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一种光刻胶汲取器的制作方法

专利查询2022-5-14  105

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1.本实用新型涉及汲取装置技术领域,尤其涉及一种光刻胶汲取器。


背景技术:

2.平板显示与半导体的黄光制程需要使用涂胶机把光刻胶涂布在基板上,光刻胶是经由汲取器从光刻胶桶输送给涂胶机的。光刻胶桶底部总会残留一部分光刻胶不能被利用到,造成光刻胶的浪费。为了减少光刻胶的浪费,在汲取器的汲取管上在增加设计弹簧管,减少桶底残留的光刻胶。


技术实现要素:

3.本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点,提供一种光刻胶汲取器。
4.本实用新型的目的通过以下技术方案来实现:一种光刻胶汲取器,至少包括密封盖和汲取管,所述汲取管连接至所述密封盖,所述密封盖呈中空状以限定出中空型腔,所述汲取管与所述中空型腔连通,在汲取管的第一端部连接至所述密封盖的情况下,汲取管的第二端部上设置有长度能够增大或减小的弹簧管,所述弹簧管至少包括卡接头和波纹管,所述卡接头设置于波纹管的第一端上,所述卡接头至少包括第一半环体和第二半环体,所述第一半环体和所述第二半环体能够彼此片拼接形成圆环体,所述圆环体的内径小于汲取管的外径。
5.优选的,所述第一半环体上设置有卡槽,所述第二半环体上设置有卡扣,所述卡扣能够卡接至所述卡槽。
6.优选的,波纹管的第二端上设置有支撑座,所述支撑座呈中空圆柱状,支撑座的底部上设置有若干个导通槽,导通槽的延伸方向与支撑座的径向大致平行。
7.优选的,支撑座的底部上设置有若干个真空吸附垫。
8.优选的,所述密封盖上设置有注气管,注气管与中空型腔连通。
9.优选的,所述中空型腔中设置有端盖,端盖的内壁上设置有内螺纹。
10.本实用新型具有以下优点:
11.(1)在使用时,汲取管插入光刻胶桶后,波纹管能够呈压缩状态,此时波纹管将时刻与光刻胶桶的底部抵靠接触,进而能够将桶底残留的光刻胶排出,最终达到降低光刻胶在光刻胶桶中的残留量的目的。
12.(2)圆环体的内径小于汲取管的外径能够增大卡接头与汲取管之间的连接牢靠度。
13.(3)在对真空吸附垫进行挤压时,真空吸附垫能够将其内部空间中的气体或流体排出,进而产生吸附力。通过设置真空吸附垫,能够增强弹簧管与光刻胶桶底部的连接强度。
14.(4)光刻胶桶能够同时被密封盖和端盖密封,进而在向光刻胶桶注入惰性气体时,能够避免惰性气体泄漏。
附图说明
15.图1为本实用新型优选的光刻胶汲取器结构示意图;
16.图2为本实用新型优选的光刻胶汲取器的工作原理示意图;
17.图3为本实用新型优选的弹簧管的结构示意图;
18.图4为本实用新型优选的卡槽和卡扣的设置方式示意图。
19.图中,1-密封盖、2-汲取管、3-中空型腔、2a-第一端部、2b-第二端部、4-弹簧管、4a-卡接头、4b-波纹管、5-第一端、6-第一半环体、7-第二半环体、8-卡槽、9-卡扣、10-第二端、11-支撑座、12-导通槽、13-真空吸附垫、14-注气管、15-端盖。
具体实施方式
20.下面结合附图对本实用新型做进一步的描述,本实用新型的保护范围不局限于以下所述:
21.如图1至图4所示,本申请提供一种光刻胶汲取器,至少包括密封盖1和汲取管2。汲取管2连接至密封盖1。密封盖1呈中空状以限定出中空型腔3。汲取管2与中空型腔3连通。在使用时,密封盖1嵌套设置于光刻胶桶的桶口中以对光刻胶桶进行密封,此时汲取管2插入光刻胶桶中,最终光刻胶桶中的光刻胶便可以从汲取管2排出光刻胶桶。
22.优选的,在汲取管2的第一端部2a连接至密封盖1的情况下,汲取管2的第二端部2b上设置有长度能够增大或减小的弹簧管4。弹簧管4至少包括卡接头4a和波纹管4b。卡接头4a设置于波纹管4b的第一端5上。波纹管4b与汲取管2之间通过卡接头4a进行连接。波纹管4b的长度能够增大或减小。在使用时,汲取管插入光刻胶桶后,波纹管4b能够呈压缩状态,此时波纹管4b将时刻与光刻胶桶的底部抵靠接触,进而能够将桶底残留的光刻胶排出,最终达到降低光刻胶在光刻胶桶中的残留量的目的。
23.优选的,卡接头4a至少包括第一半环体6和第二半环体7。第一半环体6和第二半环体7能够彼此片拼接形成圆环体。圆环体的内径小于汲取管2的外径。当第一半环体6和第二半环体彼此拼接时,卡接头4a能够套接在汲取管2的外侧。圆环体的内径小于汲取管2的外径能够增大卡接头4a与汲取管2之间的连接牢靠度。具体的,第一半环体6上设置有卡槽8,第二半环体7上设置有卡扣9。卡扣9能够卡接至卡槽8,以实现第一半环体6和第二半环体7的拼接固定。同时,卡扣连接的方式能够便于卡接头4a与汲取管2的分离。
24.优选的,波纹管4b的第二端10上设置有支撑座11。支撑座11呈中空圆柱状,支撑座11的底部上设置有若干个导通槽12,导通槽12的延伸方向与支撑座11的径向大致平行。
25.优选的,支撑座11的底部上设置有若干个真空吸附垫13。真空吸附垫13能够呈中空圆锥状,可以由橡胶、硅胶等材质制成。在对真空吸附垫13进行挤压时,真空吸附垫13能够将其内部空间中的气体或流体排出,进而产生吸附力。通过设置真空吸附垫13,能够增强弹簧管与光刻胶桶底部的连接强度。
26.优选的,密封盖1上设置有注气管14,注气管14与中空型腔3连通。在使用时,通过注气管14向光刻胶桶中注入惰性气体以使得光刻胶桶内的气压增强,此时在气压的作用下,光刻胶将从汲取管2排出。
27.优选的,中空型腔3中设置有端盖15。端盖15的内壁上设置有内螺纹。端盖15能够与光刻胶桶桶口螺纹连接,此时,光刻胶桶能够同时被密封盖1和端盖15密封,进而在向光
刻胶桶注入惰性气体时,能够避免惰性气体泄漏。
28.本申请的工作原理为:如图2所示,使用时,将密封盖1插入光刻胶桶的瓶口中,拧紧端盖15后,此时,弹簧管4将与光刻胶桶的底部抵靠接触,并对真空吸附垫13进行挤压,使得真空吸附垫13能够与光刻胶桶的底部连接。随后,通过注气管14向光刻胶桶中注入惰性气体以使其内部气压升高,进而光刻胶便能够从汲取管2中排出。
29.最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征:
1.一种光刻胶汲取器,至少包括密封盖(1)和汲取管(2),所述汲取管(2)连接至所述密封盖(1),所述密封盖(1)呈中空状以限定出中空型腔(3),所述汲取管(2)与所述中空型腔(3)连通,其特征在于,在汲取管(2)的第一端部(2a)连接至所述密封盖(1)的情况下,汲取管(2)的第二端部(2b)上设置有长度能够增大或减小的弹簧管(4),所述弹簧管(4)至少包括卡接头(4a)和波纹管(4b),所述卡接头(4a)设置于波纹管(4b)的第一端(5)上,所述卡接头(4a)至少包括第一半环体(6)和第二半环体(7),所述第一半环体(6)和所述第二半环体(7)能够彼此片拼接形成圆环体,所述圆环体的内径小于汲取管(2)的外径。2.根据权利要求1所述的光刻胶汲取器,其特征在于,所述第一半环体(6)上设置有卡槽(8),所述第二半环体(7)上设置有卡扣(9),所述卡扣(9)能够卡接至所述卡槽(8)。3.根据权利要求2所述的光刻胶汲取器,其特征在于,波纹管(4b)的第二端(10)上设置有支撑座(11),所述支撑座(11)呈中空圆柱状,支撑座(11)的底部上设置有若干个导通槽(12),导通槽(12)的延伸方向与支撑座(11)的径向大致平行。4.根据权利要求3所述的光刻胶汲取器,其特征在于,支撑座(11)的底部上设置有若干个真空吸附垫(13)。5.根据权利要求4所述的光刻胶汲取器,其特征在于,所述密封盖(1)上设置有注气管(14),注气管(14)与中空型腔(3)连通。6.根据权利要求5所述的光刻胶汲取器,其特征在于,所述中空型腔(3)中设置有端盖(15),端盖(15)的内壁上设置有内螺纹。

技术总结
本实用新型公开了一种光刻胶汲取器,至少包括密封盖和汲取管,所述汲取管连接至所述密封盖,所述密封盖呈中空状以限定出中空型腔,所述汲取管与所述中空型腔连通,在汲取管的第一端部连接至所述密封盖的情况下,汲取管的第二端部上设置有长度能够增大或减小的弹簧管,所述弹簧管至少包括卡接头和波纹管,所述卡接头设置于波纹管的第一端上,所述卡接头至少包括第一半环体和第二半环体,所述第一半环体和所述第二半环体能够彼此片拼接形成圆环体,所述圆环体的内径小于汲取管的外径。述圆环体的内径小于汲取管的外径。述圆环体的内径小于汲取管的外径。


技术研发人员:区炜锋
受保护的技术使用者:深圳市墨提斯科技有限公司
技术研发日:2021.08.31
技术公布日:2022/3/8

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