻设置的第一上下料工位、第二上下料工位和测试工位，第一上下料工位设有用于向测试工位提供第一形状的待测产品的第一上下料单元，第二上下料工位设有用于向测试工位提供第二形状的待测产品的第二上下料单元，测试工位设有测试单元，测试单元包括对位装置和压接装置，对位装置用于获取待测产品的坐标，以使得待测产品在测试工位的位置能够得到校正，压接装置用于在待测产品的位置被校正后压接于待测产品，以对待测产品的线路进行导通测试。使得整个测试过程实现了全自动化操作，从而实现了在上游生产线中便可快速有效地对不同形状的待测产品的线路进行导通测试，大大降低了生产成本。

技术研发人员：郭远忠,肖侯军
受保护的技术使用者：华兴源创（成都）科技有限公司
技术研发日：20240325
技术公布日：2024/12/5