行星架的制品夹具的制作方法

本发明涉及半导体，尤其是涉及一种行星架的制品夹具。

背景技术：

1、真空蒸镀，由于具有成膜简单、成膜纯度高以及成膜致密性好的特点，目前已经成为发展最早、使用最广泛的物理气相沉积技术。真空蒸镀在光电子、半导体、微加工等领域获得极其广泛的应用。真空蒸镀，通常采取电热丝、电子束等直接或间接的加热方式将盛放在容器内的固态蒸发料加热并使其气化，气化后的蒸发料扩散到制品表面，并吸附到制品表面而成膜，制品可以是晶圆、光学玻璃等。在真空蒸镀过程中，为了获得更加均匀的薄膜，需要利用制品夹具将制品固定在旋转的星架上。

2、然而，在利用正装式行星架在晶圆（即制品）表面镀膜时，发现：对于厚度较厚的晶圆，在形成薄膜的过程中，容易从行星架上掉落而碎裂；对于较薄的晶圆，不仅在装载以及卸载晶圆时，容易碎裂，甚至在形成薄膜的过程中，晶圆也会因碎裂而从行星架上掉落。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种行星架的制品夹具，能够根据晶圆的材质以及厚度定量调节晶圆所受到的压紧力，从而避免晶圆易掉片和碎片现象的发生。

2、本发明提供一种行星架的制品夹具，其包括夹持器、轨道、可移动基板、弹力调节机构和定位机构。

3、一种行星架的制品夹具，包括：

4、圆盘，用于承载晶圆，所述圆盘具有相互背离的第一面和第二面，晶圆置于所述第一面；

5、夹持器，设置于所述圆盘的所述第二面，用于夹持晶圆；

6、弹性连接器，设置于所述圆盘的所述第二面，所述弹性连接器与所述夹持器连接；

7、连接柱，设置于所述圆盘的所述第二面，且所述连接柱的中心位于所述圆盘的圆心处，所述连接柱与所述弹性连接器连接；

8、轨道，设置于所述圆盘的所述第二面，且所述轨道位于所述圆盘的圆心至所述圆盘的圆周之间；

9、可移动基板，可移动地设置于所述轨道；

10、弹力调节机构，设置于所述可移动基板，所述弹力调节机构通过所述连接柱与所述弹性连接器连接，所述弹力调节机构用于控制所述夹持器对晶圆的压紧力；以及，

11、定位机构，设置于所述轨道，用于将所述可移动基板固定在所述轨道的设定位置。

12、在一个实施例中，所述可移动基板包括：

13、扇环，可移动地设置于所述轨道；

14、限位块，设置于所述扇环；

15、手柄，设置于所述限位块，并且所述手柄延伸至所述圆盘的圆周之外；

16、定位孔，设置于所述扇环，并且所述定位孔为设置于所述扇环内表面的凹槽；以及，

17、安装孔，设置于所述扇环，并且所述安装孔为通孔，所述安装孔用于将所述限位块固定安装于所述扇环。

18、在一个实施例中，所述限位块包括间隔设置的第一限位块和第二限位块；

19、所述第一限位块的外边缘靠近所述扇环的外边缘设置；

20、所述第二限位块的内边缘靠近所述扇环的内边缘设置；

21、所述第一限位块包括：第一固定座和第一限位件，所述第一固定座的外侧设置所述手柄，所述第一固定座的内侧设置所述第一限位件；

22、所述第二限位块包括：第二固定座和第二限位件，所述第二固定座的外侧设置所述第二限位件

23、所述第一限位件和所述第二限位件等高设置；

24、所述轨道位于所述第一限位块和所述第二限位块形成的限位空间内。

25、在一个实施例中，所述轨道包括：

26、底表面部分，设置于所述圆盘的所述第二面，并于所述圆盘的所述第二面接触；

27、安装部分，一方面与所述底表面部分固定连接，另一方面固定设置于所述圆盘的所述第二面；

28、顶表面部分，位于底表面部分之上；

29、固定部分，位于所述顶表面部分，所述固定部分用于实现所述底表面部分和所述顶表面部分之间的固定连接；以及，

30、截止部分，位于所述顶表面部分，所述截止部分用于截止所述可移动基板的运动。

31、在一个实施例中，所述定位机构间隔设置于所述底表面部分和所述顶表面部分的内部；

32、所述定位机构包括：弹簧和与所述弹簧弹性连接的定位柱；

33、当所述可移动基板固定在所述轨道的设定位置时，所述定位柱被限定在所述定位孔中。

34、在一个实施例中，所述轨道的弧长大于所述扇环的弧长；

35、所述轨道的弧度大于或等于，且所述轨道的弧度小于或等于。

36、在一个实施例中，所述弹力调节机构包括：

37、第一柱体，所述第一柱体为正圆柱状柱体，且其直径为第一直径，在所述第一柱体的外侧壁具有螺纹；

38、第二柱体，与所述第一柱体固定连接，所述第二柱体为正棱柱状柱体，且其直径为第二直径，所述第二直径大于所述第一直径，在所述第二柱体的外侧壁具有刻度标尺；

39、支撑体，与所述第二柱体固定连接，所述支撑体为圆盘结构，所述支撑体的直径为第三直径，所述第三直径大于所述第二直径；以及，

40、固定件，所述第一柱体螺旋穿入所述固定件，所述固定件用于将固定连接的所述第一柱体、所述第二柱体和所述支撑体固定于所述可移动基板的背面。

41、在一个实施例中，所述固定件为固定螺母，并固定设置于所述扇环远离所述圆盘的表面，旋转所述支撑体以实现所述第一柱体沿着所述固定件的螺纹孔前后移动。

42、在一个实施例中，所述夹持器包括：

43、夹头基座，固定设置于所述圆盘；

44、卡块，固定设置于所述夹头基座，所述卡块高于所述圆盘的第一面；以及，

45、弹片，设置于所述卡块；

46、其中，所述卡块包括：卡身、分别设置于所述卡身侧面的两个卡臂、以及分别设置于两个所述卡臂侧面的两个卡手，两个所述卡手均与所述卡身平行，且两个所述卡手呈向内包围状，所述卡身、两个所述卡臂、和两个所述卡手围成一个具有开口的卡槽；

47、所述弹片包括：弧形面，以及设置在所述弧形面两端的两个折叠臂；所述弧形面设置于所述卡槽的开口处，两个所述折叠臂分别设置于所述卡槽的两个卡弯处。

48、在一个实施例中，所述行星架的制品夹具还包括：第一挡片、第二挡片、第三挡片，分别间隔设置于所述圆盘的圆周；

49、所述第一挡片、所述第二挡片、所述第三挡片与所述夹持器均用于固定晶圆。

50、在一个实施例中，所述圆盘的所述第一面的外边缘具有凸台，用于放置晶圆，所述凸台的内直径小于晶圆的直径，所述凸台的外直径等于所述圆盘的外直径，所述凸台的外直径大于晶圆的直径，所述凸台的厚度大于所述圆盘本体的厚度。

51、本发明的至少具备以下优点或有益效果：

52、1、本技术提供的行星架的制品夹具适用的行星架可以是正装式行星架。行星架的制品夹具包括：圆盘、夹持器、弹性连接器、连接柱、轨道、可移动基板、弹力调节机构和定位机构。将上述行星架的制品夹具装载到行星架以后，基于该行星架的制品夹具在行星架上的位置，使用者可以方便地将可移动基板固定在轨道的不同位置，进而将弹力调节机构定位在行星架不同位置，以便于使用者将行星架的制品夹具装载到行星架上后，就能够根据晶圆的厚度以及材质，通过调整弹力调节机构来调节弹性连接器的伸长量，实现对弹性连接器的弹力大小的调节，进而实现调节夹持器对晶圆（制品）的压紧力大小。因而，本技术提供的行星架的制品夹具不仅能够防止厚度较厚的晶圆由于压紧力不够，易从行星架上掉落而碎裂；也能够防止较薄的晶圆由于压紧力过大，而容易碎裂。

53、2、可移动基板结构简单、可移动的设置于轨道，并可以沿着轨道运行，方便调节弹力调节机构的位置。当行星架上设置多个行星架的制品夹具时，可以避免多个行星架的制品夹具之间的相互碰撞，节约空间。

54、3、可移动基板结构简单、可移动的设置于轨道，并可以沿着轨道运行，方便调节弹力调节机构的位置。当行星架上设置多个行星架的制品夹具时，可以避免多个行星架的制品夹具之间的相互碰撞，节约空间。

55、进一步细化了限位块的具体结构示意，限位块的结构设计便于与轨道的结合，用相对简化的结构实现可移动的功能，节省空间。

56、4、本实施例中，进一步细化了轨道的具体结构示意，轨道的结构设计便于将轨道固定于圆盘，也更有利于轨道与可移动基板的结合，以实现可移动基板在轨道中的灵活运动。

57、5、弹簧与定位柱弹性连接，当可移动基板需要在轨道上进行移动时，使用者可通过手柄沿预设方向推动，以使得可移动基板的扇环向下按压定位柱，同时弹簧相对收缩状态；当可移动基板需要在轨道上进行固定时，弹簧处于相对舒张状态，定位柱位于可移动基板的定位孔中，以实现可移动基板的移动和定位。

58、6、夹持器设置有弧形的弹片，且弹片的硬度，从弧形面的顶部到底部，逐渐减小。这有利于在直线弹簧的弹力调节的过程中，弧形面根据晶圆的形状发生弹性形变，实现弧形面和晶圆的边缘的面接触，减小夹持器给晶圆边缘的压强，从而有利于防止较薄晶圆的碎裂。

技术特征：

1.一种行星架的制品夹具，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的行星架的制品夹具，其特征在于，所述可移动基板（60）包括：

3.根据权利要求2所述的行星架的制品夹具，其特征在于，所述限位块（63）包括间隔设置的第一限位块（63-1）和第二限位块（63-2）；

4.根据权利要求3所述的行星架的制品夹具，其特征在于，所述轨道（50）包括：

5.根据权利要求4所述的行星架的制品夹具，其特征在于，所述定位机构（80）间隔设置于所述底表面部分（52）和所述顶表面部分（51）的内部；

6.根据权利要求5所述的行星架的制品夹具，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的行星架的制品夹具，其特征在于，所述弹力调节机构（70）包括：

8.根据权利要求7所述的行星架的制品夹具，其特征在于，所述固定件（72）为固定螺母，并固定设置于所述扇环（61）远离所述圆盘（20）的表面，旋转所述支撑体（74）以实现所述第一柱体（71）沿着所述固定件（72）的螺纹孔前后移动。

9.根据权利要求8所述的行星架的制品夹具，其特征在于，所述夹持器（10）包括：

10.根据权利要求9所述的行星架的制品夹具，其特征在于，所述行星架的制品夹具（100）还包括：第一挡片（10-1）、第二挡片（10-2）、第三挡片（10-3），分别间隔设置于所述圆盘（20）的圆周；

11.根据权利要求10所述的行星架的制品夹具，其特征在于，所述圆盘（20）的所述第一面的外边缘具有凸台（21），用于放置晶圆（200），所述凸台（21）的内直径小于晶圆（200）的直径，所述凸台（21）的外直径等于所述圆盘（20）的外直径，所述凸台（21）的外直径大于晶圆（200）的直径，所述凸台（21）的厚度大于所述圆盘（20）本体的厚度。

技术总结
本发明提供了一种行星架的制品夹具。行星架的制品夹具包括：圆盘、夹持器、弹性连接器、连接柱、轨道、可移动基板、弹力调节机构和定位机构。将上述行星架的制品夹具装载到行星架以后，基于该行星架的制品夹具在行星架上的位置，使用者可以方便地将可移动基板固定在轨道的不同位置，进而将弹力调节机构定位在行星架不同位置，以便于使用者根据晶圆的厚度以及材质，通过调整弹力调节机构来调节弹性连接器的伸长量，实现对弹性连接器的弹力大小的调节，进而实现调节夹持器对晶圆的压紧力大小。上述行星架的制品夹具不仅能够防止厚度较厚的晶圆由于压紧力不够，易从行星架上掉落而碎裂；也能够防止较薄的晶圆由于压紧力过大，而容易碎裂。

技术研发人员：任雄,李美,梁小龙,李海军
受保护的技术使用者：天水天光半导体有限责任公司
技术研发日：
技术公布日：2024/12/5