一种浮动式减振运动平台及使用方法与流程

本发明属于键合机设备，具体涉及一种浮动式减振运动平台及使用方法。

背景技术：

1、随着半导体制造工艺和制造设备的不断发展，对于加工制造精度的控制要求也越来越高。在半导体键合机高速工作过程中，会产生较大的振动，因此对于整机机架及工作平台的稳定性有更高的要求，由于xy运动平台移动质量较大，且加速度较高，采用常规的焊架平台固连结构，或是添加缓冲减震垫方式均很难达到预期的抑振及整定效果，最终会导致工作重复精度降低，整定时间加长，影响设备的键合质量和单位成品产出效率。

2、现有键合机的工作台底部与机架通过螺栓固定连接，并在工作台底部加装隔震垫或减震器，并通过固定连接的方式应对高速度和高加速度冲击，难以起到减震效果，并且对振动的抑制抵抗能力有限，无法满足高精度的要求。

3、基于此，有必要对现有技术所存在的缺陷进行改进，以克服在实际应用中所存在的不足。

技术实现思路

1、基于现有技术中存在的上述缺点和不足，本发明的目的之一是至少解决现有技术中存在的上述问题之一或多个，换言之，本发明的目的之一是提供满足前述需求之一或多个的一种浮动式减振运动平台及使用方法。

2、为了达到上述发明目的，本发明采用以下技术方案：

3、本发明提供一种浮动式减振运动平台，包括机架、工作台、减震缓冲机构以及多个柔性导向机构，所述减震缓冲机构用于浮动支撑所述工作台，所述工作台之上安装运动负载，所述工作台与所述机架之间通过多个所述柔性导向机构相连接；通过所述柔性导向机构和所述减震缓冲机构相配合，当所述运动负载沿所述工作台高速运动时，使得所述工作台与所述机架之间相对摆动，用于抵消所述工作台与所述机架之间的振动冲击。

4、作为优选方案，所述柔性导向机构的第一端与所述工作台连接，第二端与所述机架连接；通过多个所述柔性导向机构同步运动，以使所述工作台进行往复摆动；其中，所述第一端与所述第二端保持斜对角方位布设。

5、作为优选方案，所述柔性导向机构包括弹簧片、多个压板和多个压紧块，所述弹簧片的两端分别连接压紧块，所述弹簧片的中部连接压板，通过所述压板和所述压紧块以对所述弹簧片夹紧固定。

6、作为优选方案，所述弹簧片包括压紧部和变形部，所述压紧部与所述压紧块和所述压板相连接，所述变形部设于所述压板和所述压紧块之间，用于提供所述弹簧片的微变形。

7、作为优选方案，所述工作台的底部中心位置开设凹槽，所述减震缓冲机构的一端与所述凹槽内部平面固定连接，另一端与所述机架固定连接。

8、作为优选方案，所述减震缓冲机构包括减震阻尼器和阻尼安装座，所述减震阻尼器安装于所述阻尼安装座，所述减震阻尼器的上端与所述工作台浮动连接。

9、作为优选方案，所述工作台和机架之间设有多个安装支撑组件，通过多个所述安装支撑组件用于将所述工作台安装于所述机架。

10、作为优选方案，所述机架的侧壁安装多个缓冲器，多个所述缓冲器与多个所述柔性导向机构一一对应布设。

11、本发明还提供一种浮动式减振运动平台的使用方法，应用如上任一方案所述的减振运动平台，包括以下步骤：

12、s1、将工作台安装于机架，以使工作台的底端与减震缓冲机构连接；

13、s2、依次将四个柔性导向机构的第一端连接于工作台，第二端连接于机架，以使工作台与机架浮动连接；

14、s3、运动负载在工作台上高速往复运动时，通过柔性导向机构进行柔性摆动导向，以联动工作台相对于运动负载呈反向往复摆动，用于抵消工作台与机架之间的振动冲击。

15、本发明与现有技术相比，有益效果是：

16、本发明提供一种浮动式减振运动平台，通过柔性导向机构和减震缓冲机构相配合，充分利用低频的谐振频率特性，使得振动冲击得以合理释放，实现抑振和隔震的功能，有效提高整机的稳定性和工作寿命。

17、本发明提供一种浮动式减振运动平台，能够有效降低工作台上运动负载传递给机架的振动冲击，增强整机的稳定性，减少整定时间，从而极大改善工作台的运动质量，提高机器的有效产能。

技术特征：

1.一种浮动式减振运动平台，其特征在于，包括机架、工作台、减震缓冲机构以及多个柔性导向机构，所述减震缓冲机构用于浮动支撑所述工作台，所述工作台之上安装运动负载，所述工作台与所述机架之间通过多个所述柔性导向机构相连接；通过所述柔性导向机构和所述减震缓冲机构相配合，当所述运动负载沿所述工作台高速运动时，使得所述工作台与所述机架之间相对摆动，用于抵消所述工作台与所述机架之间的振动冲击。

2.根据权利要求1所述的一种浮动式减振运动平台，其特征在于，所述柔性导向机构的第一端与所述工作台连接，第二端与所述机架连接；通过多个所述柔性导向机构同步运动，以使所述工作台进行往复摆动；其中，所述第一端与所述第二端保持斜对角方位布设。

3.根据权利要求1所述的一种浮动式减振运动平台，其特征在于，所述柔性导向机构包括弹簧片、多个压板和多个压紧块，所述弹簧片的两端分别连接压紧块，所述弹簧片的中部连接压板，通过所述压板和所述压紧块以对所述弹簧片夹紧固定。

4.根据权利要求3所述的一种浮动式减振运动平台，其特征在于，所述弹簧片包括压紧部和变形部，所述压紧部与所述压紧块和所述压板相连接，所述变形部设于所述压板和所述压紧块之间，用于提供所述弹簧片的微变形。

5.根据权利要求1所述的一种浮动式减振运动平台，其特征在于，所述工作台的底部中心位置开设凹槽，所述减震缓冲机构的一端与所述凹槽内部平面连接，另一端与所述机架连接。

6.根据权利要求1所述的一种浮动式减振运动平台，其特征在于，所述减震缓冲机构包括减震阻尼器和阻尼安装座，所述减震阻尼器安装于所述阻尼安装座，所述减震阻尼器的上端与所述工作台浮动连接。

7.根据权利要求1所述的一种浮动式减振运动平台，其特征在于，所述工作台和机架之间设有多个安装支撑组件，通过多个所述安装支撑组件用于将所述工作台安装于所述机架。

8.根据权利要求1所述的一种浮动式减振运动平台，其特征在于，所述机架的侧壁安装多个缓冲器，多个所述缓冲器与多个所述柔性导向机构一一对应布设。

9.一种浮动式减振运动平台的使用方法，其特征在于，应用如权利要求1～8所述的减振运动平台，包括以下步骤：

技术总结
本发明属于键合机设备技术领域，具体涉及一种浮动式减振运动平台及使用方法，所述减振运动平台包括机架、工作台、减震缓冲机构以及多个柔性导向机构，所述减震缓冲机构用于浮动支撑所述工作台，所述工作台之上安装运动负载，所述工作台与所述机架之间通过多个所述柔性导向机构相连接；通过所述柔性导向机构和所述减震缓冲机构相配合，当所述运动负载沿所述工作台高速运动时，使得所述工作台与所述机架之间相对摆动，用于抵消所述工作台与所述机架之间的振动冲击；本发明通过柔性导向机构和减震缓冲机构相配合，充分利用低频的谐振频率特性，使得振动冲击得以合理释放，实现抑振和隔震的功能，有效提高整机的稳定性和工作寿命。

技术研发人员：石新华,李晓锋
受保护的技术使用者：上海骄成超声波技术股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/12/5