单晶炉用法兰环装置的制作方法

本技术涉及法兰环，特别涉及一种单晶炉用法兰环装置。

背景技术：

1、在直拉单晶行业中，单晶炉是将多晶硅原料转化为单晶硅棒的重要设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础材料。目前在直拉单晶硅棒生产中为提升产能控制生产成本，在拉制完成一棒单晶硅棒后，通常采用加料器往单晶炉内石英埚中复投多晶硅原料，实现一炉拉制多棒单晶硅棒的效果。在使用加料器复投料工序过程中，需要加料器与单晶炉相对固定，常规的固定操作是在单晶炉小副室处设一法兰环，法兰环通过人工取放。在加料时，通过下降加料器使加料器自身法兰环到达单晶炉小副室处法兰环上，小副室处法兰环内径小于加料器自身法兰环外径，小副室处法兰环起到支撑加料器的作用，实现加料器与单晶炉相对固定。

2、常规的操作采用人工取放法兰环，当人员疏忽忘记摆放法兰环时加料器降至炉内与硅液接触造成生产事故。另外，当人工放置法兰环后，法兰环与单晶炉保持相对静止，法兰环的直径小于单晶炉小副室的内径并且不可调整，这会导致在不需要加料的生产过程中，法兰环会占据单晶炉小副室的一部分空间，当加料器更换尺寸时，也需要更换配套尺寸的法兰环。另外，当加料器碎裂掉入炉内或原料带入其他杂质时，需要把杂质提出，由于杂质尺寸大小不一，当杂质尺寸大于法兰环内径时提杂工作不能进行。而且，由于拉晶过程中炉内及晶棒高温，当晶棒发生晃动时，存在晶棒晃动碰到法兰环造成事故的风险。

技术实现思路

1、有鉴于此，本实用新型提供一种单晶炉用法兰环装置，用以解决加料器更换尺寸时需要人工取放法兰环，存在由于操作人员疏忽造成加料器与硅液接触造成生产事故的问题，不用人工取放法兰环，并且可以在不加料时，不占据小副室的空间，法兰环的直径也可以根据加料器的直径调整，便于单晶硅生产。

2、为解决上述技术问题，本实用新型提供一种单晶炉用法兰环装置，用于单晶炉与加料器的固定，单晶炉包括顶端设置有小副室的主室和与小副室连接的副室，单晶炉用法兰环装置包括：

3、法兰环固定座，法兰环固定座的底部用于与小副室连接，法兰环固定座的顶部用于与副室连接，法兰环固定座为中心设有轴向通孔的环状结构，并且其侧壁设置有与通孔连通的环形凹槽；

4、驱动机构，驱动机构的第一端与法兰环固定座的外侧壁连接，第二端穿透法兰环固定座的侧壁至通孔；

5、法兰组件，容纳在法兰环固定座的环形凹槽内并且与驱动机构的第二端连接，以在驱动机构的驱动下完全缩回在环形凹槽内或者从环形凹槽内伸出至通孔内。

6、在本实用新型的一个实施例中，法兰组件包括至少两个子法兰，至少两个子法兰在驱动机构的驱动下从环形凹槽内伸出至通孔内时拼接成环状法兰，

7、其中，驱动机构包括分别驱动每个子法兰的多个子驱动机构，并且每个子驱动机构的驱动方向沿法兰环固定座的径向方向。

8、在本实用新型的一个实施例中，子驱动机构包括：

9、驱动件，与法兰环固定座连接；

10、推杆，一端与驱动件连接，另一端穿透法兰环固定座的侧壁与子法兰连接。

11、在本实用新型的一个实施例中，每个子法兰的其中一端上设有第一定位销，另一端设有与第一定位销配合的第一定位孔，相邻子法兰通过端部的第一定位销和第一定位孔彼此拼接成环状法兰。

12、在本实用新型的一个实施例中，法兰环固定座的顶部设有第二定位销，副室的底部设有与第二定位销配合的第二定位孔，第二定位孔用于与第二定位销配合，以使法兰环固定座与副室固定在一起。

13、在本实用新型的一个实施例中，还包括：

14、多个密封组件，成中空管状结构并且设置在每个子驱动机构的驱动件和法兰环固定座之间，以密封每个子驱动机构的驱动件和法兰环固定座之间的推杆。

15、在本实用新型的一个实施例中，法兰环固定座上设有分别与子驱动机构对应的驱动固定座，子驱动机构的驱动件固定在驱动固定座上。

16、在本实用新型的一个实施例中，法兰组件包括两个半圆的第一子法兰和第二子法兰，驱动机构包括与第一子法兰连接的第一驱动机构和与第二子法兰连接的第二驱动机构，其中第一驱动机构与第二驱动机构对称设置。

17、在本实用新型的一个实施例中，驱动件为气缸。

18、在本实用新型的一个实施例中，密封组件为波纹管。

19、本实用新型的上述技术方案的有益效果如下：

20、本实用新型的单晶炉用法兰环装置，通过设置驱动机构和法兰组件，以使法兰组件的直径根据加料器或者提杂工作进行调整。相对于传统法兰环装置需要人工干预，本实用新型减少了操作人员的更换步骤，提高了拉晶效率。同时法兰环固定座可以固定驱动机构和法兰组件，防止操作人员由于忘记添加法兰环而造成事故，提高了生产安全性。

技术特征：

1.一种单晶炉用法兰环装置，用于单晶炉与加料器的固定，所述单晶炉包括顶端设置有小副室的主室和与所述小副室连接的副室，其特征在于，所述单晶炉用法兰环装置包括：

2.根据权利要求1所述的单晶炉用法兰环装置，其特征在于，所述法兰组件包括至少两个子法兰，至少两个所述子法兰在所述驱动机构的驱动下从所述环形凹槽内伸出至所述通孔内时拼接成环状法兰，

3.根据权利要求2所述的单晶炉用法兰环装置，其特征在于，所述子驱动机构包括：

4.根据权利要求3所述的单晶炉用法兰环装置，其特征在于，每个所述子法兰的其中一端上设有第一定位销，另一端设有与所述第一定位销配合的第一定位孔，相邻所述子法兰通过端部的所述第一定位销和所述第一定位孔彼此拼接成所述环状法兰。

5.根据权利要求4所述的单晶炉用法兰环装置，其特征在于，所述法兰环固定座的顶部设有第二定位销，所述副室的底部设有与所述第二定位销配合的第二定位孔，第二定位孔用于与所述第二定位销配合，以使所述法兰环固定座与所述副室固定在一起。

6.根据权利要求5所述的单晶炉用法兰环装置，其特征在于，还包括：

7.根据权利要求6所述的单晶炉用法兰环装置，其特征在于，所述法兰环固定座上设有分别与所述子驱动机构对应的驱动固定座，所述子驱动机构的驱动件固定在所述驱动固定座上。

8.根据权利要求7所述的单晶炉用法兰环装置，其特征在于，所述法兰组件包括两个半圆的第一子法兰和第二子法兰，所述驱动机构包括与所述第一子法兰连接的第一驱动机构和与所述第二子法兰连接的第二驱动机构，其中所述第一驱动机构与所述第二驱动机构对称设置。

9.根据权利要求8所述的单晶炉用法兰环装置，其特征在于，所述驱动件为气缸。

10.根据权利要求9所述的单晶炉用法兰环装置，其特征在于，所述密封组件为波纹管。

技术总结
本技术提供一种单晶炉用法兰环装置，用于单晶炉与加料器的固定，单晶炉包括顶端设置有小副室的主室和与小副室连接的副室，法兰环装置包括：法兰环固定座，法兰环固定座的底部与小副室连接，法兰环固定座的顶部与副室连接，法兰环固定座为中心设有轴向通孔的环状结构，并且其侧壁设置有与通孔连通的环形凹槽；驱动机构，驱动机构的第一端与法兰环固定座的外侧壁连接，第二端穿透法兰环固定座的侧壁至通孔；法兰组件，容纳在法兰环固定座的环形凹槽内并且与驱动机构的第二端连接。本技术通过设置驱动机构和法兰组件，以使法兰组件的直径可以根据加料器或者提杂工作进行调整，减少了更换步骤，提高了拉晶效率。

技术研发人员：王甫朝,宋克冉,武绚丽,颜玉峰,孙须良
受保护的技术使用者：曲靖晶澳光伏科技有限公司
技术研发日：20240115
技术公布日：2024/12/5