前硼水洗泵循环系统的制作方法

本发明涉及水洗泵，具体为一种前硼水洗泵循环系统。

背景技术：

1、炉管内由于燃烧过程中的化学反应和高温容易导致废气产生，而其中为了防止炉管内压力过高或气流不畅，一般需要将其内部所产生的废气抽出。目前，主要采用隔膜泵将炉管产生的废气通过尾排抽离，但是废气中含有大量b2o3，由于b2o3特性在200°～450°时便会形成结晶，从而导致泵的管路堵塞，使其清洗频率变高，同时会因酸排结晶导致泵速过高，造成硅片方阻偏高。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种前硼水洗泵循环系统，以解决上述背景技术中提出的抽吸炉管内废气的隔膜泵内，产生结晶导致泵的管路堵塞、泵速过高的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种前硼水洗泵循环系统，包括炉管，所述炉管的后侧设置有隔膜泵，在隔膜泵的输入端和炉管之间连接有通气管路，在隔膜泵的出气端连接有排出组件，通气管路上连接有用于在隔膜泵启动时，抽取清水冲洗隔膜泵体内的供水组件，炉管的前端连接有在隔膜泵内冲洗结束后吹扫的供氮组件；

3、所述供水组件包括固定连接在通气管路上的供水管道，在供水管道上安装有单向阀。

4、优选的，所述供氮组件包括连接在炉管前端的输送管道，在输送管道上安装有氮气阀。

5、优选的，所述通气管路包括连接在炉管尾端的直通管，在直通管的尾端固定连接有过渡收缩管，过渡收缩管和隔膜泵的输入端之间连接有内径小于直通管的导入管；

6、所述过渡收缩管的竖向剖切面呈直角梯形状，且直通管、过渡收缩管和导入管底部的最低处均处于同一直线上。

7、优选的，所述供水管道的尾端与直通管顶面的中部连接，供水管道呈倾斜状，其倾斜角度不大于30°。

8、优选的，所述排出组件包括用于排出隔膜泵冲洗所使用废水的排出管道，在排出管道的尾端连接有用于存放废水的水箱。

9、优选的，所述排出管道包括连接在隔膜泵的输出端的导出管，在导出管的尾端固定连接有倾斜导管，倾斜导管中部的内壁安装有过滤结构。

10、优选的，所述倾斜导管中部的底面开设有矩形槽，且矩形槽的边沿与过滤结构的底部贴合，在矩形槽的底部安装有控制阀，控制阀的底部可拆卸连接有收集筒。

11、优选的，所述倾斜导管上矩形槽和导出管之间安装有电磁阀一，在导出管的尾端还安装有废气排管，且废气排管与导出管、倾斜导管之间呈y型布置，废气排管上安装有电磁阀二。

12、优选的，该水洗泵循环系统的工艺步骤如下：

13、s1、上位机下发指令；

14、s2、氮气阀关闭，单向阀打开，开启1min，输送0.5-1l冷水；

15、s3、隔膜泵运行，泵速3％，单向阀继续打开，供水一分钟1.5-2l，通过隔膜泵抽取顺着供水管道送入的冷水，开始冲洗隔膜泵内，冲洗废水顺着排出管道排入水箱；

16、s4、冲洗结束，关闭单向阀，开启氮气阀，配合隔膜泵运行，以泵速15％、15s，泵速30％、15s，泵速50％、15s，泵速80％、1min的规律，吹扫炉管和隔膜泵泵体内；

17、s5、吹扫结束，泵速20％关闭氮气阀，运行隔膜泵1min，泵速20％，开启吹扫氮气＞3min。

18、借由上述技术方案，本发明提供了一种前硼水洗泵循环系统，至少具备以下有益效果：

19、1、本发明通过在泵的进气处增加一道水路，通过水洗，减少泵内结晶，降低泵堵塞频率，降低酸排结晶导致的泵速过高，在满足工艺指标的前提下，增加隔膜泵寿命，减少清洗次数和换泵频次。

20、2、本发明在对隔膜泵泵体内冲洗结束后，配合往炉管内吹扫氮气，而隔膜泵抽气氮气时，能够利用氮气将泵体内的残留冷水吹干。

21、3、本发明利用过渡收缩管，增加进入隔膜泵泵体内的水流速度，从而使得水流流体在进入隔膜泵泵体内产生更高的冲击力，在一定程度上，提高隔膜泵泵体内结晶、沉积物的冲刷作用。

22、4、本发明能够在排出组件内配合过滤结构达到h3bo3和颗粒杂质分离的目的，并且由于倾斜导管倾斜的特性，能够有效避免被过滤结构所拦截的颗粒杂质出现回流现象。

技术特征：

1.一种前硼水洗泵循环系统，包括炉管(1)，其特征在于：所述炉管(1)的后侧设置有隔膜泵(2)，在隔膜泵(2)的输入端和炉管(1)之间连接有通气管路(3)，在隔膜泵(2)的出气端连接有排出组件(4)，通气管路(3)上连接有用于在隔膜泵(2)启动时，抽取清水冲洗隔膜泵(2)体内的供水组件(5)，炉管(1)的前端连接有在隔膜泵(2)内冲洗结束后吹扫的供氮组件(6)；

2.根据权利要求1所述的一种前硼水洗泵循环系统，其特征在于：所述供氮组件(6)包括连接在炉管(1)前端的输送管道(601)，在输送管道(601)上安装有氮气阀(602)。

3.根据权利要求2所述的一种前硼水洗泵循环系统，其特征在于：所述通气管路(3)包括连接在炉管(1)尾端的直通管(301)，在直通管(301)的尾端固定连接有过渡收缩管(302)，过渡收缩管(302)和隔膜泵(2)的输入端之间连接有内径小于直通管(301)的导入管(303)；

4.根据权利要求3所述的一种前硼水洗泵循环系统，其特征在于：所述供水管道(501)的尾端与直通管(301)顶面的中部连接，供水管道(501)呈倾斜状，其倾斜角度不大于30°。

5.根据权利要求1所述的一种前硼水洗泵循环系统，其特征在于：所述排出组件(4)包括用于排出隔膜泵(2)冲洗所使用废水的排出管道(401)，在排出管道(401)的尾端连接有用于存放废水的水箱(402)。

6.根据权利要求5所述的一种前硼水洗泵循环系统，其特征在于：所述排出管道(401)包括连接在隔膜泵(2)的输出端的导出管(4011)，在导出管(4011)的尾端固定连接有倾斜导管(4012)，倾斜导管(4012)中部的内壁安装有过滤结构(4013)。

7.根据权利要求6所述的一种前硼水洗泵循环系统，其特征在于：所述倾斜导管(4012)中部的底面开设有矩形槽(4014)，且矩形槽(4014)的边沿与过滤结构(4013)的底部贴合，在矩形槽(4014)的底部安装有控制阀(4015)，控制阀(4015)的底部可拆卸连接有收集筒(4016)。

8.根据权利要求7所述的一种前硼水洗泵循环系统，其特征在于：所述倾斜导管(4012)上矩形槽(4014)和导出管(4011)之间安装有电磁阀一(4017)，在导出管(4011)的尾端还安装有废气排管(4018)，且废气排管(4018)与导出管(4011)、倾斜导管(4012)之间呈y型布置，废气排管(4018)上安装有电磁阀二(4019)。

9.根据权利要求1-8任意一项所述的一种前硼水洗泵循环系统，其特征在于，该水洗泵循环系统的工艺步骤如下：

技术总结
本发明公开了一种前硼水洗泵循环系统，包括炉管，所述炉管的后侧设置有隔膜泵，在隔膜泵的输入端和炉管之间连接有通气管路，在隔膜泵的出气端连接有排出组件，通气管路上连接有用于在隔膜泵启动时，抽取清水冲洗隔膜泵体内的供水组件，炉管的前端连接有在隔膜泵内冲洗结束后吹扫的供氮组件，所述供水组件包括固定连接在通气管路上的供水管道，在供水管道上安装有单向阀。本发明通过在泵的进气处增加一道水路，通过水洗，减少泵内结晶，降低泵堵塞频率，降低酸排结晶导致的泵速过高，在满足工艺指标的前提下，增加隔膜泵寿命，减少清洗次数和换泵频次，并且能够及时利用氮气将泵体内残留水体吹干。

技术研发人员：王栋
受保护的技术使用者：淮安捷泰新能源科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/12/5