一种刻蚀环检测用便于清理的检测台的制作方法

1.本实用新型涉及检测台清理技术领域。


背景技术：

2.刻蚀是半导体制造工艺，微电子ic制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相当重要的步骤，是与光刻相联系的图形化处理的一种主要工艺，所谓刻蚀，实际上狭义理解就是光刻腐蚀，先通过光刻将光刻胶进行光刻曝光处理，然后通过其它方式实现腐蚀处理掉所需除去的部分，刻蚀是用化学或物理方法有选择地从硅片表面去除不需要的材料的过程，其基本目标是在涂胶的硅片上正确地复制掩模图形。
3.随着微制造工艺的发展，刻蚀成了通过溶液、反应离子或其它机械方式来剥离、去除材料的一种统称，成为微加工制造的一种普适叫法，而刻蚀环检测需要在检测台上进行，因此会造成大量的刻蚀液，现有的清理装置清理效果较差，如不经妥善处理与利用，会造成严重的环境污染与极大的经济浪费，故而提出一种刻蚀环检测用便于清理的检测台来解决上述中所提出的问题。


技术实现要素：

4.本实用新型针对现有技术中存在的技术问题，提供一种刻蚀环检测用便于清理的检测台，解决了检测台清理效果较差会造成严重的环境污染与极大的经济浪费的问题。
5.本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种刻蚀环检测用便于清理的检测台，包括检测台本体、清理装置和回收装置；所述检测台本体包括检测台和固定箱，所述固定箱的左侧固定连接有清理装置，所述固定箱的右侧固定连接有回收装置，所述固定箱用于固定清理装置和回收装置；所述清理装置包括水箱、水泵、输水管、高压喷头和电动推杆，所述清理装置用于检测台清理；所述回收装置包括回收箱、回收管和过滤板，所述回收装置用于回收清理废料。
6.在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。
7.进一步，所述检测台顶部的四周均固定连接有防护板，所述检测台的底部活动连接有固定箱，所述固定箱为空心的长方体。
8.进一步，所述固定箱的底部固定连接有万向轮，所述万向轮的数量为四个，所述固定箱的正面铰接有箱门。
9.进一步，所述固定箱的左侧固定连接有水箱、水泵和固定板，所述水箱的顶部设有进水口，所述水箱与水泵之间固定连接有连接管。
10.进一步，所述水泵位于水箱的顶部，所述固定板位于水泵的顶部，所述水泵的顶部固定连接有贯穿并延伸在固定板外部的输水管。
11.进一步，所述输水管远离水泵一端的底部固定连接有高压喷头，所述固定箱的内部固定安装有电动推杆，所述电动推杆的输出端上与检测台的底面固定连接。
12.进一步，所述固定箱的右侧固定连接有回收箱，所述检测台的内部固定连接有延
伸至回收箱内部的回收管。
13.进一步，所述回收箱的内部卡接有贯穿并延伸至回收箱外部的过滤板，所述过滤板的内部固定连接有过滤网，所述回收箱的内部固定连接有贯穿并延伸至回收箱外部的排水管，所述排水管和回收管的外部均固定连接有控制阀。
14.与现有技术相比，本技术的技术方案具有以下有益技术效果：
15.1、该刻蚀环检测用便于清理的检测台，通过设置启动水泵增压，便于输水管将水箱内部的水输送至高压喷头内部，再通过设置高压喷头对检测台的顶面进行清洗，然后通过设置启动电动推杆，电动推杆启动带动检测台的左侧向上升起，便于清洗后的废料流向回收管,达到了清理效果好的优点。
16.2、该刻蚀环检测用便于清理的检测台，通过设置检测台的四周均固定连接有防护板，能够有效避免清洗水向四周飞溅，通过设置回收箱的内部卡接有过滤板，便于对废料进行过滤处理，再通过设置回收箱、回收管和过滤板之间的配合，便于对废料进行回收处理，有效的减少了环境污染和经济浪费，达到了回收效果好的优点。
附图说明
17.图1为本实用新型结构示意图；
18.图2为本实用新型结构正视图。
19.附图中，各标号所代表的部件列表如下：
20.1、检测台本体，2、清理装置，3、回收装置，101、检测台，102、防护板，103、固定箱，104、万向轮，105、箱门，201、水箱，202、水泵，203、固定板，204、输水管，205、高压喷头，206、电动推杆，301、回收箱，302、回收管，303、过滤板，304、排水管，305、控制阀。
具体实施方式
21.以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。
22.请参阅图1-2，本实施例中的包括检测台本体1、清理装置2和回收装置3；检测台本体1包括检测台101和固定箱103，固定箱103的左侧固定连接有清理装置2，固定箱103的右侧固定连接有回收装置3，固定箱103用于固定清理装置2和回收装置3；清理装置2包括水箱201、水泵202、输水管204、高压喷头205和电动推杆206，清理装置2用于检测台101清理；回收装置3包括回收箱301、回收管302和过滤板303，回收装置3用于回收清理废料，通过启动水泵202增压，便于输水管204将水箱201内部的水输送至高压喷头205内部，再通过高压喷头205对检测台101的顶面进行清洗，然后通过启动电动推杆206，电动推杆206启动带动检测台101的左侧向上升起，便于清洗后的废料流向回收管302,达到了清理效果好的优点。
23.本实施例中，检测台101顶部的四周均固定连接有防护板102，能够有效避免清洗水向四周飞溅，检测台101的底部活动连接有固定箱103，便于对固定清理装置2和回收装置3进行固定安装，固定箱103的底部固定连接有万向轮104，万向轮104的数量为四个，便于使用者将该装置移动至指定位置，固定箱103的正面铰接有箱门105，便于储存杂物。
24.本实施例中，固定箱103的左侧固定连接有水箱201、水泵202和固定板203，水箱201的顶部设有进水口，便于添加清洗水，水箱201与水泵202之间固定连接有连接管，水泵
202位于水箱201的顶部，固定板203位于水泵202的顶部，水泵202的顶部固定连接有贯穿并延伸在固定板203外部的输水管204，输水管204远离水泵202一端的底部固定连接有高压喷头205，便于输水管204将水箱201内部的水输送至高压喷头205内部，固定箱103的内部固定安装有电动推杆206，电动推杆206的输出端上与检测台101的底面固定连接，便于电动推杆206启动带动检测台101的左侧向上升起。
25.本实施例中，固定箱103的右侧固定连接有回收箱301，检测台101的内部固定连接有延伸至回收箱301内部的回收管302，便于对废料进行回收处理，有效的减少了环境污染和经济浪费，达到了回收效果好的优点，回收箱301的内部卡接有贯穿并延伸至回收箱301外部的过滤板303，过滤板303的内部固定连接有过滤网，回收箱301的内部卡接有过滤板303，便于对废料进行过滤处理，回收箱301的内部固定连接有贯穿并延伸至回收箱301外部的排水管304，排水管304和回收管302的外部均固定连接有控制阀305，便于对排水管304和回收管302进行控制。
26.上述实施例的工作原理为：
27.通过启动水泵202增压，便于输水管204将水箱201内部的水输送至高压喷头205内部，再通过高压喷头205对检测台101的顶面进行清洗，然后通过启动电动推杆206，电动推杆206启动带动检测台101的左侧向上升起，便于清洗后的废料流向回收管302。
28.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。