一种晶圆片点测机的探测装置的制作方法

1.本实用新型涉及点测技术领域，具体涉及一种晶圆片点测机的探测装置。


背景技术：

2.晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，在对晶圆片进行生产的需要使用到点测机对其进行探测。
3.目前，现有的晶圆片点测机的探测装置在对探针进行安装的时候使其固定在点测机的外部，工作人员在对其进行使用的时候无法对其进行任意调整位置，降低探针在使用过程中的功能性，同时也降低了使用的便捷性。
4.针对现有技术存在以下问题：
5.1、现有的晶圆片点测机的探测装置在对探针进行安装的时候一次只能安装一个探针，不能针对不同的晶圆片进行探测，需要将之前的探针拆卸之后，再安装，使得安装和工作效率比较低；
6.2、现有的晶圆片点测机的探测装置在对探针进行安装的时候使其固定在点测机的外部，工作人员在对其进行使用的时候无法对其进行位置的调整，不方便使用。


技术实现要素：

7.本实用新型提供一种晶圆片点测机的探测装置，其中一种目的是为了具备安装圆盘和探针安装管，解决现有的晶圆片点测机的探测装置在对探针进行安装的时候一次只能安装一个探针，不能针对不同的晶圆片进行探测，需要将之前的探针拆卸之后，再安装，使得安装和工作效率比较低的问题；其中另一种目的是为了解决现有的晶圆片点测机的探测装置在对探针进行安装的时候使其固定在点测机的外部，工作人员在对其进行使用的时候无法对其进行位置的调整，不方便使用，从而设置了旋转装置和伸缩杆。
8.为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：
9.一种晶圆片点测机的探测装置，包括主体装置和探针安装管，所述主体装置的内部设置有安装圆盘，所述安装圆盘的上表面开设有安装槽，所述安装槽的内壁固定连接有第一内置卡圈，所述安装槽的内壁活动连接有探针安装管。
10.所述探针安装管的上表面开设有通线管道，所述探针安装管的内部设置有旋转电机，所述旋转电机的底部固定连接有转动齿轮，所述转动齿轮的外壁齿接齿杆，所述齿杆的底部固定连接有探针安装座。
11.本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述探针安装座的外侧中心处固定连接有导向块，所述导向块远离所述探针安装座的一侧与所述探针安装管的内壁活动连接，所述导向块的上方设置有第一限位块，所述导向块的下方设置有第二限位块。
12.采用上述技术方案，该方案中的第一限位块和第二限位块的作用是为了限定探针安装座。
13.本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述第一限位块远离所述探针安装座的一侧与所述探针安装管的内壁固定连接，所述第二限位块远离所述探针安装座的一侧与所述探针安装管的内壁固定连接。
14.本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述探针安装座的内壁固定连接有第二内置卡圈，所述第二内置卡圈的内壁卡接有探针，所述探针安装管的上表面开设有通线管道，所述探针安装管的外壁固定连接有外置卡圈。
15.采用上述技术方案，该方案中的外置卡圈的设置是为了和安装槽内的第一内置卡圈相卡接。
16.本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述安装圆盘的上表面中心处固定连接有伸缩杆。
17.采用上述技术方案，该方案中的伸缩杆的作用是可以控制安装圆盘进行升降，调节位置。
18.本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述伸缩杆的上表面中心处固定连接有旋转装置。
19.采用上述技术方案，该方案中的旋转装置的旋转可以控制不同探针的使用。
20.由于采用了上述技术方案，本实用新型相对现有技术来说，取得的技术进步是：
21.1、本实用新型提供一种晶圆片点测机的探测装置，将探针的尾端安装的在探针安装座内部的第二内置卡圈，然后再将探针安装管安装在安装圆盘的安装槽上，安装圆盘上的安装槽可以安装四个探针安装管，即可安装四种不同类型的探针，解决了现有的晶圆片点测机的探测装置在对探针进行安装的时候一次只能安装一个探针，不能针对不同的晶圆片进行探测，需要将之前的探针拆卸之后，再安装，使得安装和工作效率比较低的问题。
22.2、本实用新型提供一种晶圆片点测机的探测装置，通过旋转装置的旋转可以控制不同探针的使用，伸缩杆可以调整安装圆盘的位置，方便使用，解决现有的晶圆片点测机的探测装置在对探针进行安装的时候使其固定在点测机的外部，工作人员在对其进行使用的时候无法对其进行位置的调整，不方便使用的问题。
附图说明
23.图1为本实用新型的主体装置结构示意图；
24.图2为本实用新型的安装圆盘俯视结构示意图；
25.图3为本实用新型的探针安装管结构细节示意图；
26.图4为本实用新型的a处放大结构示意图。
27.图中：1、主体装置；2、旋转装置；3、伸缩杆；4、安装圆盘；5、探针安装管；6、通线管道；7、探针；8、安装槽；9、第一内置卡圈；10、外置卡圈；11、旋转电机；12、转动齿轮；13、齿杆；14、第一限位块；15、导向块；16、第二限位块；17、探针安装座；18、第二内置卡圈。
具体实施方式
28.下面结合实施例对本实用新型做进一步详细说明：
29.实施例1
30.如图1-4所示，本实用新型提供了一种晶圆片点测机的探测装置，包括主体装置1和探针安装管5，主体装置1的内部设置有安装圆盘4，安装圆盘4的上表面开设有安装槽8，探针安装管5安装在安装圆盘4的安装槽8上，安装槽8的内壁固定连接有第一内置卡圈9，安装槽8的内壁活动连接有探针安装管5，探针安装管5的上表面开设有通线管道6，探针安装管5的内部设置有旋转电机11，旋转电机11的底部固定连接有转动齿轮12，转动齿轮12的外壁齿接齿杆13，齿杆13的底部固定连接有探针安装座17，探针安装座17的外侧中心处固定连接有导向块15，导向块15远离探针安装座17的一侧与探针安装管5的内壁活动连接，导向块15的上方设置有第一限位块14，导向块15的下方设置有第二限位块16。
31.实施例2
32.如图1-4所示，在实施例1的基础上，本实用新型提供一种技术方案：优选的，第一限位块14远离探针安装座17的一侧与探针安装管5的内壁固定连接，第二限位块16远离探针安装座17的一侧与探针安装管5的内壁固定连接，探针安装座17的内壁固定连接有第二内置卡圈18，探针7的尾端安装的在探针安装座17内部的第二内置卡圈18，第二内置卡圈18的内壁卡接有探针7，探针安装管5的上表面开设有通线管道6，探针安装管5的外壁固定连接有外置卡圈10，外置卡圈10的设置是为了和安装槽8内的第一内置卡圈9相卡接，安装圆盘4的上表面中心处固定连接有伸缩杆3，伸缩杆3的作用是可以控制安装圆盘4进行升降，调节位置，伸缩杆3的上表面中心处固定连接有旋转装置2，旋转装置2的旋转可以控制不同探针7的使用。
33.下面具体说一下该晶圆片点测机的探测装置的工作原理。
34.如图1-4所示，安装时，首先将探针7的尾端安装的在探针安装座17内部的第二内置卡圈18，然后再将探针安装管5安装在安装圆盘4的安装槽8上，安装圆盘4上的安装槽8可以安装四个探针安装管5，即可安装四种不同类型的探针7，安装完毕之后，通过旋转装置2的旋转可以控制不同探针7的使用，伸缩杆3可以调整安装圆盘4的位置，方便安装。
35.上文一般性的对本实用新型做了详尽的描述，但在本实用新型基础上，可以对之做一些修改或改进，这对于技术领域的一般技术人员是显而易见的。因此，在不脱离本实用新型思想精神的修改或改进，均在本实用新型的保护范围之内。