一种硅片搬送手臂的制作方法
本技术涉及硅片机械搬送，具体的说是一种硅片搬送手臂。
背景技术：
1、硅片机械搬送手臂是一种搬送硅片的搬运装置，目前对于硅片机械搬送的手臂常用三层不锈钢板粘接制成，中间的不锈钢板上开设有通槽，第一层与第三层的不锈钢板与通槽围合成真空管路，但是由于长期使用粘接剂会老化使得三层不锈钢板容易脱落、变形，在更换时工艺较为繁琐并且成本较高。
技术实现思路
1、为了解决现有技术由于手臂使用时容易脱落、变形导致更换工艺繁琐且成本高的问题，本实用新型提供一种硅片搬送手臂，本实用新型通过在手臂本体开设凹槽，通过柔性贴膜与凹槽一起形成吸气通道，使得本实用新型手臂本体使用时不易脱落、更换简单并且成本较低。
2、本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种硅片搬送手臂，包括板状的手臂本体，手臂本体的背面开设有沿长度方向延伸的凹槽，凹槽的一端的底部开设有若干个沿手臂本体的厚度方向延伸的吸口，且所有吸口贯通手臂本体的正面，凹槽的另一端的连通有若干第一连接槽，所述手臂本体上设置有与手臂本体相匹配的柔性贴膜，柔性贴膜贴合在手臂本体上将凹槽以及第一连接槽封闭形成吸气通道，柔性贴膜上设置有与所述第一连接槽相应的抽气孔。
3、作为本实用新型一种硅片搬送手臂的进一步优化：所述凹槽包括第一部分、第二部分以及第三部分，第一部分的两端分别与第二部分以及第三部分连通，所述第一连接槽均与第二部分连通，所述吸口设置在第三部分的内壁上。
4、作为本实用新型一种硅片搬送手臂的进一步优化：所述第二部分为开口背向所述第一部分的u型槽，u型槽的底部与第一部分连通，所述第一连接槽分别与u型槽的两侧的端部连通。
5、作为本实用新型一种硅片搬送手臂的进一步优化：所述第三部分为弧形槽，弧形槽与第一部分连通，所有所述吸口均匀分布在弧形槽的内壁上。
6、作为本实用新型一种硅片搬送手臂的进一步优化：所述手臂本体远离所述连接槽的一端设置有用于托起硅片的托板，所述弧形槽设置在托板上。
7、作为本实用新型一种硅片搬送手臂的进一步优化：所述托板远离所述连接槽的端部沿手臂本体的厚度方向开设有弧形缺口。
8、作为本实用新型一种硅片搬送手臂的进一步优化：所述手臂本体上设置有多个第一连接孔和多个第二连接孔，柔性贴膜上设置有与第一连接孔相匹配的第一通孔以及与第二连接孔相匹配的第二通孔。
9、作为本实用新型一种硅片搬送手臂的进一步优化：所述第一连接孔位于所述u型槽的两侧部之间，第二连接孔位于所述手臂本体远离所述吸口的端部。
10、作为本实用新型一种硅片搬送手臂的进一步优化：所述柔性贴膜设置为铝箔胶带。
11、有益效果：本实用新型在手臂本体的背面开设有沿长度方向延伸的凹槽，凹槽的一端的底部开设有有若干个沿手臂本体的厚度方向延伸的吸口，且所有吸口贯通手臂本体的正面，吸口用于吸附硅片，防止硅片掉落；
12、凹槽的另一端的连通有若干第一连接槽，所述手臂本体上设置有与手臂本体相匹配的柔性贴膜，柔性贴膜贴合在手臂本体上将凹槽以及第一连接槽封闭形成吸气通道，柔性贴膜上设置有与所述第一连接槽相应的抽气孔，本实用新型的手臂本体仅一层不易脱落损坏，需要更换时操作简单并且生产成本低。
技术特征：
1.一种硅片搬送手臂，包括板状的手臂本体(1)，手臂本体(1)的背面开设有沿长度方向延伸的凹槽，凹槽的一端的底部开设有若干个沿手臂本体(1)的厚度方向延伸的吸口(305)，且所有吸口(305)贯通手臂本体(1)的正面，凹槽的另一端的连通有若干第一连接槽(304)，其特征在于：所述手臂本体(1)上设置有与手臂本体(1)相匹配的柔性贴膜(4)，柔性贴膜(4)贴合在手臂本体(1)上将凹槽以及第一连接槽(304)封闭形成吸气通道(3)，柔性贴膜(4)上设置有与所述第一连接槽(304)相应的抽气孔(403)。
2.如权利要求1所述的硅片搬送手臂，其特征在于：所述凹槽包括第一部分(301)、第二部分(302)以及第三部分(303)，第一部分(301)的两端分别与第二部分(302)以及第三部分(303)连通，所述第一连接槽(304)均与第二部分(302)连通，所述吸口(305)设置在第三部分(303)的内壁上。
3.如权利要求2所述的硅片搬送手臂，其特征在于：所述第二部分(302)为开口背向所述第一部分(301)的u型槽，u型槽的底部与第一部分(301)连通，所述第一连接槽(304)分别与u型槽的两侧的端部连通。
4.如权利要求2所述的硅片搬送手臂，其特征在于：所述第三部分(303)为弧形槽，弧形槽与第一部分(301)连通，所有所述吸口(305)均匀分布在弧形槽的内壁上。
5.如权利要求4所述的硅片搬送手臂，其特征在于：所述手臂本体(1)远离所述连接槽(304)的一端设置有用于托起硅片的托板(2)，所述弧形槽设置在托板(2)上。
6.如权利要求5所述的硅片搬送手臂，其特征在于：所述托板(2)远离所述连接槽(304)的端部沿手臂本体(1)的厚度方向开设有弧形缺口。
7.如权利要求1所述的硅片搬送手臂，其特征在于：所述手臂本体(1)上设置有多个第一连接孔(101)和多个第二连接孔(102)，柔性贴膜(4)上设置有与第一连接孔(101)相匹配的第一通孔(401)以及与第二连接孔(102)相匹配的第二通孔(402)。
8.如权利要求7所述的硅片搬送手臂，其特征在于：所述第一连接孔(101)位于所述u型槽的两侧部之间，第二连接孔(102)位于所述手臂本体(1)远离所述吸口(305)的端部。
9.如权利要求1所述的硅片搬送手臂，其特征在于：所述柔性贴膜(4)设置为铝箔胶带。
技术总结
一种硅片搬送手臂，包括板状的手臂本体，手臂本体的背面开设有沿长度方向延伸的凹槽，凹槽的一端的底部开设有若干个沿手臂本体的厚度方向延伸的吸口，且所有吸口贯通手臂本体的正面，凹槽的另一端的连通有若干第一连接槽，所述手臂本体上设置有与手臂本体相匹配的柔性贴膜，柔性贴膜贴合在手臂本体上将凹槽以及第一连接槽封闭形成吸气通道，柔性贴膜上设置有与所述第一连接槽相应的抽气孔，使得本技术手臂本体使用时不易脱落、更换简单并且成本较低。
技术研发人员：王海君,乔光辉,王军,郭可,时中洋
受保护的技术使用者：麦斯克电子材料股份有限公司
技术研发日：20240111
技术公布日：2024/12/5