一种电子级混气配制装置的制作方法

本技术涉及混气配制，具体为一种电子级混气配制装置。

背景技术：

1、电子级混气是一种用于半导体制造和其他电子器件生产过程中的特殊气体混合物。它通常由高纯度的气体组成，例如氮气、氢气、氧气、氩气等。而在生产电子级混气时，往往需要在专用的配置装置中进行。

2、经检索授权公开号为cn216498905u的专利公开了一种多组分混合气体配制装置，包括底座，所述底座内部固定设有处理器，所述底座上表面固定连接有装置本体，所述装置本体外部顶部表面固定连接有报警器，所述装置本体内部设有气体混配室，所述气体混配室内部两侧室壁上均固定连接有轴承，所述轴承内环壁上固定连接有混配筒，所述混配筒一侧表面等距离固定连接有进气口，所述进气口上设有第一电磁阀，所述进气口下侧固定设有出气口，所述出气口上设有第二电磁阀，本实用新型中，通过设置的混配筒、第二电机和第一电机，有效提高混合效率，同时能够使气体混合更加均匀。

3、但是上述现有的混气配制装置中仍然存在如下问题：

4、混合气体中有部分为有毒气体甚至爆炸性气体，这些有毒气体如在混合期间不慎泄露，虽然可以通过报警器及时提醒，但是仍然已经发生泄漏，空气中已经存在了一部分气体，这部分气体很可能会对维修人员造成伤害。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提供一种电子级混气配制装置，当使用者在通过配置箱体进行电子级混气配置时，即使配置过程中气体泄漏，也会从排气管排出到指定位置，不会存在于配置区域，进而降低了气体泄漏带来的风险性。

2、本实用新型提供如下技术方案：一种电子级混气配制装置，包括配置箱体、安装在配置箱体外部的控制面板、警示灯和安装在配置箱体内部的混配筒，配置箱体外壁的两侧分别固定连接并连通有进气管和排气管，排气管的内壁固定连接有十字支架，十字支架靠近配置箱体的一侧固定连接有气敏传感器，十字支架远离配置箱体的一侧连接有抽气机构，抽气机构的另一端连接有防尘组件。

3、进一步地，抽气机构包括抽气电机、套管和扇叶，抽气电机的外壁与十字支架远离气敏传感器的一侧固定连接，抽气电机的输出轴与套管连接，套管的外壁与扇叶固定连接，套管远离抽气电机的一端与防尘组件连接。

4、进一步地，防尘组件包括排气滤网和轴承，轴承的内圈套设在套管的外壁，并与套管的外壁固定连接，轴承的外圈与排气滤网的内壁固定连接，排气滤网的侧壁与排气管远离配置箱体的一侧连接。

5、进一步地，排气滤网的外壁固定连接有卡块，排气管远离配置箱体的一侧开设有卡口，卡块的外壁与卡口的内壁滑动连接。

6、进一步地，抽气电机的输出轴外壁固定连接有限位条，套管的内壁开设有限位槽，限位条的外壁与限位槽的内壁滑动连接。

7、进一步地，套管的内壁螺纹连接有螺栓，螺栓的螺杆还与抽气电机的输出轴内壁螺纹连接。

8、进一步地，进气管远离配置箱体的一侧通过螺栓紧固连接有进气滤网。

9、与现有技术对比，本实用新型具备以下有益效果：

10、该种电子级混气配制装置，通过在配置箱体的一侧设置排气管，并在排气管内部设置抽气机构，当使用者在通过配置箱体进行电子级混气配置时，即使配置过程中气体泄漏，也会从排气管排出到指定位置，不会存在于配置区域，进而降低了气体泄漏带来的风险性。

技术特征：

1.一种电子级混气配制装置，包括配置箱体(1)、安装在配置箱体(1)外部的控制面板(2)、警示灯(3)和安装在配置箱体(1)内部的混配筒(16)，其特征在于：所述配置箱体(1)外壁的两侧分别固定连接并连通有进气管(4)和排气管(6)，排气管(6)的内壁固定连接有十字支架(7)，十字支架(7)靠近配置箱体(1)的一侧固定连接有气敏传感器(8)，十字支架(7)远离配置箱体(1)的一侧连接有抽气机构，抽气机构的另一端连接有防尘组件。

2.根据权利要求1所述的一种电子级混气配制装置，其特征在于：所述抽气机构包括抽气电机(9)、套管(10)和扇叶(11)，抽气电机(9)的外壁与十字支架(7)远离气敏传感器(8)的一侧固定连接，抽气电机(9)的输出轴与套管(10)连接，套管(10)的外壁与扇叶(11)固定连接，套管(10)远离抽气电机(9)的一端与防尘组件连接。

3.根据权利要求2所述的一种电子级混气配制装置，其特征在于：所述防尘组件包括排气滤网(12)和轴承(14)，轴承(14)的内圈套设在套管(10)的外壁，并与套管(10)的外壁固定连接，轴承(14)的外圈与排气滤网(12)的内壁固定连接，排气滤网(12)的侧壁与排气管(6)远离配置箱体(1)的一侧连接。

4.根据权利要求3所述的一种电子级混气配制装置，其特征在于：所述排气滤网(12)的外壁固定连接有卡块(13)，排气管(6)远离配置箱体(1)的一侧开设有卡口(601)，卡块(13)的外壁与卡口(601)的内壁滑动连接。

5.根据权利要求2、3或4所述的一种电子级混气配制装置，其特征在于：所述抽气电机(9)的输出轴外壁固定连接有限位条(15)，套管(10)的内壁开设有限位槽(1001)，限位条(15)的外壁与限位槽(1001)的内壁滑动连接。

6.根据权利要求2、3或4所述的一种电子级混气配制装置，其特征在于：所述套管(10)的内壁螺纹连接有螺栓，螺栓的螺杆还与抽气电机(9)的输出轴内壁螺纹连接。

7.根据权利要求1、2、3或4所述的一种电子级混气配制装置，其特征在于：所述进气管(4)远离配置箱体(1)的一侧通过螺栓紧固连接有进气滤网(5)。

技术总结
型涉及混气配制技术领域，且公开了一种电子级混气配制装置，包括配置箱体、安装在配置箱体外部的控制面板、警示灯和安装在配置箱体内部的混配筒，配置箱体外壁的两侧分别固定连接并连通有进气管和排气管，排气管的内壁固定连接有十字支架，十字支架靠近配置箱体的一侧固定连接有气敏传感器，十字支架远离配置箱体的一侧连接有抽气机构，抽气机构的另一端连接有防尘组件。该种电子级混气配制装置，通过在配置箱体的一侧设置排气管，并在排气管内部设置抽气机构，当使用者在通过配置箱体进行电子级混气配置时，即使配置过程中气体泄漏，也会从排气管排出到指定位置，不会存在于配置区域，进而降低了气体泄漏带来的风险性。

技术研发人员：李飞明,杨建华,李建新
受保护的技术使用者：江苏元佳新材料有限公司
技术研发日：20240416
技术公布日：2024/12/5