一种调整光刻胶侧边角度的曝光装置的制作方法

1.本实用新型涉及曝光技术领域，尤其涉及一种调整光刻胶侧边角度的曝光装置。


背景技术：

2.平板显示的黄光制程就是经由涂胶、曝光、显影在基板上得到预定的光刻胶图形，光刻胶图形的侧边角度(taperangle，斜坡角度)是一个重要的产品特性。对光刻胶侧边角度的调整是一项重要的制程工艺，其中一个方法是对曝光显影后的光刻胶进行二次曝光，改变光刻胶内部的桥接键状态，进而影响后续加热工序中光刻胶侧边的流动程度，获得最终的侧边角度。在二次曝光时，uv光会打断光刻胶中感光剂的桥接键，生成一些反应气，少量的反应气可以排出，但如果曝光面积较大，反应气较多，则有部分反应气残留在光刻胶里面形成气泡，在后续热处理过程中气泡受热膨胀/破损，在光刻胶图形表面形成一个不良点。因此，本申请旨在提供一种能够克服上述缺陷的曝光装置。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种调整光刻胶侧边角度的曝光装置。
4.本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：一种调整光刻胶侧边角度的曝光装置，至少包括底座、曝光壳体、曝光腔和曝光架，所述曝光壳体设置于所述底座上，所述曝光壳体呈中空状以限定出所述曝光腔，所述曝光架滑动设置于所述曝光腔中，所述曝光腔中设置有曝光罩，所述曝光罩位于所述曝光架的上方，其中，所述曝光罩具有第一区域和第二区域，所述第一区域上设置有若干个第一曝光区，所述第二区域上设置有若干个第二个曝光区，在第一曝光区和第二曝光区的各自的形状均由圆形限定的情况下，第一曝光区的直径小于第二曝光区的直径。
5.优选的，所述曝光壳体中设置有至少两条彼此平行的第一滑轨，所述曝光罩滑动设置于所述第一滑轨上。
6.优选的，所述曝光壳体上设置有驱动电机，所述驱动电机连接至所述曝光罩。
7.优选的，所述曝光壳体上设置有均能够开启和关闭的第一开口和第二开口，第一开口位于曝光壳体的第一侧，第二开口位于曝光壳体的第二侧。
8.优选的，所述曝光架至少包括第一架体和第二架体。
9.优选的，所述曝光壳体中设置有第二滑轨和第三滑轨，所述第一架体滑动设置于所述第二滑轨上，所述第二架体滑动设置于所述第三滑轨上。
10.本实用新型具有以下优点：
11.(1)第一次曝光时，第一曝光区被曝光，其余位置未曝光，未曝光的位置剩余光刻胶。第二次曝光时，只会对第一曝光区的边缘进行曝光，大大减少了感光剂反应气的产生，避免生成不良气泡。
12.(2)能够快速切换玻璃基板上方的曝光区域，进而能够快速完成第一次曝光和第
二次曝光。
13.(3)第一架体和第二架体可以交替拉出上料，进而实现玻璃基板的连续曝光，从而达到提高曝光效率的目的。
附图说明
14.图1为本实用新型优选的调整光刻胶侧边角度的曝光装置的结构示意图；
15.图2为本实用新型优选的第一曝光区和第二曝光区的布置方式示意图。
16.图中，1-底座、2-曝光壳体、3-曝光腔、4-曝光架、5-曝光罩、5a-第一区域、5b-第二区域、6-第一曝光区、7-第二曝光区、8-第一滑轨、9-驱动电机、10-第一开口、11-第二开口、 2a-第一侧、2b-第二侧、4a-第一架体、4b-第二架体、12-第二滑轨、13-第三滑轨。
具体实施方式
17.下面结合附图对本实用新型做进一步的描述，本实用新型的保护范围不局限于以下所述：
18.如图1和2所示，本申请提供一种调整光刻胶侧边角度的曝光装置，至少包括底座1、曝光壳体2、曝光腔3和曝光架4。曝光壳体2设置于底座1上。曝光壳体2呈中空状以限定出曝光腔3。曝光架4滑动设置于曝光腔3中。曝光腔3中设置有曝光罩5，曝光罩5位于曝光架4的上方，其中，曝光罩5具有第一区域5a和第二区域5b，第一区域5a上设置有若干个第一曝光区6，第二区域5b上设置有若干个第二曝光区7。在第一曝光区6和第二曝光区 7的各自的形状均由圆形限定的情况下，第一曝光区6的直径小于第二曝光区7的直径。本申请在使用时能够对玻璃基板上的光刻胶进行两次曝光。第一次曝光通过第一曝光区域6进行曝光。第二次曝光时，第二曝光区7对第一次曝光后的区域在此进行覆盖。由于第二曝光区的直径略大于第一曝光区，此时，第二次曝光只会将第一次曝光后的区域的边缘进行曝光，从而能够实现对光刻胶侧边角度进行调整。第一次曝光时，第一曝光区被曝光，其余位置未曝光，未曝光的位置剩余光刻胶。第二次曝光时，只会对第一曝光区的边缘进行曝光，大大减少了感光剂反应气的产生，避免生成不良气泡。
19.优选的，曝光壳体2中设置有至少两条彼此平行的第一滑轨8。曝光罩5滑动设置于第一滑轨8上。例如，曝光罩5上设置有滚轮，滚轮能够嵌套于第一滑轨中。曝光壳体2上设置有驱动电机9，驱动电机9连接至曝光罩5。通过驱动电机9能够实现曝光罩5沿第一滑轨 8移动。通过上述设置方式，能够快速切换玻璃基板上方的曝光区域，进而能够快速完成第一次曝光和第二次曝光。驱动电机9可以是推杆电机。用于产生曝光光照的曝光灯(本申请未示出)位于曝光罩5的上方。例如，曝光灯可以设置在第一滑轨上。
20.优选的，曝光壳体2上设置有均能够开启和关闭的第一开口10和第二开口11。第一开口10位于曝光壳体2的第一侧2a。第二开口11位于曝光壳体2的第二侧2b。曝光架4至少包括第一架体4a和第二架体4b。曝光壳体2中设置有第二滑轨12和第三滑轨13。第一架体 4a滑动设置于第二滑轨12上，第二架体4b滑动设置于第三滑轨13上。第一架体4a能够沿第二滑轨移动以从第一开口10拉出。第二架体能够沿第三滑轨移动以从第二开口11拉出。第一架体和第二架体可以交替拉出上料，进而实现玻璃基板的连续曝光，从而达到提高曝光效率的目的。第一开口和第二开口均配置有能够关闭门。门可以像冰箱门一样铰接在曝光壳
体2上。
21.本申请的工作原理为：在第一架体4a上放置涂覆有光刻胶的基板。将第一架体4a推入曝光壳体2中。与此同时，可以将第二架体4b从曝光壳体2中拉出以取下其上放置的已完成曝光的基板。驱动电机9第一次工作以使得第一曝光区6与第一架体4a上放置的基板对齐后，开启曝光灯即可实现第一次曝光。第一次曝光结束后，曝光灯关闭，随后驱动电机第二次工作以使得第二曝光区与第一架体4a上放置的基板对齐，在此开启曝光灯即可完成第二次曝光。最后，拉出第一架体4a，在第二架体上放置的基板后便可将第二架体推入曝光壳体中在此进行曝光处理。
22.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种调整光刻胶侧边角度的曝光装置，至少包括底座(1)、曝光壳体(2)、曝光腔(3)和曝光架(4)，所述曝光壳体(2)设置于所述底座(1)上，所述曝光壳体(2)呈中空状以限定出所述曝光腔(3)，所述曝光架(4)滑动设置于所述曝光腔(3)中，其特征在于，所述曝光腔(3)中设置有曝光罩(5)，所述曝光罩(5)位于所述曝光架(4)的上方，其中，所述曝光罩(5)具有第一区域(5a)和第二区域(5b)，所述第一区域(5a)上设置有若干个第一曝光区(6)，所述第二区域(5b)上设置有若干个第二曝光区(7)，在第一曝光区(6)和第二曝光区(7)的各自的形状均由圆形限定的情况下，第一曝光区(6)的直径小于第二曝光区(7)的直径。2.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述曝光壳体(2)中设置有至少两条彼此平行的第一滑轨(8)，所述曝光罩(5)滑动设置于所述第一滑轨(8)上。3.根据权利要求2所述的曝光装置，其特征在于，所述曝光壳体(2)上设置有驱动电机(9)，所述驱动电机(9)连接至所述曝光罩(5)。4.根据权利要求3所述的曝光装置，其特征在于，所述曝光壳体(2)上设置有均能够开启和关闭的第一开口(10)和第二开口(11)，第一开口(10)位于曝光壳体(2)的第一侧(2a)，第二开口(11)位于曝光壳体(2)的第二侧(2b)。5.根据权利要求4所述的曝光装置，其特征在于，所述曝光架(4)至少包括第一架体(4a)和第二架体(4b)。6.根据权利要求5所述的曝光装置，其特征在于，所述曝光壳体(2)中设置有第二滑轨(12)和第三滑轨(13)，所述第一架体(4a)滑动设置于所述第二滑轨(12)上，所述第二架体(4b)滑动设置于所述第三滑轨(13)上。

技术总结
本实用新型公开了一种调整光刻胶侧边角度的曝光装置，至少包括底座、曝光壳体、曝光腔和曝光架，所述曝光壳体设置于所述底座上，所述曝光壳体呈中空状以限定出所述曝光腔，所述曝光架滑动设置于所述曝光腔中，所述曝光腔中设置有曝光罩，所述曝光罩位于所述曝光架的上方，其中，所述曝光罩具有第一区域和第二区域，所述第一区域上设置有若干个第一曝光区，所述第二区域上设置有若干个第二个曝光区，在第一曝光区和第二曝光区的各自的形状均由圆形限定的情况下，第一曝光区的直径小于第二曝光区的直径。的直径。的直径。


技术研发人员：区炜锋
受保护的技术使用者：深圳市墨提斯科技有限公司
技术研发日：2021.08.31
技术公布日：2022/3/8