光阻自动更换系统和涂胶显影设备的制作方法
本技术涉及半导体，尤其涉及一种光阻自动更换系统和涂胶显影设备。
背景技术：
1、光刻工艺是半导体制程工艺中的常用工艺。光阻(photoresist，pr)，也称为光刻胶或光阻剂，是指通过紫外光、深紫外光、电子束、离子束、x射线等光照或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀刻薄膜材液，是光刻工艺中的关键材液，主要应用于集成电路和半导体分立器件的细微图形加工。
2、目前，涂胶显影设备(track)中光阻更换一般是在光阻用空，机台发生光阻报空警报后，工作人员确认要更换的光阻信息，线上更换光刻胶的两个工作人员穿戴防护服(ppe)进行光阻的更换和确认。但该光阻更换方式存在以下问题：
3、(1)需要人工更换光阻，更换过程中有容器倒掉和光阻更换错误的风险，发生光阻换错或使用到过期光阻将会引起产品品质不稳定，甚至报废芯片，而且存在人体吸入或者皮肤接触光刻胶等而导致危害健康的风险；
4、(2)当光阻用空后，机台发生光阻报空警报后，机台停止工作处于暂停状态，严重影响了机台产出效率；
5、(3)当前业界添加光阻方式为哪台机台发生警报，便更换哪台机台的光阻，在产量大的车间需要安排专人进行光阻更换，导致人力增加。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供一种光阻自动更换系统和涂胶显影设备，不仅能对光阻瓶提前进行退冰处理，而且建立光阻自动更换系统，使得不仅节省人力，而且大大提高了光阻更换的效率，缩短了宕机时间，提升了机台产出效率，降低了人身风险，且能有效避免光阻换错风险。
2、为实现上述目的，本实用新型的所述光阻自动更换系统，包括：
3、处理模块，用于分析接收的信息并发送指令；
4、光阻用量监测模块，与所述处理模块连接，所述光阻用量监测模块用于监测涂胶显影设备中光阻瓶的光阻用量信息并发送给所述处理模块；
5、光阻瓶存储模块，包括光阻瓶存放设备和自动调温单元，所述光阻瓶存放设备内存储有新光阻瓶，所述自动调温单元设置于所述光阻瓶存放设备并与所述处理模块连接，所述自动调温单元用于根据所述处理模块的调温指令调节所述光阻瓶存放设备内的温度，以使所述光阻瓶存放设备内的所述新光阻瓶提前完成退冰处理；
6、光阻瓶传输模块，与所述处理模块连接，所述光阻瓶传输模块用于根据所述处理模块的传输指令在所述光阻瓶存放设备和所述涂胶显影设备之间传输所述光阻瓶，所述光阻瓶包括所述新光阻瓶和空光阻瓶；
7、自动跑货控制模块，与所述光阻用量监测模块连接，所述自动跑货控制模块用于根据所述光阻用量信息控制所述涂胶显影设备中晶圆的传输。
8、优选的，所述涂胶显影设备包括所述的光阻自动更换系统。
9、本实用新型的所述光阻自动更换系统和包括所述光阻自动更换系统的有益效果在于：通过光阻用量监测模块与所述处理模块连接，所述光阻用量监测模块用于监测涂胶显影设备中光阻瓶的光阻用量信息并发送给所述处理模块，光阻瓶存储模块包括光阻瓶存放设备和自动调温单元，所述光阻瓶存放设备内存储有新光阻瓶，所述自动调温单元设置于所述光阻瓶存放设备并与所述处理模块连接，所述自动调温单元用于根据所述处理模块的调温指令调节所述光阻瓶存放设备内的温度，以使所述光阻瓶存放设备内的所述新光阻瓶提前完成退冰处理，使得所述处理模块能根据涂胶显影设备中光阻瓶的光阻用量控制所述自动调温单元对所述光阻瓶存放设备内的所述新光阻瓶进行升温处理，从而使得可自动按需按时对所述新光阻瓶提前完成退冰处理，保证了光阻的质量，大大节省了时间，不要人力提前准备，规避断料的风险；通过光阻瓶传输模块与所述处理模块连接，所述光阻瓶传输模块用于根据所述处理模块的传输指令在所述光阻瓶存放设备和所述涂胶显影设备之间传输所述光阻瓶，即建立光阻自动更换系统，不仅节省人力，而且大大提高了光阻更换的效率，使得机台发生光阻报空警报后无需长时间停止工作，即缩短了宕机时间，提升了机台产出效率，而且无需安排专人进行光阻更换，降低了人身风险，且能有效避免光阻换错风险。
10、优选的，所述光阻瓶存放设备包括若干个光阻瓶存放柜，所述自动调温单元设有若干个且一一对应设置于若干个所述光阻瓶存放柜内，所述自动调温单元用于根据所述处理模块的调温指令调节所述光阻瓶存放柜内的温度，以使该光阻瓶存放柜内存储的所述新光阻瓶提前完成退冰处理。其有益效果在于：即每个光阻瓶存放柜均单独有自动控温功能，使得所述处理模块能根据涂胶显影设备中光阻瓶的光阻用量和光阻种类控制放置有对应光阻种类的所述光阻瓶存放柜内的自动调温单元进行升温处理，从而使该光阻瓶存放柜内存储的所述新光阻瓶提前完成退冰处理，大大节省了时间，不要人力提前准备，规避断料的风险，使得机台发生光阻报空警报后无需长时间停止工作，即缩短了宕机时间，提升了机台产出效率，而且使得可自动按需按时对所述新光阻瓶完成退冰处理，保证了光阻的质量。
11、优选的，所述光阻瓶传输模块包括若干运输单元，若干所述运输单元的一端分别与若干所述涂胶显影设备一一对应连接，若干所述运输单元的另一端均与所述光阻瓶存放设备连接。其有益效果在于：即每个所述涂胶显影设备均单独设置有运输单元，提高了光阻瓶传输的效率，从而大大提高了光阻更换的效率，使得机台发生光阻报空警报后无需长时间停止工作，即缩短了宕机时间，提升了机台产出效率，而且无需安排专人进行光阻更换，节省了人力。
12、优选的，所述运输单元包括运输轨道，且所述运输轨道设置于所述涂胶显影设备所在车间的地板内。其有益效果在于：运输轨道不占用车间地面的公共区域，不仅节省了车间内的空间，而且保证了光阻瓶运输的安全性和高效性。
13、优选的，所述光阻瓶传输模块还包括第一机械臂和若干第二机械臂，所述第一机械臂靠近所述光阻瓶存放设备设置，以用于在所述光阻瓶存放设备和所述运输单元之间传输所述光阻瓶，所述第二机械臂靠近所述涂胶显影设备设置，且若干所述第二机械臂分别与若干所述涂胶显影设备一一对应设置，以用于在所述涂胶显影设备和所述运输单元之间传输所述光阻瓶。其有益效果在于：大大提高了光阻更换的效率，使得机台发生光阻报空警报后无需长时间停止工作，即缩短了宕机时间，提升了机台产出效率，而且无需安排专人进行光阻更换，节省了人力。
14、优选的，所述光阻用量监测模块包括第一监测单元，所述第一监测单元设置于所述涂胶显影设备中光阻瓶的外围，所述第一监测单元用于监测到所述光阻瓶内的光阻液位低于第一监测单元时向所述处理模块发送第一光阻用量信息，所述处理模块用于根据所述第一光阻用量信息向所述自动调温单元发送调温指令。其有益效果在于：以便所述自动调温单元能及时对光阻瓶存放柜内存储的所述新光阻瓶进行升温处理，从而使该光阻瓶存放柜内存储的所述光阻瓶提前完成退冰处理，大大节省了时间，不要人力提前准备，规避断料的风险，使得机台发生光阻报空警报后无需长时间停止工作，即缩短了宕机时间，提升了机台产出效率，而且使得可自动按需按时对所述新光阻瓶完成退冰处理，保证了光阻的质量。
15、优选的，所述光阻用量监测模块包括第二监测单元，所述第二监测单元设置于所述涂胶显影设备中光阻瓶的外围且靠近所述光阻瓶的底部设置，所述第二监测单元用于监测到所述光阻瓶内的光阻液位低于第二监测单元时向所述处理模块和所述自动跑货控制模块发送第二光阻用量信息，所述处理模块用于根据所述第二光阻用量信息向所述光阻瓶传输模块发送传输指令，所述自动跑货控制模块用于根据所述第二光阻用量信息控制所述涂胶显影设备中晶圆的传输。其有益效果在于：使得所述光阻瓶传输模块能及时取放和/或传输所述光阻瓶，从而大大提高了光阻更换的效率，使得机台发生光阻报空警报后无需长时间停止工作，即缩短了宕机时间，提升了机台产出效率，而且无需安排专人进行光阻更换，节省了人力。
16、优选的，任意2个所述光阻瓶存放柜内存储的所述新光阻瓶的光阻种类相同或不同，且所述光阻瓶存放柜内存储有至少一个未使用的所述新光阻瓶。其有益效果在于：使得可根据涂胶显影设备中光阻的用量和种类灵活地在所述光阻瓶存放柜内存放所述新光阻瓶。
17、优选的，所述光阻自动更换系统还包括报警模块，所述报警模块与所述处理模块连接，所述处理模块用于根据所述第二光阻用量信息控制所述报警模块发出报空警报。其有益效果在于：提供双重保障，提醒工作人员要进行光阻更换，避免出现，出现断料风险或在出现光阻换错后能及时进行人为干涉。
18、优选的，所述自动跑货控制模块通过semi协议与所述涂胶显影设备和所述处理模块连接。其有益效果在于：以便于能快速处理所述涂胶显影设备的跑货和机台信息。
技术特征：
1.一种光阻自动更换系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光阻自动更换系统，其特征在于，所述光阻瓶存放设备包括若干个光阻瓶存放柜，所述自动调温单元设有若干个且一一对应设置于若干个所述光阻瓶存放柜内，所述自动调温单元用于根据所述处理模块的调温指令调节所述光阻瓶存放柜内的温度，以使该光阻瓶存放柜内存储的所述新光阻瓶提前完成退冰处理。
3.根据权利要求1所述的光阻自动更换系统，其特征在于，所述光阻瓶传输模块包括若干运输单元，若干所述运输单元的一端分别与若干所述涂胶显影设备一一对应连接，若干所述运输单元的另一端均与所述光阻瓶存放设备连接。
4.根据权利要求3所述的光阻自动更换系统，其特征在于，所述运输单元包括运输轨道，且所述运输轨道设置于所述涂胶显影设备所在车间的地板内。
5.根据权利要求3所述的光阻自动更换系统，其特征在于，所述光阻瓶传输模块还包括第一机械臂和若干第二机械臂，所述第一机械臂靠近所述光阻瓶存放设备设置，以用于在所述光阻瓶存放设备和所述运输单元之间传输所述光阻瓶，所述第二机械臂靠近所述涂胶显影设备设置，且若干所述第二机械臂分别与若干所述涂胶显影设备一一对应设置，以用于在所述涂胶显影设备和所述运输单元之间传输所述光阻瓶。
6.根据权利要求1所述的光阻自动更换系统，其特征在于，所述光阻用量监测模块包括第一监测单元，所述第一监测单元设置于所述涂胶显影设备中光阻瓶的外围，所述第一监测单元用于监测到所述光阻瓶内的光阻液位低于第一监测单元时向所述处理模块发送第一光阻用量信息，所述处理模块用于根据所述第一光阻用量信息向所述自动调温单元发送调温指令。
7.根据权利要求1或6所述的光阻自动更换系统，其特征在于，所述光阻用量监测模块包括第二监测单元，所述第二监测单元设置于所述涂胶显影设备中光阻瓶的外围且靠近所述光阻瓶的底部设置，所述第二监测单元用于监测到所述光阻瓶内的光阻液位低于第二监测单元时向所述处理模块和所述自动跑货控制模块发送第二光阻用量信息，所述处理模块用于根据所述第二光阻用量信息向所述光阻瓶传输模块发送传输指令，所述自动跑货控制模块用于根据所述第二光阻用量信息控制所述涂胶显影设备中晶圆的传输。
8.根据权利要求2所述的光阻自动更换系统，其特征在于，任意2个所述光阻瓶存放柜内存储的所述新光阻瓶的光阻种类相同或不同，且所述光阻瓶存放柜内存储有至少一个未使用的所述新光阻瓶。
9.根据权利要求7所述的光阻自动更换系统，其特征在于，还包括报警模块，所述报警模块与所述处理模块连接，所述处理模块用于根据所述第二光阻用量信息控制所述报警模块发出报空警报。
10.一种涂胶显影设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的光阻自动更换系统。
技术总结
本技术提供了一种光阻自动更换系统和涂胶显影设备，光阻自动更换系统，包括处理模块、光阻瓶存储模块、分别与处理模块连接的光阻用量监测模块和光阻瓶传输模块、以及与光阻用量监测模块连接的自动跑货控制模块；光阻瓶存储模块包括光阻瓶存放设备和自动调温单元，光阻瓶存放设备内存储有新光阻瓶，自动调温单元设置于光阻瓶存放设备并与处理模块连接，自动调温单元用于根据处理模块的调温指令调节光阻瓶存放设备内的温度，以使光阻瓶存放设备内的新光阻瓶提前完成退冰处理。本技术通过对光阻瓶提前进行退冰处理，以及建立光阻自动更换系统，使得节省了人力，提高了光阻更换的效率，缩短了宕机时间，提升了机台产出效率，降低了人身风险。
技术研发人员：谢世明,石小瑜
受保护的技术使用者：芯恩（青岛）集成电路有限公司
技术研发日：20240306
技术公布日：2024/12/5