升华仪真空系统的制作方法

专利查询2022-5-15  190



1.本实用新型的实施例涉及一种真空系统,特别涉及一种升华仪真空系统。


背景技术:

2.在现有的升华仪中,过滤装置一般都采用多层金属网进行过滤,多层金属网可将大部分粉料过滤在真空系统外,但是,总有少量的气态物料会跟随气体进入机械泵和分子泵,造成机械泵和分子泵使用寿命缩短。


技术实现要素:

3.本实用新型的实施方式的目的在于提供一种多层金属网和二级冷阱组成的过滤装置,实现粉料的过滤,从而解决由于少量的气态物料会跟随气体进入机械泵和分子泵,造成机械泵和分子泵使用寿命缩短的技术问题。
4.为了实现上述目的,本实用新型的实施方式设计了一种升华仪真空系统,其特征在于,包括:
5.真空管,所述的真空管沿预设轴线设置于升华仪主体的一侧;
6.管道开关装置,在所述的真空管与所述的升华仪主体之间固定连接所述的管道开关装置;用于控制所述的升华仪主体与所述的的真空管中的真空的通断;
7.过滤装置,在所述的管道开关装置的一侧串联至所述的过滤装置的一侧;
8.真空装置,在所述的过滤装置的另一侧串联所述的真空装置。
9.进一步,所述的真空管与所述的升华仪主体沿着中心轴线垂直固定连接于所述的升华仪主体的一侧,并与所述的升华仪主体通过所述管道开关装置进行连通和截止。
10.进一步,所述的管道开关装置,还包括:
11.插板阀,沿所述的真空管纵向中心轴线上设置所述的插板阀;所述的插板阀的插板截止所述的真空管的纵向横截面;
12.插板阀驱动装置,在所述的插板阀顶部固定所述插板阀驱动装置,所述的插板阀驱动装置带动所述插板上下运动。
13.进一步,所述的插板阀驱动装置为电机或者为气缸。
14.进一步,所述的过滤装置,还包括:
15.乙醇冷阱,所述乙醇冷阱与所述的管道开关装置中的插板阀相连接;所述的乙醇冷阱的一侧与所述的插板阀的一侧固定连接;
16.液氮冷阱,在所述的乙醇冷阱的另一侧与所述液氮冷阱的一侧固定连接;在液氮冷阱的另一端连接气动插板阀的一侧,在所述气动插板阀的另一侧连接固定分子泵;在所述液氮冷阱的下方连接机械泵。
17.进一步,所述的乙醇冷阱,还包括:
18.第一空腔,在所述的插板阀的一端连接所述的第一空腔;
19.乙醇冷却管,在所述第一空腔内穿入所述乙醇冷却管;
20.冷却散热片,所述乙醇冷却管依次穿入所述冷却散热片,所述的冷却散热片沿着所述第一空腔的中心轴线对称设置;所述冷却散热片上下间隔固定在所述乙醇冷却管上;
21.所述的乙醇冷却管呈u型状,在所述第一空腔内形成u型,在所述第一空腔的上方固定所述乙醇冷却管进口和所述乙醇冷却管出口;在所述第一空腔内形成冷却回路。
22.进一步,所述的液氮冷阱,还包括:
23.第二空腔,在所述的液氮冷阱的中心轴线上设置所述第二空腔,所述第二空腔的一侧连接所述的乙醇冷阱的一侧;所述第二空腔的另一侧连接所述气动插板阀的一侧;
24.液氮腔体,在所述第二空腔内设置所述液氮腔体,在所述液氮腔体上方设置加液管,所述加液管的一端伸出所述第二空腔;所述的液氮腔体的上方壳体与所述第二空腔的上方壳体固定连接。
25.进一步,所述的第二空腔的下方设置第一连接接头,与机械泵连接;所述的第二空腔的侧面与气动插板阀的一侧连接。
26.进一步,所述的真空装置为机械泵和分子泵。
27.本实用新型的实施方式同现有技术相比,在本实用新型中采用了乙醇冷阱+ 液氮冷阱二级冷阱过滤装置,可以有效分离进入真空系统中的气态物料,使进入真空泵的气体更洁净,延长真空泵的寿命;解决了现有技术中少量的气态物料会跟随气体进入机械泵和分子泵,造成机械泵和分子泵使用寿命缩短的技术问题。
附图说明
28.图1为本实用新型的立体结构示意图;
29.图2为图1的主视方向的示意图;
30.图3为图1的左视方向的示意图。
31.图4为本实用新型的过滤装置的放大示意图。
具体实施方式
32.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本实用新型的各实施方式进行详细的阐述。然而,本领域的普通技术人员可以理解,在本实用新型各实施方式中,为了使读者更好地理解本技术而提出了许多技术细节。但是,即使没有这些技术细节和基于以下各实施方式的种种变化和修改,也可以实现本技术各权利要求所要求保护的技术方案。
33.本实用新型的第一实施方式涉及一种升华仪真空系统,如图1、图2和图3 所示,包括:
34.真空管10沿预设轴线设置于升华仪主体20的一侧;真空管10主要用于连接升华仪主体20与过滤装置50;
35.管道开关装置30,在真空管10与升华仪主体20之间固定连接管道开关装置30;用于控制升华仪主体10与真空管10中的真空通断;
36.在管道开关装置30的一侧串联至过滤装置50的一侧;过滤装置50用于过滤和分离进入真空系统中的气态物料,使进入真空泵的气体更洁净,延长真空泵的寿命;
37.在过滤装置50的另一侧串联真空装置60;真空装置60主要起到抽取真空的作用。
38.在本实施例中采用了在管道开关装置30的一侧串联至过滤装置50的形式进行物料的过滤,可以有效分离进入真空装置60中的气态物料,解决了现有技术中少量的气态物料会跟随气体进入真空装置60,造成真空装置60使用寿命缩短的技术问题。
39.为了实现上述的技术效果,如图1、图2和图3所示,真空管10与升华仪主体20沿着中心轴线垂直固定连接于升华仪主体20的一侧,并与升华仪主体 20通过管道开关装置30进行连通和截止。使得真空装置60对于升华仪主体20 进行抽取真空时,能够实现控制,进行连通和截止。
40.为了实现上述的技术效果,如图1、图2和图3所示,管道开关装置30,还包括:
41.插板阀31,沿真空管10纵向中心轴线上设置插板阀31;插板阀31的插板截止真空管10的纵向横截面;
42.插板阀驱动装置32,在插板阀31顶部固定插板阀驱动装置32,插板阀驱动装置32带动插板31上下运动。
43.在本实施例中,如图1、图2和图3所示,插板阀驱动装置32为电机或者为气缸。
44.为了实现上述的技术效果,如图1、图2和图3所示,过滤装置50,还包括:
45.乙醇冷阱51与管道开关装置30中的插板阀31相连接;乙醇冷阱51的一侧与插板阀31的一侧固定连接;乙醇冷阱51主要利用乙醇进行冷却,从而未过滤的粉末。
46.在乙醇冷阱51的另一侧与液氮冷阱52的一侧固定连接;在液氮冷阱52的另一端连接气动插板阀53的一侧,在气动插板阀53的另一侧连接固定分子泵 61;在液氮冷阱52的下方连接机械泵62;液氮冷阱52通过盛放液氮,乙醇冷阱51+液氮冷阱52,这样的二级冷阱过滤装置可以大幅度降低气体温度,进一步净化气体;可以有效分离进入真空系统中的气态物料,使进入真空泵的气体更洁净,延长真空泵的寿命。
47.为了实现上述的技术效果,如图4所示,乙醇冷阱51,还包括:
48.在插板阀31的一端连接第一空腔511;第一空腔511起到用于冷却气态物料的作用。
49.在第一空腔511内穿入乙醇冷却管512;乙醇冷却管512作为冷却气态物料的冷却管,起到传递热量的作用。
50.乙醇冷却管512依次穿入冷却散热片513,冷却散热片513沿着第一空腔511 的中心轴线对称设置;冷却散热片513上下间隔固定在乙醇冷却管512上;冷却散热片513能够起到扩大散热面积,能够使得,乙醇冷阱51更好地冷却气态物料。
51.乙醇冷却管512呈u型状,在第一空腔511内形成u型,在第一空腔511 的上方固定乙醇冷却管进口514和乙醇冷却管出口515;在第一空腔511内形成冷却回路。
52.在本实施例中,乙醇通乙醇冷却管进口514和乙醇冷却管出口515在乙醇冷却管512中流动,乙醇冷却管512为u型设计,乙醇冷却管512上设计有冷却散热片513,降低气体温度,减慢气体流速;可大幅度降低气体温度,能够净化气体;可以有效分离进入真空系统中的气态物料,使进入机械泵62和分子泵61 的气体更洁净,延长机械泵62和分子泵61的寿命。
53.为了实现上述的技术效果,如图4所示,液氮冷阱52,还包括:
54.在液氮冷阱52的中心轴线上设置第二空腔521,第二空腔521的一侧连接乙醇冷阱52的一侧;第二空腔521的另一侧连接气动插板阀53的一侧;第二空腔521同样用于冷却气
态物料的作用。
55.在第二空腔521内设置液氮腔体522,在液氮腔体522上方设置加液管523,加液管523的一端伸出第二空腔521;液氮腔体521的上方壳体与第二空腔521 的上方壳体固定连接。液氮腔体522用于盛放液氮,通过加液管523将液氮注入到液氮腔体522中,并通过液氮腔体522在第二空腔521中吸收大量的热,实现冷却气态物料的作用。
56.在本实施例中的液氮冷阱52为双层圆桶设计,液氮腔体522内盛有液氮,
57.为了实现冷却气态物料的作用,如图1、图2和图3所示,第二空腔521的下方设置第一连接接头524,与机械泵62连接;第二空腔521的侧面与气动插板阀53的一侧连接。
58.如图1所示,真空装置60为机械泵62和分子泵61,机械泵62与分子泵61 进行分开开启,进行真空抽取。
59.上述的实施方式,采用了乙醇冷阱+液氮冷阱二级冷阱过滤装置,有效分离了进入真空系统中的气态物料,使进入真空泵的气体更洁净,延长真空泵的寿命;解决了现有技术中少量的气态物料会跟随气体进入机械泵和分子泵,造成机械泵和分子泵使用寿命缩短的技术问题。
60.本领域的普通技术人员可以理解,上述各实施方式是实现本实用新型的具体实施例,而在实际应用中,可以在形式上和细节上对其作各种改变,而不偏离本实用新型的精神和范围。

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