一种硅片生产用取片转运装置的制作方法

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本技术涉及包含将所载物锚定或固紧到适当位置的装置;装卸设备,特别涉及一种硅片生产用取片转运装置。


背景技术:

1、在硅片生产完成后需要对其表面进行清理,一般采用清水清理,中国实用新型专利,授权公告号“cn219544839u”,公开了硅片转运装置,包括转运箱,转运箱底部设有车轮,转运箱侧壁连接有扶手,转运箱底板上设有排水阀,转运箱内壁设有楔形挡块,楔形固定挡块的相对一侧设有楔形移动挡块,楔形移动挡块与滑杆连接,滑杆可滑动地设置在转运箱的侧壁上,滑杆通过锁紧件与转运箱的侧壁固定。

2、上述技术方案通过将转运箱制作成可移动的转移车,替换了以往采用胶箱转运的传统作业模式;转运箱设计有排水阀,排水、换水作业方便,大大降低劳动强度;楔形移动挡块和楔形固定挡块用于将需要转运的硅片夹持,避免硅片移动,提高转移过程中硅片的稳定性,在进行清洗硅片时,其两片硅片相贴近,不易清洗两个硅片相贴的面,而且其平底的箱体不易水流动离开箱体,水带走杂质离开箱体速率较低。


技术实现思路

1、本实用新型的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一,提供一种硅片生产用取片转运装置,能够解决在进行清洗硅片时,其两片硅片相贴近,不易清洗两个硅片相贴的面,而且其平底的箱体不易水流动离开箱体,水带走杂质离开箱体速率较低的问题。

2、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种硅片生产用取片转运装置,包括转运车斗,转运车斗的表面固定连接有第一把手,所述转运车斗的内部设置有便于清洗的夹持装置;

3、其中,夹持装置包括十四个夹持件,十四个夹持件均与转运车斗的内部转动连接,十四个夹持件两个对称分布在转运车斗的内部,十四个夹持件的表面均开设有弧形槽;

4、其中,转运车斗的内部固定安装有支撑网;

5、其中,转运车斗的下表面固定连接有梯形斗。

6、优选的,所述转运车斗的内部固定连接有套筒,套筒的内部滑动连接有推杆。

7、优选的,所述套筒的内部螺纹连接有螺栓,螺栓的表面与推杆的表面相接触;

8、其中,推杆的表面固定连接有第二把手。

9、优选的,所述推杆的表面固定连接有限位块,限位块的表面与支撑网的表面相接触;

10、其中,多个夹持件的内部设置有硅片,硅片的表面与对应弧形槽的表面相接触。

11、优选的,所述转运车斗的内部螺纹连接有螺纹柱,螺纹柱的下表面固定连接有吸盘。

12、优选的,所述螺纹柱的表面固定套接有第三把手;

13、其中,转运车斗的表面固定安装有四个轮毂。

14、与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

15、(1)、该硅片生产用取片转运装置,通过设置夹持装置中的弧形槽与硅片进行贴合,其弧形槽夹持硅片时不会贴合硅片的表面,从而弧形槽能够在夹持硅片的同时不影响到硅片的表面清洁,而且弧形槽和硅片的夹持能够使其两个硅片之间存在一定距离,避免其硅片之间的接触面清理效率低的问题;同时设置具有倾斜角度的梯形斗,加速其水流动离开转运车斗的内部,从而提升水带走杂质离开箱体速率。

16、(2)、该硅片生产用取片转运装置,在进行冲洗硅片时,为提升该实用新型的稳定性,通过设置螺纹柱带动吸盘进行向下运动限制转运车斗的位置,从而提升在清洗硅片时转运车斗的稳定性。

17、(3)、该硅片生产用取片转运装置,通过设置支撑网和限位块进行配合,使其硅片的底面也能够正常被水清洗,从而保证其硅片清洗的全面性,同时限位块还能进行运动推动支撑网表面残渣进行初步清理,使其残留在支撑网网格上的残渣经由网格落入至梯形斗的内部,最终离开转运车斗的内部,达到初步清理的效果。



技术特征:

1.一种硅片生产用取片转运装置,包括转运车斗(3),转运车斗(3)的表面固定连接有第一把手(1),其特征在于:所述转运车斗(3)的内部设置有便于清洗的夹持装置;

2.根据权利要求1所述的一种硅片生产用取片转运装置,其特征在于:所述转运车斗(3)的内部固定连接有套筒(9),套筒(9)的内部滑动连接有推杆(7)。

3.根据权利要求2所述的一种硅片生产用取片转运装置,其特征在于:所述套筒(9)的内部螺纹连接有螺栓(6),螺栓(6)的表面与推杆(7)的表面相接触;

4.根据权利要求2所述的一种硅片生产用取片转运装置,其特征在于:所述推杆(7)的表面固定连接有限位块(10),限位块(10)的表面与支撑网(13)的表面相接触;

5.根据权利要求1所述的一种硅片生产用取片转运装置,其特征在于:所述转运车斗(3)的内部螺纹连接有螺纹柱(12),螺纹柱(12)的下表面固定连接有吸盘(11)。

6.根据权利要求5所述的一种硅片生产用取片转运装置,其特征在于:所述螺纹柱(12)的表面固定套接有第三把手(14);


技术总结
本技术公开了一种硅片生产用取片转运装置,涉及包含将所载物锚定或固紧到适当位置的装置;装卸设备技术领域。该硅片生产用取片转运装置,包括转运车斗,转运车斗的表面固定连接有第一把手,所述转运车斗的内部设置有便于清洗的夹持装置;其中,夹持装置包括十四个夹持件,十四个夹持件均与转运车斗的内部转动连接,十四个夹持件两个对称分布在转运车斗的内部,通过设置夹持装置中的弧形槽与硅片进行贴合,其弧形槽夹持硅片时不会贴合硅片的表面,从而弧形槽能够在夹持硅片的同时不影响到硅片的表面清洁,而且弧形槽和硅片的夹持能够使其两个硅片之间存在一定距离,避免其硅片之间的接触面清理效率低的问题。

技术研发人员:戴根华
受保护的技术使用者:上海镭能电子科技有限公司
技术研发日:20240429
技术公布日:2024/12/5

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