一种真空镀膜机用密封结构的制作方法

1.本实用新型涉及密封结构领域，更具体地说，涉及一种真空镀膜机用密封结构。


背景技术：

2.真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。
3.真空镀膜机在将膜密封到真空管等部件上时需要使用密封结构，而现有的密封结构一般只能对某一直径大小的真空管进行固定，从而降低了密封结构的可使用范围。


技术实现要素：

4.1．要解决的技术问题
5.针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机用密封结构，它便于对直径小于固定筒直径的真空管进行固定，并通过密封板挤压镀膜到真空管的管口，从而便于对真空管进行镀膜密封，且该装置结构简单，便于使用。
6.2．技术方案
7.为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。
8.一种真空镀膜机用密封结构，包括安装板，所述安装板的侧壁固定安装有固定筒，所述固定筒的上端螺纹连接有两个螺纹杆，两个所述螺纹杆朝向固定筒中心的一端转动连接有弧形固定板，所述安装板的上端固定安装有两个限位板，两个所述螺纹杆分别螺纹连接两个限位板，所述安装板的上端固定安装有支撑架，所述支撑架固定安装有气缸，所述气缸的下端固定安装有伸缩杆，所述伸缩杆的下端固定安装有密封板。
9.进一步的，所述伸缩杆、密封板和固定筒的中心处于同一竖直线，便于气缸通过伸缩杆挤压密封板向固定筒处移动，从而便于保持密封板的受力均匀，同时便于密封板将膜挤压到固定筒内固定到真空管的管口处。
10.进一步的，所述固定筒的上端开设有弧形槽，所述弧形固定板与弧形槽相适配，便于弧形固定板收缩到弧形槽内，从而便于将真空管放置于固定筒的内腔中固定。
11.进一步的，所述固定筒的上端与限位板均开设有螺纹孔，所述螺纹杆的侧壁设置有与螺纹孔相适配的螺纹，通过限位板和固定筒设置的螺纹孔，便于增大螺纹杆的稳定性，进而便于螺纹杆通过弧形固定板稳定固定真空管。
12.进一步的，所述密封板的下端设置有密封槽，所述密封槽的直径大于固定筒的直径，便于密封板将膜挤压到固定筒处，同时便于膜覆盖到真空管的管口。
13.3．有益效果
14.相比于现有技术，本实用新型的优点在于：
15.（1）本实用新型便于对直径小于固定筒直径的真空管进行固定，并通过密封板挤压镀膜到真空管的管口，从而便于对真空管进行镀膜密封，且该装置结构简单，便于使用。
附图说明
16.图1为本实用新型的结构剖视图；
17.图2为本实用新型的结构俯视图；
18.图3为本实用新型固定筒结构示意图。
19.图中标号说明：
20.1、安装板；2、固定筒；3、螺纹杆；4、弧形固定板；5、限位板；6、支撑架；7、气缸；8、伸缩杆；9、密封板。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图；对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然；所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例；而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例；本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例；都属于本实用新型保护的范围。
22.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
23.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
24.实施例1：
25.请参阅图1-3，一种真空镀膜机用密封结构，包括安装板1，安装板1开设有安装孔，安装板1的侧壁开设有安装槽，安装板1的侧壁通过安装槽固定安装有固定筒2，固定筒2的侧壁开设有进出槽，固定筒2的上端螺纹连接有两个螺纹杆3，两个螺纹杆3朝向固定筒2中心的一端转动连接有弧形固定板4，弧形固定板4开设有与螺纹杆3相适配的转动槽，便于螺纹杆3的一端在弧形固定板4的转动槽内转动，安装板1的上端固定安装有两个限位板5，两个螺纹杆3分别螺纹连接两个限位板5，安装板1的上端固定安装有支撑架6，支撑架6固定安装有气缸7，气缸7的下端固定安装有伸缩杆8，伸缩杆8的下端固定安装有密封板9。
26.伸缩杆8、密封板9和固定筒2的中心处于同一竖直线，便于气缸7通过伸缩杆8挤压密封板9向固定筒2处移动，从而便于保持密封板9的受力均匀，同时便于密封板9将膜挤压到固定筒2内固定到真空管的管口处。
27.固定筒2的上端开设有弧形槽，弧形固定板4与弧形槽相适配，便于弧形固定板4收缩到弧形槽内，从而便于将真空管放置于固定筒2的内腔中固定。
28.固定筒2的上端与限位板5均开设有螺纹孔，螺纹杆3的侧壁设置有与螺纹孔相适配的螺纹，通过限位板5和固定筒2设置的螺纹孔，便于增大螺纹杆3的稳定性，进而便于螺纹杆3通过弧形固定板4稳定固定真空管。
29.密封板9的下端设置有密封槽，密封槽的直径大于固定筒2的直径，便于密封板9将膜挤压到固定筒2处，同时便于膜覆盖到真空管的管口。
30.使用时，由本领域技术员通过安装孔将安装板1安装到真空镀膜机上，之后将膜穿过支撑架6，并悬浮固定筒2上方和密封板9的下方，然后将直径小于固定筒2直径的真空管从固定筒2的进行槽放置到固定筒2的内腔中，之后螺旋转动螺纹杆3，螺纹杆3通过弧形固定板4将真空管固定到固定筒2的内腔，然后将气缸7连接电源并启动，之后气缸7通过伸缩杆8相向固定筒2处挤压密封板9，此时密封板9将膜挤压到固定筒2内真空管的管口，进而便于将膜密封到真空管的管口，本实用新型便于对直径小于固定筒2直径的真空管进行固定，并通过密封板挤9压镀膜到真空管的管口，从而便于对真空管进行镀膜密封，且该装置结构简单，便于使用。
31.以上所述；仅为本实用新型较佳的具体实施方式；但本实用新型的保护范围并不局限于此；任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内；根据本实用新型的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变；都应涵盖在本实用新型的保护范围内。


技术特征：
1.一种真空镀膜机用密封结构，包括安装板（1），其特征在于：所述安装板（1）的侧壁固定安装有固定筒（2），所述固定筒（2）的上端螺纹连接有两个螺纹杆（3），两个所述螺纹杆（3）朝向固定筒（2）中心的一端转动连接有弧形固定板（4），所述安装板（1）的上端固定安装有两个限位板（5），两个所述螺纹杆（3）分别螺纹连接两个限位板（5），所述安装板（1）的上端固定安装有支撑架（6），所述支撑架（6）固定安装有气缸（7），所述气缸（7）的下端固定安装有伸缩杆（8），所述伸缩杆（8）的下端固定安装有密封板（9）。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用密封结构，其特征在于：所述伸缩杆（8）、密封板（9）和固定筒（2）的中心处于同一竖直线。3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用密封结构，其特征在于：所述固定筒（2）的上端开设有弧形槽，所述弧形固定板（4）与弧形槽相适配。4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用密封结构，其特征在于：所述固定筒（2）的上端与限位板（5）均开设有螺纹孔，所述螺纹杆（3）的侧壁设置有与螺纹孔相适配的螺纹。5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用密封结构，其特征在于：所述密封板（9）的下端设置有密封槽，所述密封槽的直径大于固定筒（2）的直径。

技术总结
本实用新型公开了一种真空镀膜机用密封结构，属于密封结构领域，一种真空镀膜机用密封结构，包括安装板，安装板的侧壁固定安装有固定筒，固定筒的上端螺纹连接有两个螺纹杆，两个螺纹杆朝向固定筒中心的一端转动连接有弧形固定板，安装板的上端固定安装有两个限位板，两个螺纹杆分别螺纹连接两个限位板，安装板的上端固定安装有支撑架，支撑架固定安装有气缸，气缸的下端固定安装有伸缩杆，伸缩杆的下端固定安装有密封板，它便于对直径小于固定筒直径的真空管进行固定，并通过密封板挤压镀膜到真空管的管口，从而便于对真空管进行镀膜密封，且该装置结构简单，便于使用。便于使用。便于使用。


技术研发人员：江成龙
受保护的技术使用者：玛奇纳米科技（苏州）有限公司
技术研发日：2021.11.04
技术公布日：2022/3/8