一种手动框架揭膜机的制作方法

1.本实用新型涉及揭膜机技术领域，尤其涉及一种手动框架揭膜机。


背景技术：

2.晶圆是指高纯度的硅制成一定直径的圆柱体，并通过激光切割成极薄的圆形硅片，并在表面通过光学或者化学蚀刻的方式将电路和电子元件安装上去，为了在产生误差时可以进行补救，晶圆上表面对光滑度要求非常高，因此为了更好地运输与储存，需要在晶圆表面进行涂膜，增强晶圆的抗氧化能力和耐温能力，在晶圆取出使用时，需要对晶圆的膜和边进行去除，使晶圆上表面和两边可以贴合电子元件的槽位进行导电工作。
3.现有的揭膜机，在使用时，不能够快速高效的对产品进行快速高效的往复式输送，并且不能够对产品进行高效率的对应式升降揭膜，导致产品在揭膜时的工作效率低，揭膜效果差，并且灵活性差，无法根据不同的使用需求使用揭膜机进行快速揭膜。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决了现有的揭膜机，在使用时，不能够快速高效的对产品进行快速高效的往复式输送，并且不能够对产品进行高效率的对应式升降揭膜，导致产品在揭膜时的工作效率低，揭膜效果差，并且灵活性差，无法根据不同的使用需求使用揭膜机进行快速揭膜的缺点，而提出的一种手动框架揭膜机。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种手动框架揭膜机，包括支架，所述支架的顶端连接有框架板，且框架板的表面安装有底箱，所述底箱的一侧连接有出料架，且底箱的表面安装有工作板，所述工作板的表面设置有马达，且马达的一侧安装有卡盘，所述底箱的一侧安装有控制箱；
7.所述底箱的外侧连接有伺服电机，且伺服电机的输出轴安装有转杆，所述转杆的另一侧连接有连接板，且连接板的另一侧安装有插杆，所述插杆的外壁套设有套板，且套板的外壁固定连接有横杆，所述横杆的顶端安装有立杆，且横杆的表面开设有第一滑槽，所述第一滑槽的内壁滑动连接有第一滑块，且第一滑块的顶端安装有固定杆，并且固定杆在底箱的内侧固定安装。
8.作为上述技术方案的进一步描述：
9.所述卡盘的底端固定安装有第二滑块，且第二滑块的外壁滑动连接有第二滑槽，并且第二滑槽在工作板的表面开设。
10.作为上述技术方案的进一步描述：
11.所述连接板通过插杆、套板与横杆之间构成伸缩结构，且横杆通过第一滑槽、第一滑块与固定杆之间构成滑动结构，并且横杆与立杆之间呈垂直分布。
12.作为上述技术方案的进一步描述：
13.所述工作板的顶端固定安装有u型板，且u型板的内壁固定安装有固定板，所述固定板的内部连接有活动轴，且活动轴的后端面安装有倾斜板，所述倾斜板的一侧设置有第
一连接轴，且第一连接轴的外壁安装有第一揭膜杆，所述倾斜板的另一侧连接有第二连接轴，且第二连接轴的外壁安装有第二揭膜杆，所述第二揭膜杆的外壁固定安装有连接杆，且连接杆的顶端连接有升降杆，所述升降杆的外壁套设有复位弹簧。
14.作为上述技术方案的进一步描述：
15.所述升降杆通过复位弹簧与u型板之间构成弹性结构，且升降杆通过连接杆与第二揭膜杆、第一揭膜杆之间构成传动结构。
16.作为上述技术方案的进一步描述：
17.所述第一揭膜杆通过倾斜板与第二揭膜杆之间构成传动结构，且倾斜板通过活动轴与固定板之间构成活动结构。
18.综上，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：
19.1、本实用新型中，通过在底箱的内部设置横杆，在立杆的连接作用下，伺服电机通过连接板带动插杆转动，则使套板带动横杆通过第一滑槽、第一滑块在固定杆的内壁滑动，从而使卡盘在通过第二滑槽、第二滑块在工作板的表面进行位置移动，通过这样的设置，则使用户快速的对卡盘表面的晶圆进行往复输送，确保了揭膜机的工作效率，并且结构简单，操作方便。
20.2、本实用新型中，在工作板的表面固定安装u型板的作用下，则使第一揭膜杆与第二揭膜杆在u型板的内部设置，通过挤压升降杆，在复位弹簧的弹性作用下，则使升降杆带动连接杆进行升降，通过连接杆与第二揭膜杆的固定连接，则使第二揭膜杆进行升降活动，并且通过在第二揭膜杆的一侧设置倾斜板，在倾斜板与第一揭膜杆的作用下，则使第一揭膜杆与第二揭膜杆实现对应的升降活动，便于两组揭膜杆高效的对晶圆进行快速揭膜，稳定性高，同时避免了对晶圆造成破坏。
附图说明
21.图1为本实用新型中一种手动框架揭膜机的立体结构示意图；
22.图2为本实用新型中横杆的俯视结构示意图；
23.图3为本实用新型中套板的正面结构示意图；
24.图4为本实用新型中u型板的内部剖面结构示意图。
25.图例说明：
26.1、支架；2、框架板；3、底箱；4、出料架；5、工作板；6、马达；7、卡盘；8、控制箱；9、伺服电机；10、转杆；11、连接板；12、插杆；13、套板；14、横杆；15、立杆；16、第一滑槽；17、第一滑块；18、固定杆；19、第二滑块；20、第二滑槽；21、u型板；22、固定板；23、活动轴；24、倾斜板；25、第一连接轴；26、第一揭膜杆；27、第二连接轴；28、第二揭膜杆；29、连接杆；30、升降杆；31、复位弹簧。
具体实施方式
27.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
28.参照图1-4，一种手动框架揭膜机，包括支架1、框架板2、底箱3、出料架4、工作板5、马达6、卡盘7、控制箱8、伺服电机9、转杆10、连接板11、插杆12、套板13、横杆14、立杆15、第一滑槽16、第一滑块17、固定杆18、第二滑块19、第二滑槽20、u型板21、固定板22、活动轴23、倾斜板24、第一连接轴25、第一揭膜杆26、第二连接轴27、第二揭膜杆28、连接杆29、升降杆30和复位弹簧31，支架1的顶端连接有框架板2，且框架板2的表面安装有底箱3，底箱3的一侧连接有出料架4，且底箱3的表面安装有工作板5，工作板5的表面设置有马达6，且马达6的一侧安装有卡盘7，底箱3的一侧安装有控制箱8，底箱3的内部设置有两组电加热管，确保了卡盘7的温度偏差保持合适，提高了晶圆的揭膜质量，并且采用计时器控制，在加热倒计时结束后气缸下压，保证按规定时间对产品进行加热；
29.底箱3的外侧连接有伺服电机9，且伺服电机9的输出轴安装有转杆10，转杆10的另一侧连接有连接板11，且连接板11的另一侧安装有插杆12，插杆12的外壁套设有套板13，且套板13的外壁固定连接有横杆14，横杆14的顶端安装有立杆15，且横杆14的表面开设有第一滑槽16，第一滑槽16的内壁滑动连接有第一滑块17，且第一滑块17的顶端安装有固定杆18，并且固定杆18在底箱3的内侧固定安装，横杆14通过第一滑槽16、第一滑块17在固定杆18的内部滑动，从而使横杆14通过立杆15带动卡盘7进行往复式位置移动，便于对产品进行输送，保证了揭膜机的工作效率，降低生产成本。
30.进一步的，卡盘7的底端固定安装有第二滑块19，且第二滑块19的外壁滑动连接有第二滑槽20，并且第二滑槽20在工作板5的表面开设，卡盘7可以进行拆卸与更换，便于揭膜机根据不同的产品使用不同的卡盘7，扩大了揭膜机的适用范围，并且结余了更换卡盘7的时间。
31.进一步的，连接板11通过插杆12、套板13与横杆14之间构成伸缩结构，且横杆14通过第一滑槽16、第一滑块17与固定杆18之间构成滑动结构，并且横杆14与立杆15之间呈垂直分布，通过将插杆12在套板13的内部设置，则使插杆12在转动时可以套板13进行伸缩活动，进而实现卡盘7的伸缩活动。
32.进一步的，工作板5的顶端固定安装有u型板21，且u型板21的内壁固定安装有固定板22，固定板22的内部连接有活动轴23，且活动轴23的后端面安装有倾斜板24，倾斜板24的一侧设置有第一连接轴25，且第一连接轴25的外壁安装有第一揭膜杆26，倾斜板24的另一侧连接有第二连接轴27，且第二连接轴27的外壁安装有第二揭膜杆28，第二揭膜杆28的外壁固定安装有连接杆29，且连接杆29的顶端连接有升降杆30，升降杆30的外壁套设有复位弹簧31，工作板5的表面一侧设置有离子风扇，防止在揭膜过程中产生静电对产品造成伤害，提高了揭膜机工作的稳定性与安全性。
33.进一步的，升降杆30通过复位弹簧31与u型板21之间构成弹性结构，且升降杆30通过连接杆29与第二揭膜杆28、第一揭膜杆26之间构成传动结构，第二揭膜杆28、第一揭膜杆26的底端设置有揭膜头，可以实现自由拆卸，便于用户根据使用需求对揭膜头进行更换，使揭膜机满足不同的使用。
34.进一步的，第一揭膜杆26通过倾斜板24与第二揭膜杆28之间构成传动结构，且倾斜板24通过活动轴23与固定板22之间构成活动结构，倾斜板24在第一揭膜杆26与第二揭膜杆28的表面设置有两组，且两组倾斜板24呈平行分布，确保了第一揭膜杆26与第二揭膜杆28之间的升降的稳定性，实现第一揭膜杆26与第二揭膜杆28在升降时的对应性。
35.工作原理：使用时，将揭膜机通电，将晶圆在卡盘7的表面放置，通过伺服电机9带动转杆10转动，在连接板11的作用下，则使插杆12带动套板13转动，通过套板13与横杆14的固定连接，则使横杆14通过第一滑槽16、第一滑块17在固定杆18的内部滑动，从而使横杆14通过立杆15带动卡盘7进行往复式位置移动，便于对产品进行输送，在进行揭膜时，通过底箱3内部的加热器通电，在温度合适的作用下，通过挤压升降杆30，则使第一揭膜杆26与第二揭膜杆28进行对应式升降活动，从而使第一揭膜杆26与第二揭膜杆28操作胶条进行移除，确保了揭膜机的工作效果，并且保证了揭膜机的揭膜效率，实现稳定高效的揭膜，就这样完成该装置的工作原理。
36.以上，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。