一种电池片先驱体供给装置及其方法与流程
本发明涉及电池制造，尤其涉及一种电池片先驱体供给装置及其方法。
背景技术：
1、在太阳能电池片生产过程中需要背钝化，钝化物质在电池片表面形成钝化层，这有助于降低电池片表面的载流子复合，从而提高电池片的少子寿命和电池的整体性能，钝化层具有较高的化学稳定性和良好的绝缘特性，能够有效地阻挡载流子与硅片表面的接触，减少表面复合损失。电池片上形成钝化层目前采用ald和cvd的方式钝化，其中ald全称为atomic layer deposition（原子层沉积）是一种精密的薄膜沉积技术，在固体表面一层一层地精确沉积所需材料，从而形成厚度精确可控、均匀性极高的薄膜。cvd全称为chemical vapor deposition（化学气相沉积）是一种常用的材料合成方法，可以将含有预沉积元素或化合物的气体引入反应腔室，在适当的温度、压力和存在催化剂条件下，这些气体发生化学反应并沉积在基底表面上形成固态薄膜。
2、电池片背钝化采用的原子层沉积和化学气相沉积，由于原子层沉积和化学气相沉积的沉积原理不同，电池片背钝化多是采用单一的沉积方式。目前电池片沉积装置在供给先驱体时，只能够满足原子层沉积方式或者化学气相沉积方式中的一种。其中单一的沉积方式，无法同时满足电池片钝化层高精度沉积和电池片钝化层快速沉积到所需厚度，即无法保证电池片上高精度沉积的情况下缩短沉积时间，生产效率低。
技术实现思路
1、本发明的目的在于提供一种电池片先驱体供给装置及其方法，满足电池片钝化层高精度沉积的同时缩短电池片背钝化时间，解决了普通电池片背钝化生产效率低的问题。
2、为实现上述目的，第一方面，本发明提供了一种电池片先驱体供给装置，包括：基体组件，包括基板，所述基板上设置有通孔，用于流通气体；供气组件，安装在所述基板上，所述供气组件用以供应先驱体，所述先驱体包括第一先驱体和第二先驱体；第一分布组件，其安装在所述基板底端面，所述第一分布组件连接所述供气组件的出气端，所述第一分布组件用于喷射所述第一先驱体；第二分布组件，其安装在所述基板底端面，所述第二分布组件连接所述供气组件的出气端，所述第二分布组件用于喷射所述第二先驱体；工作状态下，所述第一分布组件和所述第二分布组件开启部分，以使其喷射的所述第一先驱体和所述第二先驱体不接触，用于在电池片上以原子层沉积方式形成钝化层，再将所述第一分布组件和所述第二分布组件全部开启，以使其喷射的所述第一先驱体和所述第二先驱体接触，用于在电池片以化学气相沉积方式形成钝化层。
3、本发明中，第一分布组件和第二分布组件开启部分，第一先驱体的分布区域与第二先驱体的分布区域之间存在空间间隔，第一先驱体和第二先驱体分区覆盖在电池片上，电池片在移动情况下使第一先驱体与第二先驱体结合，形成多层高精度致密的原子层沉积的氧化铝层，再转换为第一分布组件和第二分布组件全部开启，第一先驱体和第二先驱体在空中接触，并快速沉积形成化学气相沉积氧化铝层，并让氧化铝层达到所需厚度，实现了原子层沉积方式和化学气相沉积方式之间的转换，使电池片上氧化铝层同时满足高精度和快速沉积，提高了生产效率。
4、在一些实施例中，所述第一分布组件和所述第二分布组件均包括分布件和若干喷射件；所述第一分布组件的分布件和所述第二分布组件的分布件均与所述供气组件连接，用于输送所述先驱体；所述喷射件连接所述第一分布组件的分布件和所述第二分布组件的分布件，用于喷射所述先驱体；所述第一分布组件的若干个喷射件和第二分布组件的若干个喷射件间隔设置，并设置在同一水平面上。其有益效果在于：保证第一先驱体和第二先驱体喷射距离与底部的电池片相同，同时保证第一先驱体和第二先驱体喷射分布范围相同，进而更好的控制第一先驱体和第二先驱体的分布范围。
5、在一些实施例中，所述分布件包括分布杆；所述分布杆上设置若干连接孔，所述分布杆进气端连接所述供气组件，所述连接孔连接所述喷射件，所述分布杆用于输送所述先驱体，并导入若干所述喷射件。其有益效果在于：若干个喷射件通过分布杆快速的导入对应的第一先驱体和第二先驱体，并通过若干喷射件多段同步喷射第一先驱体和第二先驱体。
6、在一些实施例中，所述分布杆的截面为方形，所述分布杆上若干所述连接孔等间距设置，所述连接孔用于对应连接所述喷射件。其有益效果在于：截面为方形的分布杆便于匹配贴合连接在基板底端面，同时分布杆上等间距的若干连接孔对喷射件进行连接，让喷射件喷射的第一先驱体分布区域和第二先驱体分布区域等间距分布，更好的控制第一先驱体分布区域和第二先驱体分布区域空间间隔距离。
7、在一些实施例中，所述喷射件包括横杆、阀体、底板和喷射板；所述横杆用于输送所述先驱体；所述阀体一端连接所述横杆的进气端，另一端连接所述连接孔，用以截止或流通所述先驱体；所述底板连接在所述横杆的出气端，所述底板上开设有槽，用于流通气体；所述喷射板设置在横杆的出气端和所述底板之间，所述喷射板上设置若干喷射孔，所述喷射孔与所述槽对应，用以喷射所述先驱体。其有益效果在于：第一先驱体和第二先驱体通入横杆，通过阀体控制截止或者流通，以控制当前横杆的喷射状态，进而实现不同沉积模式的转换。
8、在一些实施例中，若干所述喷射孔设置在所述喷射板中部位置，并设置在同一直线上，用以在同一直线上喷射所述先驱体。其有益效果在于：若干喷射孔设置在喷射板中部位置，并设置在同一直线上，可更好的定位喷射板的喷射位置。
9、在一些实施例中，所述喷射孔的出气部分直径递增，其呈锥形，以使喷射所述先驱体分布区域为锥形。其有益效果在于：喷射孔的锥形出气部分喷射出的先驱体为锥形区域，更好的控制先驱体分布范围，并让气体分布更均匀。
10、在一些实施例中，所述供气组件包括分气板、第一管道和第二管道；所述分气板，其安装在所述基板顶端面，所述分气板连接所述第一管道和所述第二管道，用以分配所述第一先驱体和第二先驱体；所述第一管道的出气端连接所述第一分布组件的所述分布杆，用以输送所述第一先驱体；所述第二管道的出气端连接所述第二分布组件的所述分布杆，用以输送第二先驱体。其有益效果在于：第一管道和第二管道分别将第一先驱体和第二先驱体导入分布杆的一端，并通过分布杆内部中空腔进行分布，以供应多个喷射件。
11、在一些实施例中，所述基板的顶端面安装有顶板，所述顶板覆盖所述基板上所述通孔分布区域，并将所述基板顶端空间分隔为若干通道，以使所述先驱体在所述通道内流通。其有益效果在于：通过顶板上多个流通通道形成更强的负压环境，让第一先驱体和第二先驱体通过基板上通孔快速并集中导出，提高第一先驱体和第二先驱体导出效率。
12、在第二方面，本发明实施例提供一种电池片先驱体供给方法，应用在电池片先驱体供给装置，所述电池片先驱体供给方法包括：所述供气组件将所述第一先驱体导入第一分布组件，以及将所述第二先驱体导入第二分布组件；开启部分的所述第一分布组件和第二分布组件，让其分布的所述第一先驱体和第二先驱体不接触，以在电池片上以原子层沉积方式形成钝化层；再全部开启的所述第一分布组件和第二分布组件，让其分布的所述第一先驱体和第二先驱体接触，以在电池片上以化学气相沉积方式形成钝化层。
技术特征：
1.一种电池片先驱体供给装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的电池片先驱体供给装置，其特征在于：所述第一分布组件和所述第二分布组件均包括分布件和若干喷射件；
3.根据权利要求2所述的电池片先驱体供给装置，其特征在于：所述分布件包括分布杆；
4.根据权利要求3所述的电池片先驱体供给装置，其特征在于：所述分布杆的截面为方形，所述分布杆上若干所述连接孔等间距设置，所述连接孔用于对应连接所述喷射件。
5.根据权利要求3或4所述的电池片先驱体供给装置，其特征在于：所述喷射件包括横杆、阀体、底板和喷射板；
6.根据权利要求5所述的电池片先驱体供给装置，其特征在于：若干所述喷射孔设置在所述喷射板中部位置，并设置在同一直线上，用以在同一直线上喷射所述先驱体。
7.根据权利要求6所述的电池片先驱体供给装置，其特征在于：所述喷射孔的出气部分直径递增，其呈锥形，以使其喷射所述先驱体分布区域为锥形。
8.根据权利要求7所述的电池片先驱体供给装置，其特征在于：所述供气组件包括分气板、第一管道和第二管道；
9.根据权利要求1所述的电池片先驱体供给装置，其特征在于：所述基板的顶端面安装有顶板，所述顶板覆盖所述基板上所述通孔分布区域，并将所述基板顶端空间分隔为若干通道，以使所述先驱体在所述通道内流通。
10.一种电池片先驱体供给方法，其特征在于，应用在权利要求1-9任一项所述的电池片先驱体供给装置，所述电池片先驱体供给方法包括：
技术总结
本发明提供了一种电池片先驱体供给装置及其方法，其中装置包括：基体组件，包括基板，所述基板上设置有通孔，用于流通气体。本发明通过第一分布组件和第二分布组件开启部分，第一先驱体的分布区域与第二先驱体的分布区域之间存在空间间隔，电池片在移动情况下使第一先驱体与第二先驱体结合，形成多层高精度致密的原子层沉积的氧化铝层，再转换为第一分布组件和第二分布组件全部开启，第一先驱体和第二先驱体在空中接触，并快速沉积形成化学气相沉积氧化铝层，并让氧化铝层达到所需厚度，实现了原子层沉积方式和化学气相沉积方式之间的转换，使电池片上氧化铝层同时满足高精度和快速沉积，提高了生产效率。
技术研发人员：刘运宇,方士祺,张良,韩培丁
受保护的技术使用者：上海钧乾智造科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/12/5