半导体设备的通信网络的制作方法

本发明实施例涉及半导体制造领域，尤其涉及一种半导体设备的通信网络。

背景技术：

1、通信网络，是指将各个孤立的设备进行物理连接，实现人与人，人与计算机，计算机与计算机之间进行信息交换的链路，从而达到资源共享和通信的目的。

2、如今半导体行业，设备上会出现多种通信方式相结合的控制方式，来实现主控器件对底层器件的控制。例如：ethernet、devicenet、fins、串口通信等。面对不同的通信方式需要不同的通信模块与之适配，不同的通信方式对应的接口形式以及通信协议亦不尽相同，这不仅增加了设备开发时的成本，同样也增大了后期开发人员对设备的维护成本，上述通信方式，由于不支持通信网络冗余，因此一旦中间一个从站连接的通信线路断开将导致后续的从站全部断连的情况，因此传统通信方式的网络鲁棒性较低，不利于设备的稳定运行。

3、目前，半导体设备的通信网络的鲁棒性有待提高。

技术实现思路

1、本发明实施例解决的问题是提供一种半导体设备的通信网络，以提高半导体设备的通信网络的鲁棒性。

2、为解决上述问题，本发明实施例提供一种半导体设备的通信网络，包括：主站；一个或多个从站组，所述从站组包括多个从站；主用链路，设置于所述主站与所述从站组之间、以及相邻所述从站之间，所述主站与所述从站组中的多个从站通过所述主用链路实现信号连接，且所述主站与所述从站组中的多个从站通过所述主用链路构成串联通路；冗余链路，设置于所述主站与所述串联通路的末端的从站之间，所述主站与所述串联通路的末端的从站通过所述冗余链路实现信号连接，所述主站与所述从站组通过所述主用链路、以及所述主站与所述从站组通过所述冗余链路构成环形链路，且所述主用链路与所述冗余链路的通讯方式相一致。

3、可选的，所述主站包括多组通信端口组，每组通信端口组对应一个从站组；所述通信端口组包括第一网口和第二网口，所述第一网口用于与主用链路信号连接，所述第二网口用于与所述冗余链路信号连接。

4、可选的，所述从站包括第三网口，相邻所述从站之间的第三网口与主用链路信号连接，且所述串联通路末端的从站的第三网口与所述冗余链路信号连接，所述串联通路首端的从站的第三网口与所述主站通过所述主用链路信号连接。

5、可选的，所述从站组中的多个从站具有多种功能；所述环形链路中主站与所述从站组中的多个从站通过数据帧实现数据传送，且所述数据帧包括多个数据报文，每个所述数据报文与同种功能的所述从站进行数据传送。

6、可选的，在所述从站组中，同种功能的所述从站为一个或多个；所述数据报文包括一个或多个子数据报文，所述子数据报文具有与同种功能的一个或多个从站相对应的目标地址和数据负载。

7、可选的，所述数据帧还包括标志位，设置于相邻所述数据报文之间。

8、可选的，多个所述从站组的功能不一致，且所述从站组中的多个从站的功能相一致。

9、可选的，所述环形链路中主站与所述从站组中的多个从站通过数据帧实现数据传送，且所述数据帧包括一个数据报文，所述数据报文与所述从站组中的多个从站相数据传送。

10、可选的，所述从站组的功能包括安全从站组、运动从站组或普通从站组。

11、可选的，所述安全从站组的安全等级系数高于所述运动从站组的安全等级系数；所述运动从站组的安全等级系数高于所述普通从站组的安全等级系数。

12、可选的，所述从站的功能包括安全从站、运动从站或普通从站。

13、可选的，所述安全从站的安全等级系数高于所述运动从站的安全等级系数；所述运动从站的安全等级系数高于所述普通从站的安全等级系数。

14、可选的，所述从站包括一个或多个插拔模块，所述插拔模块具有通讯端口；所述从站包括多个插拔模块时，相邻所述插拔模块通过所述通讯端口实现信号连接。

15、可选的，所述主用链路的通讯方式包括ethercat、profinet、modbus tcp或ethernet/ip；所述冗余链路的通讯方法包括ethercat、profinet、modbus tcp或ethernet/ip。

16、与现有技术相比，本发明实施例的技术方案具有以下优点：

17、本发明实施例提供的半导体设备的通信网络，主用链路设置于主站与从站组之间、以及相邻从站之间，主站与从站组中的多个从站通过主用链路实现信号连接，且主站与从站组中的多个从站通过主用链路构成串联通路；冗余链路设置于主站与串联通路的末端的从站之间，主站与串联通路的末端的从站通过冗余链路实现信号连接，主站与从站组通过主用链路、以及主站与从站组通过冗余链路构成环形链路，且主用链路与冗余链路的通讯方式相一致，相较于现有主站与从站组之间、以及相邻从站之间仅设置主用链路的方案，本发明实施例通过在主站与串联通路的末端的从站之间设置冗余链路，使主站与从站组通过主用链路、以及主站与从站组通过冗余链路构成环形链路，即使串联通路的某处主用链路出现断连时，主站依旧可以通过冗余链路绕过断连的主用链路，通过串联通路的末端的从站与断连的主用链路的后续从站实现数据接送，同时，主站通过主用链路与断连的主用链路的前续从站实现数据接送，也就是说，即使串联通路的某处主用链路出现断连时，主站依旧可以通过主用链路和冗余链路与从站组中的多个从站实现数据接送的功能，降低了因主用链路出现断连发生设备出现宕机的概率，从而提高了半导体设备的通信网络的鲁棒性。

技术特征：

1.一种半导体设备的通信网络，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的半导体设备的通信网络，其特征在于，所述主站包括多组通信端口组，每组通信端口组对应一个从站组；

3.如权利要求1所述的半导体设备的通信网络，其特征在于，所述从站包括第三网口，相邻所述从站之间的第三网口与主用链路信号连接，且所述串联通路末端的从站的第三网口与所述冗余链路信号连接，所述串联通路首端的从站的第三网口与所述主站通过所述主用链路信号连接。

4.如权利要求1所述的半导体设备的通信网络，其特征在于，所述从站组中的多个从站具有多种功能；

5.如权利要求4所述的半导体设备的通信网络，其特征在于，在所述从站组中，同种功能的所述从站为一个或多个；

6.如权利要求4所述的半导体设备的通信网络，其特征在于，所述数据帧还包括标志位，设置于相邻所述数据报文之间。

7.如权利要求1所述的半导体设备的通信网络，其特征在于，多个所述从站组的功能不一致，且所述从站组中的多个从站的功能相一致。

8.如权利要求7所述的半导体设备的通信网络，其特征在于，所述环形链路中主站与所述从站组中的多个从站通过数据帧实现数据传送，且所述数据帧包括一个数据报文，所述数据报文与所述从站组中的多个从站相数据传送。

9.如权利要求7所述的半导体设备的通信网络，其特征在于，所述从站组的功能包括安全从站组、运动从站组或普通从站组。

10.如权利要求9所述的半导体设备的通信网络，其特征在于，所述安全从站组的安全等级系数高于所述运动从站组的安全等级系数；

11.如权利要求4或7所述的半导体设备的通信网络，其特征在于，所述从站的功能包括安全从站、运动从站或普通从站。

12.如权利要求11所述的半导体设备的通信网络，其特征在于，所述安全从站的安全等级系数高于所述运动从站的安全等级系数；

13.如权利要求1所述的半导体设备的通信网络，其特征在于，所述从站包括一个或多个插拔模块，所述插拔模块具有通讯端口；

14.如权利要求1所述的半导体设备的通信网络，其特征在于，所述主用链路的通讯方式包括ethercat、profinet、modbus tcp或ethernet/ip；

技术总结
一种半导体设备的通信网络，半导体设备的通信网络包括：主站；一个或多个从站组，从站组包括多个从站；主用链路，设置于主站与从站组之间、以及相邻从站之间，主站与从站组中的多个从站通过主用链路实现信号连接，且主站与从站组中的多个从站通过主用链路构成串联通路；冗余链路，设置于主站与串联通路的末端的从站之间，主站与串联通路的末端的从站通过冗余链路实现信号连接，主站与从站组通过主用链路、以及主站与从站组通过冗余链路构成环形链路，且主用链路与冗余链路的通讯方式相一致。串联通路的某处主用链路出现断连时，主站依旧可以通过主用链路和冗余链路与从站组中的多个从站实现数据接送的功能，提高半导体设备通信网络的鲁棒性。

技术研发人员：王耀磊
受保护的技术使用者：宸微设备科技（苏州）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/12/5