一种晶圆切割进料装置的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆技术领域，特别是涉及一种晶圆切割进料装置。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
3.如授权公开号为cn210136861u的一种晶圆切割进料装置，其虽然解决了能够实现晶圆的稳定输送，通过弹簧的弹力作用，能够降低吸盘或者储气盒碰撞晶圆的作用力，从而避免晶圆表面受到损伤，但仍未解决现有的晶圆切割进料装置由于其上吸盘为橡胶材料，在长时间使用后容易造成磨损或发生损坏，其更换步骤较为麻烦，需要耗费大量的时间的问题，为此我们提出一种晶圆切割进料装置。


技术实现要素：

4.针对上述问题，本实用新型提供了一种晶圆切割进料装置，提出了现有的晶圆切割进料装置由于其上吸盘为橡胶材料，在长时间使用后容易造成磨损或发生损坏，其更换步骤较为麻烦，需要耗费大量的时间的问题。
5.本实用新型的技术方案是：
6.一种晶圆切割进料装置，包括驱动电机，所述驱动电机的一侧安装有导轨，所述导轨的外表面套接有滑块，所述滑块的底端安装有气缸，所述气缸的底端设置有安装柱，所述安装柱的底端设置有吸盘，所述吸盘的顶端固定连接有吸盘连接套，所述安装柱的底端延伸至吸盘连接套的内部，所述吸盘连接套卡合套接在安装柱的外表面。
7.优选的，所述安装柱的两侧均开设有安装槽，所述安装槽的内部设置有固定板，所述固定板的一侧顶端固定连接有按压块，所述固定板的一侧底端固定连接有卡块，所述固定板的另一侧固定连接有两个复位弹簧，所述吸盘连接套的内壁两侧均开设有能够卡合卡块的限位槽。
8.优选的，两个所述复位弹簧的中间均贯穿设有限位柱，所述限位柱的一端贯穿固定板并延伸至外部，所述限位柱的一端固定连接有限位块。
9.优选的，所述吸盘的外表面套设有推板，所述推板相对于吸盘能够进行上下活动。
10.优选的，所述推板的上表面两侧均固定连接有移动套筒，所述移动套筒的顶端固定连接有螺纹套，所述移动套筒的顶端设有丝杆，所述丝杆的底端延伸至移动套筒的内部，所述丝杆的顶端设置有固定电机，所述固定电机通过设有的固定外壳安装在气缸的底端两侧位置处，所述固定电机的输出轴驱动丝杆进行转动。
11.优选的，所述丝杆的底端固定安装有限位部，所述限位部处于移动套筒的内部，所述螺纹套的内壁半径小于限位部的外壁半径。
12.本实用新型的有益效果是：
13.1、通过设计的安装在安装柱两侧的按压块、固定板、卡块和复位弹簧便于对吸盘进行拆卸，在吸盘长时间使用后磨损严重或损坏时可快速的进行更换，大大了节省了维修人员的时间，通过按压按压块即可将吸盘连接套和安装柱发生分离，操作便捷，使用方便，且连接牢固；
14.2、通过设计的推板、移动套筒、固定外壳、丝杆和螺纹套便于对吸附在吸盘上的晶圆发生脱离，防止粘合力度过大而无法快速的脱落，装置无法正常的运送下一个晶圆，通过推板的移动来推动晶圆的脱离，其脱离效果明显，不会出现继续吸附的情况。
附图说明
15.图1是本实用新型实施例的整体结构示意图；
16.图2是本实用新型实施例吸盘连接套的局部剖视结构示意图；
17.图3是本实用新型实施例图2的a处放大结构示意图；
18.图4是本实用新型实施例移动套筒的局部剖视结构示意图。
19.附图标记说明：
20.1、驱动电机；2、导轨；3、滑块；4、气缸；5、吸盘；6、吸盘连接套；7、安装柱；8、推板；9、移动套筒；10、固定外壳；11、按压块；12、固定板；13、卡块；14、复位弹簧；15、限位柱；16、限位块；17、固定电机；18、丝杆；19、螺纹套；20、限位部。
具体实施方式
21.下面结合附图对本实用新型的实施例作进一步说明。
22.实施例：
23.如图1-图4所示，一种晶圆切割进料装置，包括驱动电机1，驱动电机1的一侧安装有导轨2，导轨2的外表面套接有滑块3，滑块3的底端安装有气缸4，气缸4的底端设置有安装柱7，安装柱7的底端设置有吸盘5，吸盘5的顶端固定连接有吸盘连接套6，安装柱7的底端延伸至吸盘连接套6的内部，吸盘连接套6卡合套接在安装柱7的外表面，安装柱7的两侧均开设有安装槽，可将各个部件安装在安装槽内，安装槽的内部设置有固定板12，固定板12可将按压块11和卡块13进行连接，固定板12的一侧顶端固定连接有按压块11，固定板12的一侧底端固定连接有卡块13，固定板12的另一侧固定连接有两个复位弹簧14，设置两个复位弹簧14可提高按压块11的复位能力，同时固定板12能够稳定的移动，吸盘连接套6的内壁两侧均开设有能够卡合卡块13的限位槽。
24.上述技术方案的工作原理如下：
25.在该装置长时间使用后，其上的吸盘5容易造成磨损和损坏，此时需要对吸盘5进行更换，首先需要同时按压两个按压块11，两个按压块11均通过固定板12带动卡块13向安装柱7的内部进行移动，从而固定板12在运动的过程中将两个复位弹簧14进行压缩，此时的卡块13不与吸盘连接套6内壁的两个限位槽卡合，则可轻松的将吸盘5和吸盘连接套6在安装柱7上进行拆卸，安装上新的吸盘5和吸盘连接套6后，可松开按压块11，则可在两个复位弹簧14的弹性作用下带动卡块13回到原来状态，并与新的吸盘连接套6上的限位槽卡合，则更换完毕。
26.在另外一个实施例中，如图3所示，两个复位弹簧14的中间均贯穿设有限位柱15，
限位柱15的一端贯穿固定板12并延伸至外部，限位柱15的一端固定连接有限位块16。
27.设计的限位柱15在固定板12压缩复位弹簧14时，复位弹簧14不会造成扭曲，起到了能够稳定压缩复位弹簧14的作用，同时设计的限位块16可防止固定板12与限位柱15发生脱离。
28.在另外一个实施例中，如图1和图4所示，吸盘5的外表面套设有推板8，推板8相对于吸盘5能够进行上下活动，推板8的上表面两侧均固定连接有移动套筒9，移动套筒9的顶端固定连接有螺纹套19，移动套筒9的顶端设有丝杆18，丝杆18的底端延伸至移动套筒9的内部，丝杆18的顶端设置有固定电机17，固定电机17通过设有的固定外壳10安装在气缸4的底端两侧位置处，固定电机17的输出轴驱动丝杆18进行转动。
29.在气缸4对吸盘5内部充气的同时，可启动固定电机17，固定电机17的输出轴带动丝杆18进行转动，从而螺纹套19会在丝杆18上向下进行移动，螺纹套19通过移动套筒9带动推板8向下移动，使得推板8的底面低于吸盘5的底面，从而可在吸盘5没有完全分离晶圆的同时，通过推板8的移动来推动晶圆的分离。
30.在另外一个实施例中，如图4所示，丝杆18的底端固定安装有限位部20，限位部20处于移动套筒9的内部，螺纹套19的内壁半径小于限位部20的外壁半径。
31.设计的限位部20可防止移动套筒9和丝杆18发生脱离。
32.以上实施例仅表达了本实用新型的具体实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。